Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2003.07a
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- Pages.452-455
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- 2003
Characteristics and Processing Effects of $ZrO_2$ Thin Films grown by Metal-Organic Molecular Beam Epitaxy
금속 유기 분자 빔 에피택시로 성장시킨 $ZrO_2$ 박막의 특성과 공정변수가 박막 성장률에 미치는 영향
- Kim, Myung-Suk (Yonsei Univ.) ;
- Go, Young-Don (Yonsei Univ.) ;
- Hong, Jang-Hyuk (Yonsei Univ.) ;
- Jeong, Min-Chang (Yonsei Univ.) ;
- Myoung, Jae-Min (Yonsei Univ.) ;
- Yun, Il-Gu (Yonsei Univ.)
- 김명석 (연세대학교 전기전자공학과) ;
- 고영돈 (연세대학교 전기전자공학과) ;
- 홍장혁 (연세대학교 금속 시스템 공학과) ;
- 정민창 (연세대학교 금속 시스템 공학과) ;
- 명재민 (연세대학교 금속 시스템 공학과) ;
- 윤일구 (연세대학교 전기전자공학과)
- Published : 2003.07.10
Abstract
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