• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 1999년도 하계학술대회 논문집 D
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• pp.1888-1890
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• 1999

In this work, we have systematically studied the effects of filtration and the defect trend as a function of polished wafer count using various filters in Inter-Metal Dielectric(IMD) CMP. The filter Installation in CMP polisher makes defect reduced after IMD CMP. As a result of formation micro-scratches, it shows that slurry filter plays an important role in determining consumable pad lifetime. The filter lifetime is dominated by the defects. We have acknowledged slurry filter lifetime is fixed by the degree of generating defects.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2001년도 추계학술대회 논문집
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• pp.185-188
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• 2001

Chemical mechanical polishing(CMP) process is widely used for global planarization of inter-metal dielectric (IMD) layer and inter-layer dielectric (ILD) for deep sub-micron technology. However, as the IMD and ILD layer gets thinner, defects such as micro-scratch lead to severe circuit failure, which affect yield. In this paper, for the improvement of CMP Process, deionized water (DIW) pressure, purified $N_2$ (P$N_2$) gas, slurry filter and high spray bar were installed. Our experimental results show that DIW pressure and P$N_2$ gas factors were not related with removal rate, but edge hot-spot of patterned wafer had a serious relation. Also, the filter installation in CMP polisher could reduce defects after CMP process, it is shown that slurry filter plays an important role in determining consumable pad lifetime. The filter lifetime is dominated by the defects. However, the slurry filter is impossible to prevent defect-causing particles perfectly. Thus, we suggest that it is necessary to install the high spray bar of de-ionized water (DIW) with high pressure, to overcome the weak-point of slurry filter. Finally, we could expect the improvements of throughput, yield and stability in the ULSI fabrication process.

• 한국광학회:학술대회논문집
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• 한국광학회 1990년도 제5회 파동 및 레이저 학술발표회 5th Conference on Waves and lasers 논문집 - 한국광학회
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• pp.257-259
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• 1990

In the design of waveguide E-plane bandpass filter, it is very important to characterize the K-inverters. In the analytical method. losses arising from the metal and the dielectric are ignored for the simplicity of design process. In this paper, based on the new measurement method, characteristics of inverters are measured and compared with those calculated based on mode-matching analysis.

• Journal of the Optical Society of Korea
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• 제20권2호
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• pp.263-268
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• 2016

Broadband metal-dielectric-metal terahertz filters composed of complementary rings are designed and demonstrated. Four samples with different parameters were fabricated. Results measured using THz time-domain spectroscopy system show excellent agreement with simulations. Compared with the broadband filters reported before, the complementary ring structure in our design is insensitive to any polarization at normal incidence due to symmetry of the ring. Furthermore, the influence of structure parameters (such as period, radius, slot width, thickness and incidence angles) on the transmission characteristics has been investigated theoretically. The encouraging results afforded by designing of the filters could find applications in broadband sensors, terahertz communication systems, and other emerging terahertz technologies.

• 조명전기설비학회논문지
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• 제24권9호
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• pp.1-7
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• 2010

Ceramic metal halide lamps have been widely used due to long lifetime, high luminous efficiency and good colour rendering. 35[W] ceramic metal halide lamps has very different characteristics between ignition state and steady state. The developed electronic ballast is satisfied to both ignition state and steady state characteristics by using a micro-controller. The proposed electronic ballast is consists of EMI filter, Full-wave rectifier, Active PFC, DBI(Dual Buck Inverter), Igniter and control circuit. It enables to supply both low-frequency rectangular wave voltage and current to the lamp by using DBI(Dual Bcuk Inverter) structure.

• 한국화재소방학회논문지
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• 제31권1호
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• pp.89-97
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• 2017

본 연구에서는 서비스센터에서 정비를 받고 출고한 날로부터 5일 후 터널 주행 중에 발생한 디젤승용차 화재 사례를 조사분석하였다. 조사분석한 결과, 배기구 내부에 흰색 이물질이 다량 부착되어 있었고, 배기관의 중간에 설치된 diesel particulate filter (DPF) 위쪽의 차열재가 용융 및 소실되어 있었고, DPF 위쪽의 차실 내부 금속재 바닥이 천공되어 금속재 바닥 위에 놓인 고무매트가 연소된 케이스이었다. 그리고 DPF 앞쪽의 배기관에는 과열흔적이 없고 DPF부터 배기구까지의 배기관에 과열흔적이 있는 특이점이 있었다. 이러한 특이점들은 DPF가 과열되고 DPF에서 발화된 경우에만 나타나므로 이 승용차화재는 DPF 내부 과열에 의해 발생한 것으로 분석할 수 있었다. 그리고 이 승용차화재조사를 통해 디젤승용차 화재원인조사 과정에서 배기구 내부에서 흰색 이물질이 확인되는 경우에는 DPF를 분리하여 DPF 내부의 손상을 조사하여 화재원인을 판정하여야 함을 알 수 있었다.

