• 제목/요약/키워드: Metal Deposition Method

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디지털 소자용 방열판 제작을 위한 초고속 금속필름 증착장치 및 공정기술 개발 (The development of ultra high-speed metal film deposition system and process technology for a heat sink in digital devices)

  • 윤효은;안성준;한동환;안승준
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제18권7호
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    • pp.17-25
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    • 2017
  • 최근에 LED나 OLED와 같은 조명용 소자의 온도 상승에 따른 문제점을 개선하기 위하여 전기 도금 방법을 사용하여 제작한 두께가 두꺼운 금속 필름을 heat sink로 사용하고 있다. Cu 필름과 같은 두꺼운 금속 필름은 습식 방법인 전기 도금으로 제작하여 주로 소자의 방열판으로 사용되어 왔으나 건식의 증착 방법을 이용한 수 백 ${\mu}m$의 Cu 금속 필름에 대한 필요성이 요구되고 있다. 본 연구에서 설계 제작된 유도 가열 방식의 Cu 필름 증착 장비는 가열부가 세라믹 도가니 히터 부분과 세라믹 도가니 부분으로 분리된 이중 구조의 heating 방식을 채택하여 열 손실을 최소화 하고 보온 효과를 극대화시켰다. 또한 유도 가열 방식으로 초고속의 필름 증착 속도를 구현하였다. 그리고 열전도도가 높고 안정적인 두꺼운 Cu 필름 증착기술을 확보하고 최적화 하여 $1000{\AA}/s$의 증착율로 $100{\mu}m$의 필름을 증착 하였으며 ~2.0% 이내의 두께 균일도를 얻었다.

Effect of Catalyst Preparation on the Selective Hydrogenation of Biphenol over Pd/C Catalysts

  • Cho, Hong-Baek;Park, Jai-Hyun;Hong, Bum-Eui;Park, Yeung-Ho
    • Bulletin of the Korean Chemical Society
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    • 제29권2호
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    • pp.328-334
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    • 2008
  • The effects of catalyst preparation on the reaction route and the mechanism of biphenol (BP) hydrogenation, which consists of a long series-reaction, were studied. Pd/C catalysts were prepared by incipient wetness method and precipitation and deposition method. The reaction behaviors of the prepared catalysts and a commercial catalyst along with the final product distributions were very different. The choice of the catalyst preparation conditions during precipitation and deposition including the temperature, pH, precursor addition rate, and reducing agent also had significant effects. The reaction behaviors of the catalysts were interpreted in terms of catalyst particle size, metal distribution, and support acidities.

질산염 전구체 원료로 분무 열분해 방법에 의한 YBCO 박막 증착 (Deposition of YBCO Thin Film by Aerosol Assisted Spray Pyrolysis Method using Nitrate Precursors)

  • 김병주;홍석관;김재근;이종범;이희균;홍계원
    • Progress in Superconductivity
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    • 제12권1호
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    • pp.68-73
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    • 2010
  • Y123 films have been deposited on $LaAlO_3$ (100) single-crystal and IBAD substrates by spray pyrolysis method using nitrate precursors. Ultrasonic atomization was adopted to decrease the droplet size, spraying angle and its moving velocity toward substrate for introducing the preheating tube furnace in appropriate location. A small preheating tube furnace was installed between spraying nozzle and substrate for fast drying and enhanced decomposition of precursors. C-axis oriented films were obtained on both LAO and IBAD substrates at deposition temperature of around $710{\sim}750^{\circ}C$ and working pressures of 10~15 torr. Thick c-axis epitaxial film with the thickness of $0.3{\sim}0.6\;{\mu}m$ was obtained on LAO single-crystal by 10 min deposition. But the XRD results of the film deposited on IBAD template at same deposition condition showed that the buffer layers of the IBAD metal substrate was affected by long residence of metal substrate at high temperature for YBCO deposition.

아크 금속 용사 표면 처리 방법에 따른 Zn-Al 금속 용사 피막의 물리적 특성 평가 (Evaluation of physical properties of Zn-Al metal coating according to arc metal spray surface treatment method)

  • 장종민;김영관;이한승
    • 한국건축시공학회:학술대회논문집
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    • 한국건축시공학회 2022년도 가을 학술논문 발표대회
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    • pp.89-90
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    • 2022
  • Arc metal spraying is a widely used method for improving the performance of construction structures such as corrosion resistance and electromagnetic wave shielding. However, when arc metal spraying is applied to a concrete structure, adhesion performance may deteriorate. Therefore, the effect of each surface treatment method on the physical properties between the arc metal spray coating and concrete was reviewed by evaluating the deposition efficiency and adhesion performance according to the arc metal spray surface treatment method (surface reinforcing agent, roughening agent, and sealing agent). As a result, it is suggested as an optimal surface treatment condition to induce non-interface failure by using a roughening agent and to improve the properties of concrete and metal coatings by applying a surface reinforcing agent and sealing agent.

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Textured Ni 기판 위에 YBCO coated conductor 모재용 NiO 완충층 제조 (Fabrication of NiO buffer film on textured Ni substrate for YBCO coated conductor)

  • Sun, Jong-Won;Kim, Hyoung-Seop;Jung, Choon-Ghwan;Lee, Hee-Gyoun
    • Progress in Superconductivity
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    • 제3권1호
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    • pp.125-129
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    • 2001
  • NiO buffer layers were deposited on texture Ni tapes fur YBCO coated conductors by MOCVD(metal organic chemical vapor deposition) method, using a single solution source. Variables were deposition temperature and flow rate of $0_2$carrier gas. At higher temperatures, The NiO(111) texture was well developed, but the NiO(200) texture was developed at low temperatures. The best result was obtained at the deposition temperature of$ 470^{\circ}C$ and the gas flow rate of 200 sccm. FWHM value of $\omega$-scan fur NiO(200) of the film and $\Phi$-scan for NiO(111) of the film was $4.2^{\circ}$ and $7^{\circ}$, respectively.

