• 한국환경농학회지
• /
• 제16권4호
• /
• pp.327-332
• /
• 1997

천연 zeolite를 이용하여 악취성분의 하나인 $NH^3$ gas를 제거하기 위해서 $NH_3$ gas를 zeolite column에 통과시켜 그 제거율을 조사하였다. Zeolite column에서 $NH_3$ gas의 유속이 느릴수록 column 통과농도가 낮게 나타났다. 천연 zeolite에 흡수된 수분함량은 전체적으로 $NH_3$ gas의 흡착에 영향을 주며, 동일량의 천연 zeolite를 column에 나누어 설치하는 방법에 따라서는 통과농도에 거의 영향이 없으나, 첨가량이 많으면 통과농도가 감소하였다. 천연 zeolite에 포화된 치환성양이온은 $NH_3$ gas의 제거율에 영향을 주며, 그 결과는 K->Natural->Na->Ca-zeolite순으로 나타났다. 따라서, $NH_3$ gas의 제거율을 높이기 위해서는 column통과유속, 천연 zeolite의 함수량 및 포화 양이온도 고려되어야 한다.

• 한국가스학회지
• /
• 제26권5호
• /
• pp.35-40
• /
• 2022

태양광 전지 제조 설비인 PCVD(Plasma Chemical Vapor Deposition)는 NH₃, SIH₄, O₂를 Chamber에 주입하여 생성된 Plasma를 Wafer에 증착시키는 설비이다. PCVD설비에서 Gas 이동과 주입이 Gas Cabinet에서 이루어지며, 내부에는 MFC, Regulator, Valve, Pipe 등이 복잡하게 연결되어 많은 누출 점이 존재한다. 폭발 상한값(UEL) 33.6%, 폭발 하한값(LEL) 15%의 NH₃ 누출 시 폭발을 예방하기 위해서는 NH₃ 농도가 폭발 범위에서 벗어날 수 있는 희석능력이 있어야 한다. 본 연구는 기존 PCVD의 Gas Cabinet에 대한 NH₃ Gas 누출 시 희석능력을 3D와 수치로 확인할 수 있는 CFD 분석 기법을 활용하여 분석하였다. 그 결과 중희석에 해당되며 설비 개선을 통해 고환기가 가능하다는 결론을 얻었다.

• 센서학회지
• /
• 제13권6호
• /
• pp.424-429
• /
• 2004

$Cr_{2}O_{3}$ thick films were fabricated by screen printing method on alumina substrates and annealed at $700^{\circ}C$, $800^{\circ}C$, and $900^{\circ}C$ in air, respectively. Structural properties examined by XRD and SEM showed (116) dominant $Cr_{2}O_{3}$ peak and increased grain sizes with the annealing. The resistance of the films decreased with increasing the annealing temperature. Gas sensing characteristics to $NH_{3}$, CO, $C_{4}H_{10}$, and NO gases showed sensitivity only to $NH_{3}$ gas. $Cr_{2}O_{3}$ thick films annealed at $700^{\circ}C$ had the sensitivity of about 15 % for 100 ppm $NH_{3}$ gas at the working temperature of $300^{\circ}C$. The thick films had good selectivity to the $NH_{3}$ gas. The response time to $NH_{3}$ gas was about 10 seconds.

• 전기학회논문지
• /
• 제66권2호
• /
• pp.370-378
• /
• 2017

A fluid model of 2D axis-symmetry based on inductively coupled plasma (ICP) reactor using $N_2/NH_3/SiH_4$ gas mixture has been developed for hydrogenated silicon nitride ($SiN_x:H$) deposition. The model was comprised of 62 species (electron, neutral, ions, and excitation species), 218 chemical reactions, and 45 surface reactions. The pressure (10~40 mTorr) and gas mixture ratio ($N_2$ 80~96 %, $NH_3$ 2~10 %, $SiH_4$ 2~10 %) were considered simulation variables and the input power fixed at 1000 W. Different distributions of electron, ions, and molecules density were observed with pressure. Although ionization rate of $SiH_2{^+}$ is higher than $SiH_3{^+}$ by electron direct reaction with $SiH_4$, the number density of $SiH_3{^+}$ is higher than $SiH_2{^+}$ in over 30 mTorr. Also, number density of $NH^+$ and $NH_4{^+}$ dramatically increased by pressure increase because these species are dominantly generated by gas phase reactions. The change of gas mixture ratio not affected electron density and temperature. With $NH_3$ and $SiH_4$ gases ratio increased, $SiH_x$ and $NH_x$ (except $NH^+$ and $NH_4{^+}$) ions and molecules are linearly increased. Number density of amino-silane molecules ($SiH_x(NH_2)_y$) were detected higher in conditions of high $SiH_x$ and $NH_x$ molecules density.

• 공업화학
• /
• 제25권2호
• /
• pp.193-197
• /
• 2014

피치계 활성탄소섬유의 유해가스 감응특성을 알아보고자 피치계 활성탄소섬유와 폴리비닐알코올(PVA)을 이용하여 가스센서용 전극을 제조하였다. 제조된 가스센서용 활성탄소섬유 전극의 물리화학적 특성은 주사전자현미경(SEM) 및 비표면적 측정기(BET)를 이용하여 분석하였다. 또한, 전극의 유해가스 감응특성은 $NH_3$, NO 및 $CO_2$와 같은 여러 유독가스를 이용하여 확인하였다. 가스센서용 활성탄소섬유 전극의 비표면적은 바인더인 PVA에 의하여 활성탄소섬유보다 33% 감소하였지만, 전극의 기공크기분포는 PVA에 의하여 크게 영향을 받지 않았다. 가스센서용 활성탄소섬유 전극은 반도체 기반 가스센서와는 다르게 전자도약에 의해서 유해가스를 감응하였다. 본 연구에서, 활성탄소섬유 전극의 저항은 100 ppm의 $NH_3$ 유해가스에 대하여 7.5% 감소하였으며, 그 $NH_3$ 가스 감응특성이 다른 유해가스보다 뛰어남을 확인하였다.

