• 제목/요약/키워드: Multi-layered materials

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반도체 소자의 표면보호용 PSG/SiN 절연막의 스트레스 거동 (Stress Behavior of PSG/SiN Film for Passivation in Semiconductor Memory Device)

  • 김영욱;신홍재;하정민;최수한;이종길
    • 한국재료학회지
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    • 제1권1호
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    • pp.46-53
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    • 1991
  • 반도체 공정의 최종 보호막으로 주로 사용되는 PSG (Phosphosilicate class), USG (Undoped silicate glass) 및 SiN 막을 CVD 방식으로 deposition 하여 각 막의 스트레스를 막 두께 또는 대기중 방치시간의 함수로 조사하고 Al 배선의 stress-migration 관점에서 평가했다. 그 결과 PSG 막과 USG 막은 tensile stress를 나타내고 두께증가에 따라 스트레스가 증가하였고, SiN 막은 두께에 관계없이 일정한 compressive stress를 나타내었다. PSG 막은 현저한 스트레스 경시변화를 보여 대기중에 방치시 2일이내로 tensile stress가 compressive stress로 변화되었다. 그 주 원인은 PSG 막의 수분 흡수 때문인것이 FTIR 분석으로 밝혀졌고, $300^{\circ}C$에서 20분간 anneal 처리로 $2.5{\times}{10^9}\;dyne/cm^2$의 스트레스 회복이 가능하였다. PSG 막이 포함된 복합막의 경우, 복합막 stress는 PSG 막의 방치시간에 따라 변한다. 즉, 복합막의 스트레스는 복합막을 구성하고 있는 막들의 두께의 함수이다. 또 SiN 막의 강한 압축응력을 완화시켜주는 PSG, USG 막의 스트레스가 큰 인장응력을 나타낼수록 Al 배선의 stress-migration 에 대한 저항은 커진다.

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Development of Semi-basement Type Greenhouse Model for Energy Saving

  • Kim, Seoung Hee;Joen, Jong Gil;Kwon, Jin Kyeong;Kim, Hyung Kweon
    • Journal of Biosystems Engineering
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    • 제41권4호
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    • pp.328-336
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    • 2016
  • Purpose: The heat culture areas of greenhouses have been continuously increasing. In the face of international oil price fluctuations, development of energy saving technologies is becoming essential. To save energy, auxiliary heat source and thermal insulation technologies are being developed, but they lack cost-efficiency. The present study was conducted to save energy by developing a conceptually new semi-basement type greenhouse. Methods: A semi-basement type greenhouse, was designed and constructed in the form of a three quarter greenhouse as a basic structure, which is an advantageous structure to inflow sunlight. To evaluate the performance of the developed greenhouse, a similar structured general greenhouse was installed as a control plot, and heating tests were conducted under the same crop growth conditions. Results: Although shadows appeared during the winter in the semi-basement type greenhouse due to the underground drop, the results of crop growth tests indicated that there were no differences in crop growth and development between the semi-basement type greenhouse and the control greenhouse, indicating that the shadows did not affect the crop up to the height of the crop growing point. The amount of fuel used for heating from January to March was almost the same between the two greenhouses for tests. The heating load coefficients of the experimental greenhouses were calculated as $3.1kcal/m^2{\cdot}^{\circ}C{\cdot}h$ for the semi-basement type greenhouse and $2.9kcal/m^2{\cdot}^{\circ}C{\cdot}h$ for the control greenhouse. Since the value is lower than the double layer PE (polyethylene) film greenhouse value of $3.5kcal/m^2{\cdot}^{\circ}C{\cdot}h$ from a previous study, Tthe semi-basement type greenhouse seemed to have energy saving effects. Conclusions: The semi-basement type greenhouse could be operated with the same fuel consumption as general greenhouses, even though its underground portion resulted in a larger volume, indicating positive effects on energy saving and space utilization. It was identified that the heat losses could be reduced by installing a thermal curtain of multi-layered materials for heat insulation inside the greenhouse for the cultivation of horticultural products by installing thermal curtain of multi-layered materials for heat insulation inside the greenhouse, it was identified that the heat losses could be reduced.