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표면전극 형성 방법과 이온-교환막 두께가 이온성 고분자-금속 복합체(IPMC) 구동에 미치는 영향 (Effect of the Surface Electrode Formation Method and the Thickness of Membrane on Driving of Ionic Polymer Metal Composites (IPMCs))

  • 차국찬;송점식;이석민;문무성
    • 폴리머
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    • 제30권6호
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    • pp.471-477
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    • 2006
  • 이온성 고분자-금속 복합체(ionic polymer metal composite, IPMC)는 낮은 구동 전압에서도 비교적 빠른 응답 속도를 갖는 전기활성고분자(electro active polymer, EAP) 재료이다. IPMC는 인간의 근육과 유사한 인성 및 변형 특성을 나타내므로 최근 인공근육용 구동체 개발을 위한 많은 연구들이 진행되어 왔으며, 또한 우주항공, 센서 및 펌프 등의 다양한 분야에서 적용가능성이 조사되고 있다. 본 연구에서는 액상 내피온을 이용하여 용액 캐스팅 방법으로 다양한 두께의 내피온 막을 제조하는 방법을 도입하였다. IPMC 제조방법은 Oguro가 제안한 방법을 기초로 하여 도금온도를 변화시켜 무전해 도금법을 이용하여 내피온 내부로의 1차 전극을 형성시켰으며, 형성된 1차 전극의 안정성과 표면전기저항을 낮추기 위하여 이온빔보조증착법(ion beam assisted deposition, IBAD)을 도입하여 금과 이리듐을 1차 전극표면 위에 증착하여 2차 전극을 형성시켰다. 1, 2차 무전해 도금한 IPMC와 2차 IBAD 코팅한 IPMC 전극의 표면과 단면 형상을 SEM으로 관찰하였으며, 전압을 인가할 때 IPMC 내부의 수분증발 및 이온전도도의 변화를 조사하였다. 또한 다양한 두께의 IPMC를 제조하여 두께변화에 따른 변위와 구동력을 측정하였다.

무전도 금속 증착을 위한 하전 입자빔 전처리 공정의 타당성 연구 (On Feasibility Study of the Charged Particle Beam Pretreatment Process for Non-conducting Metal Coating)

  • 나명환;박영식;심하몽;전영호
    • 품질경영학회지
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    • 제42권2호
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    • pp.179-187
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    • 2014
  • Purpose: Since several problems were found when present non-conducting metal coating process was applied to mass production, we study and develop to improve those problems. Methods: In this paper, a couple of analysis methods such as surface hardness, XPS spectrum analysis, morphology, and reflection ratio were used. Results: This paper suggest a new possibility of Non-conducting thin metal coating method that has quality of mass production phase without UV coating process. Conclusion: By the result of analysis, we can set optimized process conditions of the electro deposition coating using electron beam.

Facile Synthesis, Characterization and Photocatalytic Activity of MWCNT-Supported Metal Sulfide Composites under Visible Light Irradiation

  • Zhu, Lei;Meng, Ze-Da;Oh, Won-Chun
    • 한국세라믹학회지
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    • 제49권2호
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    • pp.155-160
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    • 2012
  • This paper reported a simple deposition-precipitation method, introducing the metal (Ni, Ag and Sn) and $Na_2S{\cdot}5H_2O$ to preparedispersion metal sulfide nanoparticles on the surface of the Multi-walled carbon nanotube for synthesis of CNT-$M_xS_y$ ($NiS_2$, $Ag_2S$, SnS) composite photocatalysts. The characterization of the prepared CNT-$M_xS_y$ ($NiS_2$, $Ag_2S$, SnS) composites was performed by X-ray diffraction, scanning electron microscopy with energy dispersive X-ray analysis and BET analysis. Furthermore, the MB degradation rate constant for CNT-SnS composite was $5.68{\times}10^{-3}$ under visible light irradiation, which was much higher than the corresponding values for other samples. The detailed formation and photocatalytic mechanism are also provided here.

3차원 금속 프린팅 공정에서의 조형파트 진단 및 조형공구경로 검증 (Verification of Build Part and Tool Paths for Metal 3-D Printing Process)

  • 이규복;지해성
    • 대한기계학회논문집A
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    • 제41권2호
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    • pp.103-109
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    • 2017
  • AMM(Additive Metal Manufacturing)이라 호칭되는 3차원 금속 프린팅(metal 3-D printing) 공정은 금속분말(metal powder)을 적층 재료로 사용하여 기계적부품용 실형상 금속 파트(metallic parts)를 직접 조형하여 제조한다. 한편, 조형 파트형상의 STL모델에 존재하는 기하학적 오류들과 특징형상들의 특이성으로 인하여 조형 작업 중에 내부에 결함들이 포함된 실형상 파트가 조형될 가능성이 존재하게 되며 이로 인해 3차원 금속 프린팅 조형공정 자체의 신뢰성에 문제를 야기할 수 있다. 본 논문에서는 이러한 조형작업 중 발생할 수 있는 결함들을 미리 진단, 분석하고 수정하기 위하여 첫째, 조형 전에 STL 형상모델의 진단분석을 통하여 결함요소를 사전에 탐지하고 둘째, 적층 단면내 조형 공구 경로상에 실제로 포함된 결함들을 분석하고 이를 수정하기 위한 조형 파트 진단 및 조형 공구 경로 검증 연구방법을 제시하였다. 또한 DED(direct energy deposition) 공정을 기준으로 2가지 STL 형상파트 사례들에 대하여 제시한 연구방법의 case study를 수행하였다.