다층 리지스트 다층 기판 구조에서의 전자빔 리소그래피 공정을 위한 몬테카를로 시뮬레이터의 개발 (Development of a Monte Carlo Simulator for Electron Beam Lithography in Multi-Layer Resists and Multi-Layer Substrates)
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- 대한전자공학회:학술대회논문집
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- 대한전자공학회 2002년도 하계종합학술대회 논문집(2)
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- pp.53-56
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- 2002