• 전자공학회논문지SC
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• 제42권5호
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• pp.43-50
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• 2005

본 논문에서는 체성분 측정기용 저 전력 다중 대역을 가지는 Gm-C 대역통과 필터의 IC화 설계방법에 대해 기술하였다. 제안된 대역통과 필터는 제어 신호에 의해 3개의 중심 주파수(20 KHz, 50 KHz, 100 KHz)에서 동작한다. 칩 면적을 최소화하기 위해 간단한 주파수 튜닝회로가 사용되었으며 전력 소모를 줄이기 위해 OTA(operational transconductance amplifier)가 sub-threshold region에서 동작한다. 제안된 대역통과 필터는 0.35 um 2-poly 3-metal 표준 CMOS 공정을 이용하여 구현하였다. 칩 면적은 $626.42um\;{\times}\;475.8um$이며 전력 소모는 주파수가 100 KHz일 때 700 nW이다.

• 상하수도학회지
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• 제19권1호
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• pp.25-30
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• 2005

In order to decrease the high costs of membrane process, we have tried to develop two alternatives to membrane; a cartridge type filter and a metal membrane were tested for the high permeation flux with low cost and low energy. This research mainly focused on three points; 1) operation with high permeation flux by using of a cartridge type filter and a metal membrane, 2) removals of the filterable organic materials (FOC) by pretreatments for the membrane fouling control, and 3) advanced wastewater treatment by SMBR process with intermittent aeration and high MLSS. An Intermittently aerated membrane bioreactor using a submerged micro filter (cartridge type) was applied in laboratory scale for the advanced wastewater treatment. To minimize membrane fouling, intermittent aeration was applied inside of the filter with $3.0kg_f/cm^2$. The experiments was conducted for 6 months with three different HRTs (8, 10, 12 hr) and high MLSS of 6,000 and 10,000mg/L. The filtration process could be operated up to 50 days with permeation flux of 500LMH. Regardless of the operating conditions, more than 95% of COD, BOD and SS were removed. Fast and complete nitrification was accomplished, and denitrification was appeared to be the rate-limiting step. More than 75% T-N could be removed due to the endogenous denitrification. T-P removal efficiency was increased to 80% under the condition of MLSS 10,000mg/L.

• 한국콘텐츠학회논문지
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• 제10권7호
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• pp.40-48
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• 2010

자외선 사진은 범죄수사, 고고학, 피부의학 등 다양한 분야에서 활용되고 있다. 과거 자외선 사진은 일반적인 흑백필름을 이용하여 촬영하는 경우가 대부분이었는데, 그 이유는 필름의 감광유제로 사용되는 할로겐화은(AgX)성분이 카메라의 센서인 CCD(Charge Coupled Device)혹은 CMOS(Complementary Metal-Oxide-Semiconductor)에 비해 자외선에 민감하기 때문이다. 이에 본 논문에서는 보급형 디지털 카메라를 사용하여 자외선 사진의 화질을 개선시키고, 자외선 사진을 위한 최적의 디지털 카메라 특성을 찾는 것을 목적으로 하였다. 이를 위해 디지털 카메라의 적외선 차단 필터를 제거하고, 자외선 투과필터의 개조를 통해 자외선 사진의 화질향상 여부를 검증하였다. 또한 센서의 종류와 크기, 화소수에 따른 자외선 사진의 재현성을 화질측정 요소들을 통해 분석하였으며, 이를 통해 디지털을 이용한 자외선 사진에 가장 적합한 카메라 특성을 찾고자 하였다. 나아가 본 논문을 통해 일반 디지털 카메라를 활용한 자외선 촬영 시스템을 구축할 수 있을 것이며, 이는 결국 디지털 자외선 사진의 폭넓은 활용에 기여할 것으로 기대된다.

• Composites Research
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• 제12권1호
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• pp.68-75
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• 1999

본 연구에서는 저속 충격에서 충격 속도에 따른 금속복합재료의 동적 거동을 연구하였다. 시험에 사용된 재료는 모재로 AC8A와 보강재로 알루미나($Al_2O_3$)와 탄소를 사용하였으며 용탕 주조법을 이용하여 금속복합재료를 제조하였다. 금속복합재료에는 15%의 부피분율을 가진 알루미나 예비성형체와 알루미나와 탄소를 각각 12%와 3% 사용한 혼합 에비성형체가 사용되었다. 제조된 금속복합재료는 인장 시험과 진동 시험을 통해 인장 강도와 탄성계수를 구하였으며, 저주파 여파기(low pass filter)와 계장화 충격 시험기를 이용하여 충격 속도에 따른 금속복합재료의 충격 거동을 연구하였다. 저주파 여파기를 이용함으로써 충격 속도에 관계없이 안정적인 실험치를 확보할 수 있었다. 충격 속도의 증가에 따라 모재와 금속복합재료의 충격에너지는 증가하였으나, 동적인성치는 일정한 값을 보였다. 충격 속도가 증가할수록 충격에너지 중 균열전파에너지의 향상이 두드러졌으며, 재료의 변형량이 증가하였다. 충격에너지 중 균열개시에너지와 동적파괴인성치의 관계를 설명하기 위하여 변형율 에너지와 노치에서의 응력 분포를 이용하여 간단한 모델을 제시하였으며, 이로부터 균열개시에너지는 동적 파괴 인성치의 자승에 비례하고 탄성계수에 반비례하는 것을 보였다.