기계화학적 극미세 가공기술을 이용한 PDMS 복제몰딩 공정용 서브마이크로 몰드 제작에 관한 연구 (A Study on the Fabrication of Sub-Micro Mold for PDMS Replica Molding Process by Using Hyperfine Mechanochemical Machining Technique)
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- 한국정밀공학회:학술대회논문집
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- 한국정밀공학회 2004년도 추계학술대회 논문집
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- pp.351-354
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- 2004