• 대한기계학회:학술대회논문집
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• 대한기계학회 2003년도 추계학술대회
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• pp.308-313
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• 2003

Thermal mass flow meters (TMFMs) are most widely used for measuring mass flow rates in the semiconductor industry. A TMFM should have a short response time in order to measure the time-varying flow rate rapidly and accurately. Therefore it is important to study transient heat transfer phenomena in the sensor tube of a TMFM that is the most critical part in the TMFM. In the present work, a simple numerical model for transient heat transfer phenomena of the sensor tube of a TMFM is presented. Numerical solutions for the tube and fluid temperatures in a transient state are obtained using the proposed model and compared with experimental results to validate the proposed model. Based on numerical solutions, heat transfer mechanism in a transient state in the sensor tube is explained. Finally, a correlation for predicting the response time of a sensor tube is presented. The correlation is verified by experimental results.

• 대한기계학회:학술대회논문집
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• 대한기계학회 2003년도 추계학술대회
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• pp.998-1003
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• 2003

Ultrasonic flow metering(UFM) technology is being received much attention from a variety of industrial fields to exactly measure the flow rate. The UFM has much advantage over other conventional flow meter systems, since it has no moving parts, and offers good accuracy and reliability without giving any disturbances to measure the flow rate, thereby not causing pressure losses in the flow fields. In the present study, 3-dimensional, unsteady, compressible Navier-Stokes equations are solved by a finite volume scheme, based upon the second order upwind scheme for spatial derivatives and the multi-stage Runge-Kutta integral method for time derivatives. In order to simulate multi-path ultrasonic flow meter, an excited pressure signal is applied to three different locations upstream, and the pressure signals are received at three different locations downstream. The mean flow velocities are calculated by the time difference between upstream and downstream propagating pressure signals. The obtained results show that the present CFD method simulates successfully ultrasonic meter gas flow and the mean velocity measured along the chord near the wall is considerably influenced by the boundary layers.

• 반도체디스플레이기술학회지
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• 제7권3호
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• pp.55-58
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• 2008

The objective of this research is to design, manufacture and test a mass flow controller capable of measuring compressible as well as incompressible fluid flows based on a 'bucket and stop-watch' method. The basic principle behind such a system is the measurement of time, where the time taken to fill and empty a bucket of known volume is measured. This device should be able to handle fluid flows in the range of 0.1 ml/min to 10 ml/min within an accuracy of ${\pm}$1%. For the flow meter to be able to compete with established designs, it must be not only comparable in cost and robustness, but also very accurate and reliable as well.

• 한국철도학회:학술대회논문집
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• 한국철도학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.1680-1686
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• 2009

삼각 분리 막대형 차압 유량계 압력 탭의 가공 조건에 따른 유량 특성을 연구하였다. 삼각 분리 막대탭 차압 유량계에 가공한 압력 탭의 크기는 1.0 mm 또는 1.5 mm로 하였다. 압력 탭의 개수는 5개 또는 17개로 가공하였다. 삼각 분리 막대탭 차압 유량계와 층류유량계를 직결한 후 유량 특성을 검정하였다. 삼각 분리 막대탭 차압 유량계의 질량 유량을 무차원 파라미터 H를 사용하여 나타내었다. H는 TSB 유량계에서의 배압, 기체 온도, 유량계 상류압과 하류압 간의 차압을 포함하는 무차원 파라미터이다. TSB 유량계의 질량 유량과 H 간에는 선형적 관계를 보였다. 압력 탭의 개수 보다는 압력 탭의 직경이 TSB 차압유량계의 유량 특성에 더 큰 영향을 미쳤다.

• 한국자동차공학회논문집
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• 제4권3호
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• pp.92-101
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• 1996

In a gasoline engine, the characteristics of air flow is very important not only for the design of the intake system geometry bout also for the accurate measurement of the induction air mass. In this study, an air flow rate measurement of the induction air mass. In this study, an air flow rate measurement was conducted by using the hot wire flow meter at the upstream of the intake port and the throttle. At the upstream of the throttle, the overshoot phenomena of the air flow rate by fast throttle opening were analyzed with choked flow. At the upstream of the intake port, the cylinder variation of the air flow rate and the difference between fast throttle opening and closing were showed during the unsteady state by the throttle step change. The results of this study can be used for the design of the throttle valve geometry and cylinder by cylinder control.

• 한국철도학회논문집
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• 제10권5호
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• pp.563-568
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• 2007

디젤 엔진의 배기가스 유량을 측정하기 삼각 분리 막대형 차압유량계를 개발하였다. 3 종류의 삼각 막대형 차압유량계를 제작하였고 실험 평가하였다. 삼각 막대형 외부형상이 유선형에 가까울수록 차압유량계에서의 상류부 와 하류부의 차압이 감소하는 경향을 나타내었다. 삼각막대형 차압유량계를 사용하여 고온 및 상온 조건에서 유량 검정을 하였다. 고온 조건에서의 유량계 검정을 위해 버너를 제작하였다. 삼각막대형 상류부 및 하류부 간의 차압과 질량 유량의 실험식을 구했다. 또한 실험식은 기체 온도에 의한 보정을 포함하고 있다.

