MOMBE로 성장시킨 고유전 $ZrO_2$ 박막의 특성
(Properties Of high-k $ZrO_2$ films grown by MOMBE)
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 2002년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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- pp.61-61
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- 2002