Fabrication and Characterization of Thermopile on Low-Stress $Si_3N_4$ Membrane for Microspectrometer Infrared Sensor
(마이크로 스펙트로미터 적외선 센서용 저응력 $Si_3N_4$ Membrane 상에서의 Thermopile 제조 및 특성)
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- Proceedings of the IEEK Conference
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- 2005.11a
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- pp.781-784
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- 2005