• 대한기계학회논문집B
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• 제39권2호
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• pp.119-124
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• 2015

반도체 생산에 사용되는 액체용 극소 질량유량계측기의 새로운 설계 안에 대하여 수치해석적으로 연구하였다. 내경 0.3mm 정도인 원관 외부에 히터선을 일정 폭 권선하고, 히터로부터 일정거리 떨어진 후류에 온도계측용 써미스터선을 권선하는 형상이다. 히터에 단일펄스 가열을 하면 일정시간 경과 후 써미스터가 최고온도를 겪는다. 최고온도까지 걸리는 시간은 질량유량과 거의 반비례하며, 이를 이용하여 질량유량을 계측할 수 있다. 관벽을 통한 전도열전달과 액체유동에 의한 대류열전달이 복합적으로 작용하므로 관내유동의 평균속도와 관벽을 통한 최고온도의 이동속도는 큰 차이를 나타내며, 상호 비선형적인 특성을 보인다. 본 연구에서는 센서관의 내 외경, 히터의 권선폭 및 히터와 써미스터 사이의 거리를 설계변수로 고려하여 수치해석적으로 제안한 설계사항을 분석하였으며, 설계인자의 최적화에 대한 검토를 수행하였다.

• Tuberculosis and Respiratory Diseases
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• 제50권3호
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• pp.310-319
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• 2001

연구배경 : 천식의 치료에 널리 사용되고 있는 호기유속측정기는 외래환자와 응급실에서뿐만 아니라 입원 천식환자들의 치료 및 경과 관찰에 매우 유용하다. 호기유속측정기에 대한 정확도 및 재현성에 대한 많은 연구가 있어왔으나 기류폐색을 가지는 환자를 대상으로 측정했을때의 정확도에 관한 연구는 드물다. 따라서 만성폐쇄성폐질환 또는 천식을 가지는 환자를 대상으로 잘 보정된 mass flow sensor의 최대호기유속 측정치와 mini-Wright peak flowmeter의 측정치를 비교하여 정확도를 관찰하고자 본 연구를 계획하였다. 방 법 : 천식 및 만성페쇄성폐질환으로 진단된 환자 108명을 대상으로 흡입용 기관지확장제 사용 전 후의 최대호기유속을 측정하였으며 잘 보정된 mass flow sensor로 측정한 후 mini-Wright peak flowmeter를 사용해서 최대호기유속을 측정하였다. 결 과 : 천식 및 만성폐쇄성폐질환 환자에서 mini-Wright peak flowmeter로 측정한 최대호기유속 값은 기관지 확장제 사용 유무에 관계없이 mass flow sensor의 측정치보다 평균 37-39 l/min 높게 관찰되었고 300 l/min 이하의 범위에서 오차는 25% 이상이었고 301 l/min 이싱에서는 17% 이하로 관찰되었다. 두 기기로 측정한 값의 일치도를 평가할 수 있는 편의(bias)는 전체를 대상으로 했을 때와 유속의 정도에 따라서도 모두 일치범위를 벗어나고 통계적으로도 유의하게 차이가 있었다. 결 론 : 천식 및 만성폐쇄성폐절환 환자에서 mini-Wright peak flow meter로 측정한 최대호기유속은 mass flow senor의 측정치보다 높게 관찰되었으며 300 l/mm이하의 유속에서 오차가 심했다. 두 기계로 측정한 최대호기유속 사이의 일치범위는 95% 신뢰구간에서 통계적으로 유의한 차이가 있었으므로 mass flow sensor 와 mini-Wright peak flow meter로 측정 한 결과를 상호교환적으로 사용할 수 없다고 판단된다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2013년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.893-894
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• 2013

• 한국생산제조학회지
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• 제22권1호
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• pp.1-7
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• 2013

Pneumatic cylinders are widely used to actuators in automatic equipments because they are relatively inexpensive, simple to install and maintain, offer robust design and operation, are available in a wide range of standard sizes and design alternatives. This paper presents a comparative study among the dynamic characteristics of meter-out and meter-in speed control of pneumatic cushion cylinders with a relief valve type cushion mechanism. Because of the nonlinear differential equations and a requirement for simultaneous iterative solution in a mathematical model of a double acting pneumatic cushion cylinder, a computer simulation is carried out to investigate pressure, temperature, mass flow rate in cushion chamber and displacement and velocity time histories of piston under various operating conditions. It is found that the piston velocity and pressure response in meter-in speed control are more oscillatory than with meter-out those when pneumatic cushion cylinders are driven at a high-speed. In meter-out speed control, the effective area of the flow control valve is larger than that of meter-in, and the supply pressure has to be much higher than the pressure required to move the load because it has also to overcome the back pressure in cushion chamber.