Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2008.06a
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- Pages.325-325
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- 2008
Properties of Piezoelectric thick film with detailed structure following particle size
입자 크기에 따른 미세구조를 가지는 압전 후막 특성
- Moon, Hi-Gyu (Korea Institute of Science and Technology) ;
- Song, Hyun-Cheol (Korea Institute of Science and Technology) ;
- Kim, Sang-Jong (Korea Institute of Science and Technology) ;
- Choi, Ji-Won (Korea Institute of Science and Technology) ;
- Kang, Jong-Yoon (Korea Institute of Science and Technology) ;
- Kim, Hyun-Jai (Korea Institute of Science and Technology) ;
- Jo, Bong-Hee (SuWon Univ.) ;
- Yoon, Seok-Jin (Korea Institute of Science and Technology)
- 문희규 (한국과학기술연구원) ;
- 송현철 (한국과학기술연구원) ;
- 김상종 (한국과학기술연구원) ;
- 최지원 (한국과학기술연구원) ;
- 강종윤 (한국과학기술연구원) ;
- 김현재 (한국과학기술연구원) ;
- 조봉희 (수원대학교 전기공학과) ;
- 윤석진 (한국과학기술연구원)
- Published : 2008.06.19
Abstract
스크린 프린팅에 의한 압전 후막은 MEMS 공정을 이용하여 마이크로 펌프, 마이크로 벨브, 마이크로 센서, 마이크로 로봇 등 여러 초소형 기계부품에 응용되고 있으며, Sol-Gel, PLD를 이용해 증착된 막 등에 비해 수십