고급 화장품 소재 개발을 위한 마이크로플루딕스 기술의 잠재적 응용성 (A Potential Applicability of Microfluidic Techniques for Fabricating Advanced Cosmetic Materials)

  • 박성희;김한곤;정규혁;김진웅
    • 대한화장품학회지
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    • 제34권4호
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    • pp.245-258
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    • 2008
  • 본 총설에서는 마이크로플루딕스 기술에 대한 기초연구를 소개하고, 이 기술을 통하여 화장품산업분야에서 응용성이 큰 동공구조체, 응답성 소재, 캡슐 소재, 다층 콜로이드 구조체 등과 같은 신소재의 합성이 가능함을 기술한다. 마이크로플루딕스 기술이 적용되어 개발된 기능성 신소재들은 그 크기와 내부 모폴로지를 정확하게 피코리터 수준에서 조절할 수 있다. 또한, 소재의 화학조성을 다양하게 임의 조절할 수 있고, 고차 층구조를 갖는 콜로이드 입자나 캡슐의 개발까지도 가능하여 그 응용성은 무궁무진하다고 할 수 있다. 기본적으로 약물전달계, 화학물 분리공정, 바이오센서, 애튜에이터 등의 응용연구에 매우 유용하게 활용될 수 있다. 화장품산업에서도 마이크로플루딕스 기술을 이용하여 고기능성 신소재 개발이나 신유형 화장품 개발이 가능할 것으로 기대되어 더욱 복합적인 연구개발이 진행되어야 할 것이다.

Synthesis and Characterization of Organic Light-Emitting Copolymers Containing Naphthalene

  • Kim, Jung-Sik;Heo, Jun;Kang, Peng-Tao;Kim, Jin-Hak;Jung, Sung-Ouk;Kwon, Soon-Ki;Kim, Un-Kyung;Kim, Yun-Hi
    • Macromolecular Research
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    • 제17권2호
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    • pp.91-98
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    • 2009
  • Conjugated PPV-derived block copolymers containing 2-ethylhexyloxynaphthalene unit were synthesized and characterized in this study. The resulting polymers were soluble in common organic solvents and showed good thermal stabilities, The weight-average molecular weights ($M_w$) of the copolymers ranged from 246,000 to 475,000 with PDIs of $1.3{\sim}2.1$. The optical properties of these polymers, measured both in a chloroform solution and on a film, showed a maximum absorption at $405{\sim}476\;nm$ for Copolymers $I{\sim}VIII$. In the PL spectra, Copolymers $I{\sim}VIII$ showed maximum peaks at $510{\sim}566\;nm$. The HOMOs, LUMOs and band gaps of the PPV derivatives of Copolymers $I{\sim}VIII$ were $5.30{\sim}5.77$, $3.04{\sim}3.24$, and $2.5{\sim}2.2\;eV$, respectively, The multi-layered, light-emitting diodes of ITO/PEDOT/copolymers/LiF/Al exhibited turn-on voltages of $6{\sim}2.5\;V$ Copolymer VIII exhibited the maximum brightness of $3.657\;cd/m^2$. Particularly, Copolymer VII, with an identical composition of MEH-PPV and naphthalene-PPV, showed a maximum luminance efficiency and power efficiency of 2,63 cd/A and 1.06 lm/W, respectively.

Comparative study on the morphological properties of graphene nanoplatelets prepared by an oxidative and non-oxidative route

  • An, Jung-Chul;Lee, Eun Jung;Yoon, So-Young;Lee, Seong-Young;Kim, Yong-Jung
    • Carbon letters
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    • 제26권
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    • pp.81-87
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    • 2018
  • Morphological differences in multi-layered graphene flakes or graphene nanoplatelets prepared by oxidative (rGO-NP, reduced graphene oxide-nanoplatelets) and non-oxidative (GIC-NP, graphite intercalation compound-nanoplatelets) routes were investigated with various analytical methods. Both types of NPs have similar specific surface areas but very different structural differences. Therefore, this study proposes an effective and simple method to identify structural differences in graphene-like allotropes. The adsorptive potential peaks of rGO-NP attained by the density functional theory method were found to be more scattered over the basal and non-basal regions than those of GIC-NP. Raman spectra and high resolution TEM images showed more distinctive crystallographic defects in the rGO-NP than in the GIC-NP. Because the R-ratio values of the edge and basal plane of the sample were maintained and relatively similar in the rGO-NP (0.944 for edge & 1.026 for basal), the discrepancy between those values in the GIC-NP were found to be much greater (0.918 for edge & 0.164 for basal). The electrical conductivity results showed a remarkable gap between the rGO-NP and GIC-NP attributed to their inherent morphological and crystallographic properties.

