RF sputter를 이용하여 성장시킨 IZTO박막과 Co-sputter 방법을 이용하여 성장시킨 IAZO 박막의 급속 열처리 효과 (Rapid thermal annealing effect on electrical and optical properties of Indium Zinc Tin Oxide grown by RF sputter and Indium Aluminum Zinc Oxide grown by co-sputtering methode)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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- pp.446-447
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- 2007