Characterization of ALD Processed Al2O3/TiO2/Al2O3 Multilayer Films for Encapsulation and Barrier of OLEDs (OLED의 Barrier와 Encapsulation을 위한 원자층 증착 기술로 공정된 Al2O3/TiO2/Al2O3 다층 필름)
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- Journal of the Semiconductor & Display Technology
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- v.16 no.1
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- pp.1-5
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- 2017