음극 아크 증착으로 제조된 AlTiN 박막의 특성 (Properties of AlTiN Films Deposited by Cathodic Arc Deposition)

  • 양지훈;김성환;송민아;정재훈;정재인
    • 한국표면공학회지
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    • 제49권3호
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    • pp.307-315
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    • 2016
  • The properties of AlTiN films by a cathodic arc deposition process have been studied. Oblique angle deposition has been applied to deposit AlTiN films. AlTiN films have been deposited on stainless steel (SUS304) and cemented carbide (WC) at a substrate temperature of $500^{\circ}C$. AlTiN films were analyzed by scanning electron microscopy, glow-discharge light spectroscopy, micro-vickers hardness, and nanoindenter. When applying a current of 50 A to the cathodic arc source, it showed that the density of macroparticle of AlTiN films was 5 lower than other deposition conditions. With the increase of the bias voltage applied to the substrate up to -150 V, the density of macroparticle was decreased. The change of the $N_2$ flow rate during coating process made no influence on the film properties. For the multi-layered films, the film prepared at oblique angle of $60^{\circ}$ showed the highest hardness of 28 GPa and $H^3/E^2$ index of 0.18. AlTiN films have been shown a good oxidation resistance up to $800^{\circ}C$.

침엽수 미표백 크라프트펄프와 재생고지를 이용한 단층지와 이층지의 물성 연구 (Properties of Single-and Two-layered Handsheets Formed with Sw-UKP and OCC)

  • 박용;이학래
    • 펄프종이기술
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    • 제30권2호
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    • pp.5-12
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    • 1998
  • Exploitation of the papermaking technology to reduce the strength loss that accompanies when using recycled papers as raw materials for papermaking is one of the most important issues imposed upon today's paper industry. Multi-layer sheet forming technology has been suggested as a way that provides some answers to this issue. In this study strength properties of single- and two-layer handsheets formed with recycled fiber and unbleached softwood kraft pulp have been examined to quantify the benefits when using two-layer sheet forming technology rather than a conventional single layer sheet forming precess. Single- and two-layer handsheets were made from 50% of OCC and 50% of Sw-UKP and their strength properties were evaluated. Also the strength properties made from Sw-UKP and OCC sheets were determined. A multihead, which can be attached on the top of hand- sheet former, was used to form two-layer sheets. Maximum strength properties could be obtained in the freeness range of 500∼300mL CSF for Sw-UKP Most of the strength properties was reduced by 30∼35% when 50% OCC was blended with UKP. Decrease of strength properties, however, could be reduced by employing a two-layer sheet forming method. Creator strengths could be obtained when UKP was positioned at the top layer of two layered sheets indicating greater UKP fines retention due to the filtration effect of the OCC layer formed prior to UKP layer contributed the strength improvement. Two-layer sheet showed lower Scott internal bond strength than single layer sheet. By incorporating some of UKP fibers into OCC layer this reduction could be reduced.

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액정폴리머/폴리아미드6 미시복합재료의 내부구조 및 기계적 굽힘성능 평가 (Microstructural Morphology and Bending Performance Evaluation of Molded Microcomposites of Thermotropic LCP and PA6)

  • 최낙삼
    • Composites Research
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    • 제12권6호
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    • pp.53-64
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    • 1999
  • LCP원섬유(fibril)와 폴리아미드6 (PA6)수지로 사출성형된 복합재료 박판(molded thin composite plaques)의 미세구조와 굽힘강도에 대한 에폭시수지 함유율의 효과를 살펴보았다. 성형은 LCP원섬유의 용융점 이하에서 하였으며 이렇게 만들어진 판재는 횡방향 배향을 보이는 두께 $65-120{\mu\textrm{m}}$의 표피층(surface skin layer), 유동방향과 거의 일치하는 배향을 보이는 표피아래층(sub-skin layer), 아크형 곡선유동형태를 보이는 심층(core layer)으로 구성되어 있었다. 에폭시함유율이 달라도 각 층의 미세구조방향은 유사하였으나 에폭시함유율이 증가함에 따라 LCP영역(domain)이 원섬유상에서 층상구조로 변했고 거시적 파괴진로(fracture path)는 인장형에서 전단형으로 바뀌었다. 또한 에폭시 4.8vol%에서 가장 우수한 굽힘강도와 파단변형율을 보였다. 굽힘강도를 수치해석한 결과 에폭시성분을 복합재에 부가하면 각 층의 두께와 미세구조 같은 기하학적인 형태가 변하면서 각 층 자체의 탄성계수와 강도가 열등화 되었음을 알았다.

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Study of the Structure Change on Ion-Beam-Mixed CoPt Alloys.

