In this paper a multiple channel EPD controller is developed which enables us to detect endpoints simultaneously in the plasma etching process operated in multiple etching chambers and its performance characteristic are investigated. for the accurate detectiion of endpoint the developed EDP controller was able to implement endpoint detectiions by integrating the existing EPD controllers with the techiques of artificial intellignet, to enhance its performance. The performance of the developed EPD controller was carried out by repeated experiments of endpoint detection in the acrual production line of semiconductor manufacturing. It's utility for endpoint detectiion was accurately evaluated in various etching process. The control capability of multiple etching chambers enhances its application compared with the existing one, and also increases the user utility os that the efficiency of operation was improved.
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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v.37
no.4
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pp.404-408
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2013
In this Study, another way to accomplish the goal of meeting large steam-flow requirements is the use of multiple valves. Multiple valves can provide better control in meeting the precision pressure controller requirements. Simulation demonstrates the effectiveness of the pressure controller. The key point of this study is to precisely control the position of the control valve on the outside of the electro-hydraulic system using a special PID controller. Simulation and experiments verify the performance of the controller.
Proceedings of the Korea Institute of Convergence Signal Processing
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2000.08a
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pp.129-132
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2000
We propose a new method to deal with the optimized auto-tuning for the PID controller which is used to the process -control in various fields. First of all, in this method, initial values of DC motor are determined by the Ziegler-Nichols method. Finally, after studying the parameters of PID controller by input vector of multiple regression analysis, when we give new K, L, T values to multiple regression model, the optimized parameters of PID controller is found by multiple regression analysis program.
International Journal of Aeronautical and Space Sciences
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v.10
no.1
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pp.58-66
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2009
Formation controller for multiple spacecrafts is designed based on a decentralized approach. The objective of the proposed controller is to make each spacecraft fly to the desired waypoints, while keeping the formation shape of multiple spacecrafts. To design the decentralized formation controller, the output feedback linearization technique using error functions for goal convergence and formation keeping is utilized for spacecraft dynamics. The primary contribution of this paper is to proposed optimal controller for formation flying based on the decentralized approach. To design the optimal controller, eigenvalue assignment technique is used. To verify the effectiveness of the proposed controller, numerical simulations are performed for three-dimensional waypoint-passing missions of multiple spacecrafts.
Journal of Korea Society of Industrial Information Systems
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v.16
no.4
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pp.99-105
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2011
This paper presents a method to design a centralized repetitive controller that is robust to variations in the multiple system parameters. The uncertain parameters are specified probabilistically by their probability distribution functions. Instead of working with the distribution functions directly, the centralized repetitive controller is designed from a set of models that are generated from the specified probability functions. With this multiple-model design approach, any number of uncertain parameters that follow any type of distribution functions can be treated. Furthermore, the controller is derived by minimizing a frequency-domain based cost function that produces monotonic convergence of the tracking error as a function of repetition number. Numerical illustrations show how the proposed multiple-model design method produces a repetitive controller that is significantly more robust than an optimal repetitive controller designed from a single nominal model of the multiple system.
Journal of the Korean Institute of Intelligent Systems
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v.24
no.5
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pp.489-494
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2014
In this paper, a design of multiple channel wireless remote control system for unmanned vehicle is proposed. One of serious problems of the previous wireless remote control system is that it does not work when a control channel is damaged in case of emergency because it's composed of single control channel. Therefore, we propose the multiple channel wireless remote system which is composed of a portable wireless remote controller and a stationary wireless remote controller. The portable wireless remote controller and stationary wireless remote controller are designed and the multiple channel wireless remote control system for unmanned vehicles in developed. By applying to the unmanned vehicle to check its performance. The wireless remote control system is tested. Emergency stop using the portable wireless remote controller is tested when the stationary wireless remote controller is damaged. Also, emergency stop using the stationary wireless remote controller is tested when the portable wireless remote controller is damaged. The result of emergency stop test shows satisfied performance.
Kim, Jin-Gyu;Park, Jang-Ho;Ryu, Gi-Seok;Park, Hyo-Sik;Lim, Jong-Ok;Kim, Jong-Hwa
제어로봇시스템학회:학술대회논문집
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2001.10a
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pp.67.4-67
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2001
In order to push or pull a heavy weight structure, the positions of multiple hydraulic cylinders participated on must be tuned sumultaneously. To do this, it is necessary to control the position of each hydraulic cylinder through mutual tuning controller. In this paper, a tuning control of multiple hydraulic cylinders is introduced under the assumption that each position controller for each cylinder is used.
This paper presents a shunt active power filter (SAPF) for compensating inter-harmonics and harmonics when inter-harmonics content is evident in the grid. The principle of inter-harmonics generation in the grid was analyzed, and the inter-harmonics effect on repetitive controllers was discussed in terms of control performance. Traditional repetitive controllers are not applicable in inter-harmonic compensation. Moreover, the effect of an ideal controller on harmonics signals was analyzed on the basis of the internal model principle. The repetitive controller was improved in the form of a basis function according to theoretical analysis. The finite-dimensional repetitive controller, which is also called the multiple-period repetitive controller, was designed for the control of multiple periodic signals. A selective harmonic compensation system was developed with SAPF. This system can be used to compensate harmonics and inter-harmonics in the grid. Finally, system control performance was verified by simulation and experimental results.
Journal of Korea Society of Industrial Information Systems
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v.13
no.2
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pp.1-7
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2008
This paper presents a method to design a repetitive controller that is robust to variations in the system parameters. The uncertain parameters are specified probabilistically by their probability distribution functions. Instead of working with the distribution functions directly, the repetitive controller is designed from a set of models that are generated from the specified probability functions. With this multiple-model design approach, any number of uncertain parameters that follow any type of distribution functions can be treated. furthermore, the controller is derived by minimizing a frequency-domain based cost function that produces monotonic convergence of the tracking error as a function of repetition number. Numerical illustrations show how the proposed multiple-model design method produces a repetitive controller that is significantly more robust than an optimal repetitive controller designed from a single nominal model of the system.
An improved circulating current suppression control method is proposed in this paper. In the proposed controller, an outer loop of the average capacitor voltage control model is used to balance the sub-module capacitor voltage. Meanwhile, an individual voltage balance controller and an arm voltage balance controller are also used. The DC and harmonic components of the circulating current are separated using a low pass filter. Therefore, a multiple quasi-proportional-resonant (multi-quasi-PR) controller is introduced in the inner loop to eliminate the circulating harmonic current, which mainly contains second-order harmonic but also contains other high-order harmonics. In addition, the parameters of the multi-quasi-PR controller are designed in the discrete domain and an analysis of the stability characteristic is given in this paper. In addition, a simulation model of a three-phase MMC system is built in order to confirm the correctness and superiority of the proposed controller. Finally, experiment results are presented and compared. These results illustrate that the improved control method has good performance in suppressing circulating harmonic current and in balancing the capacitor voltage.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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