한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)

권호 표지

MOMBE로 성장시킨 고유전 $ZrO_2$ 박막의 특성

Properties Of high-k $ZrO_2$ films grown by MOMBE

홍장혁 (연세대학교) ;
최우종 (연세대학교) ;
김두수 (연세대학교) ;
명재민 (연세대학교)

발행 : 2002.11.01

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