  • Son, J.H.;Lee, Y.S.;Lim, K.Y.;Kim, T.G.;Chang, G.S.;Woo, J.J.;Whang, C.N.
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 1998년도 제14회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.135-136
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    • 1998
  • By the ion bombardment the original discrete layered structure is damaged and a uniformly mixed layer is formed by the intermixing of the films. Immediately after this dynamic cascade mixing a structure of this mixed layer is likely to be a mixture of randomly distributed atoms. Subsequently the mixed layered structure becomes a non-equilibrium structure such as the metastable pphase because the kinetic energies of the incident ions rappidly dissippate and host atoms within the collision cascade region are quenched from a highly energetic state. The formation of the metastable transition metal alloys using ion-beam-mixing has been extensively studied for many years because of their sppecific ppropperties that differ from those of bulk materials. in ion-beam-mixing the alloy or comppound is formed due to the atomic interaction between different sppecies during ion bombardment. in this study the metastable pphase formed by ion-beam-mixing pprocess is comppared with equilibrium one by arc-melting method by GXRD and XAS. Therfore we studied the fundamental characteristics of charge redistribution uppon alloying and formation of intermetallic comppounds. The multi-layer films were depposited on a wet-oxidized Si(100) substrate by sequential electron beam evapporation at a ppressure of less than 5$\times$10-7 Torr during depposition. These compprise 4 ppairs of Co and ppt layers where thicknesses of each layer were varied in order to change the alloy compposition.

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고이득 특성을 갖는 성형 빔 안테나에 대한 연구 (A Study on the Shaped-Beam Antenna with High Gain Characteristic)

  • 엄순영;윤재훈;전순익;김창주
    • 한국전자파학회논문지
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    • 제18권1호
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    • pp.62-75
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    • 2007
  • 본 논문은 단위 방사 소자의 이득을 증가시키기 위한 성형 빔 안테나에 관한 것이다. 제안하는 안테나 구조는 크게 여기 소자와 다층 원형 도체 배열 구조로 구성된다. 광대역에 걸쳐 전자파 전력이 다층 원형 도체 배열로 방사하기 위한 여기 소자로 스택 마이크로스트립 패치 소자가 사용되었으며, 고이득 빔 성형을 위한 지향 소자의 역할을 담당하는 다층 원형 도체 배열 소자들은 여기 소자 위에 주기적으로 유한하게 적층되었다. 제안하는 안테나가 고이득 특성을 얻기 위해서는 여기 소자와 다층 원형 도체 배열 소자들 간의 효율적인 전력 결합이 이루어져야 하며, 이를 위해 주어진 설계 규격에 따라 여기 소자 및 다층 원형 도체 배열 소자들의 설계 변수들은 함께 최적화되어야 한다. 본 연구에서는 고이득 성형 빔 안테나는 $9.6{\sim}10.4\;GHz$ 주파수 대역 및 선형 편파 조건하에서 최적화 설계되었으며, 또한 안테나의 다층 원형 도체 배열 소자들을 구현하는 2가지 방법 즉, 얇은 유전체 필름을 이용하는 방법과 유전체 폼을 이용하는 방법들도 제안되었다. 특히, 유전체 필름을 이용하는 안테나에 대해서는 컴퓨터 시뮬레이션 과정을 통해, 원형 도체 배열 소자들의 적층 수에 따른 안테나의 전기적인 성능 변화들을 보여주었다. 유전체 필름(Type 1)과 유전체 폼(Type 2)을 이용한 2종류의 안테나 시제품들을 제작하였으며, 얇은 유전체 필름을 이용한 안테나 시제품에 대해선 시뮬레이션 된 전기적 성능 결과와 비교를 위해 원형 도체 배열 적층 수에 따른 안테나의 전기적인 성능 변화들을 실험하였다. 측정된 이득 성능은 시뮬레이션 이득 성능과 거의 유사한 결과를 보여주었으며, 원형 도체 적층 수에 따라 안테나 이득 변화는 주기성을 보였다. 10 GHz 중심 주파수에서 측정된 Type 1 안테나의 전기적 성능은 원형 도체 배열을 10개 적층(disk10)하였을 때, 15.65 dBi의 최대 안테나 이득과 11.4 dB 이상의 입력 반사 손실 성능을 보여 주었으며, 다층 원형 도체 배열 구조에 의해 약 5 dB의 이득 향상 효과를 얻을 수 있었다. 또한, 원형 도체를 12개 적층하였을 때, 외곽 유전체 링 효과에 의해 Type 1 안테나는 Type 2 안테나보다 상대적으로 약 1.35 dB 만큼 이득이 더 높았으며, 각 안테나의 3 dB 빔 폭은 각각 약 $28^{\circ}$$36^{\circ}$로 측정되었다.