• 한국재료학회:학술대회논문집
• /
• 한국재료학회 1992년도 춘계학술발표회
• /
• pp.57-58
• /
• 1992

The NH$_3$oxidation, which forms thermal oxide layer on silicon substrate with pure $O_2$gas added with small amounts of NH$_3$gas, has good interface sates due to activated gettering effect during oxidation. The superiority of interfae state in NH$_3$ oxidation method is not affected by preprocess but by gettering during oxidation. The dramatec reduction fo interface state is conformed with observing OSF when NH$_3$ oxide is annealed in NH$_3$ atmosphere.

• 한국환경과학회지
• /
• 제9권5호
• /
• pp.389-392
• /
• 2000

In this study a packed tower was selected for the treatment apparatus of $NH_3$ gas produced in industry. Formerly latticework packing has been used in preventive facility of treatment of $NH_3$ gas. However recently metallic Ralu-Pack 250YC. structured packing is usually being used in petrochemical production plant. This study is for the application the packing to the $NH_3$ gas treatment in wet scrubbing process. In Air/water system hydraulic pressure drop dependent of specific liquid load and gas capacity factor was continuous and parallel from graph. The tower height can be determuined by the number of transfer unit and the height of transfer unit influenced on liquid distribution.

• 한국유기농업학회지
• /
• 제8권2호
• /
• pp.89-96
• /
• 2000

To reduce loss of nitrogen and generation of ammonia gas during composting, poultry manure and sawdust were mixed at the equivalent ratio and calcium chloride, fused superphosphate and vermiculite were added. Ammonia and sulfurous gas during composting, and NH4-N and NO3-N contents of composts were periodically measured. With the treatments of 0.5∼3% calcium chloride and 3% fused superphosphate, ammonia and sulfurous gas during composting significantly decreased, and especially generation of gases sharply reduced and a increase of calcium chlorde. Extractable NH4-N content in composts treasted with calcium chloride and fused superphosphate were high but extractable NO3-N markedly decreased. In conclusion, the results suggest that it is necessary the additon of 1∼3% calcium chloride or 3% fused superphosphate to reduce loss of nirogen and generation of offensive odor during composting of poultry manure mixed with sawdust.

• 한국가스학회지
• /
• 제26권5호
• /
• pp.22-27
• /
• 2022

반도체 생산 설비 중 ALD는 열이나 플라즈마로 분해한 Gas를 Wafer에 증착시켜 원자층을 형성시키는 설비로 주로 인화성 물질인 NH₃와 SIH4이 사용된다. 이중 NH₃는 연소·폭발 범위가 상한(UFL) 33.6%, 하한(LEL) 15%로 폭발 범위가 비교적 좁지만 많은 양이 갑자기 한곳에 모이면 폭발할 수 있고, 피부에 닿거나 흡입하면 치명적이다. NH₃는 ALD Gas inlet의 배관과 전기·기계 기구를 통해 Chamber로 공급되는데 많은 누출 가능점이 존재하여 누출 시 화재·폭발 또는 중독 사고로 이어질 수 있어 NH₃ 누출 시나리오에 대한 내부 유동과 제어 속도를 이해하고 고환기가 가능한 배기장치를 설계하는 것이 필요하여 본 연구자는 NH₃의 누출시나리오를 CFD에 적용하여 내부유동과 제어 속도를 수치 분석하여 설계 시 반영할 수 있도록 하였다.

• 청정기술
• /
• 제13권2호
• /
• pp.122-126
• /
• 2007

Polyurethane, PVA(polyvinyl alcohol)와 지렁이 분변토를 혼합하여 제작한 bio-carrier를 충전한 바이오필터(biofilter)를 이용하여 $NH_3$ 악취를 제거하였다. SV(Space velocity)가 50 $h^{-1}$인 조건에서 $NH_3$ 농도를 $4\;{\sim}\;454\;ppmv$로 증가시켰을 때 출구로부터 $NH_3$가 검출되지 않았다. 또한 $NH_3$ 가스의 조건을 $50{\sim}400\;h^{-1}$로 설정하여 각각의 조건에서 $NH_3$농도를 점진적으로 증가시켜 $NH_3$ 가스의 제거효율을 알아보았다. 악취가 공급되는 조건 중 SV $50\;h^{-1}$에서 $NH_3$의 최대 유입부하량은 $11.38\;g-NH_3{\cdot}m^{-3}{\cdot}h^{-1}$로 100%의 제거효율을 나타냈으며, SV $100\;h^{-1}$에서는 $34.42\;g-NH_3{\cdot}m^{-3}{\cdot}h^{-1}$에서 100%의 제거효율을 나타냈다. SV 300 $h^{-1}$에서 $NH_3$ 최대 부하량은 $71.28\;g-NH_3{\cdot}m^{-3}{\cdot}h^{-1}$이었으며, 제거효율은 99.85%로 나타났다.