The local oxidation of silicon (LOCOS) technology, which uses a silicon nitride film as an oxidation mask and a pad oxide beween the silicon nitride and the silicon substrate, has been widely used in integrated circuits for process simplicity. But, due to long brid's beak length, there are difficulties in scabilities. Many advanced isolation techniques have been wuggested for the feduction of bird's beak length. In this paper, we presented reduced bird's beak length using the polybuffered oxide and the silicon nitride as the sidewall. Also, investigating the electrical behavior of the parasitic Al-gate MOSFET on LOCOS, we proved the validity for new isolation process.
$SF_6/O_2$ 플라즈마 에칭을 통한 반도체 칩의 3차원 집적에 응용되는 through-silicon-via (TSV) 구조형성 연구를 수행하였다. Si via 형상은 $SF_6$, $O_2$의 가스 비율과 에칭이 되는 Silicon 기판의 온도에 의존함을 알수 있었다. 또한 Si via 형상에서 최소의 언더컷 (undercut) 과 측벽에칭 (local bowing) 은 black Si이 나타나는 공정조건에서 나타남을 확인하였다. 더 나아가 저온을 이용한 via 형성시 via 측벽에 형성되는 passivation layer와 mask의 성질이 저온으로 인해 high-aspect-ratio를 갖는 via를 형성할 수 있음을 알 수 있었다.
In this paper, a novel robust medical images watermarking scheme is proposed. In traditional methods, the added watermark may alter the host medical image in an irreversible manner and may mask subtle details. Consequently, we propose a method for medical image copyright protection that may remedy this problem by embedding the watermark without modifying the original host image. The proposed method is based on the visual cryptography concept and the dominant blocks of wavelet coefficients. The logic in using the blocks dominants map is that local features, such as contours or edges, are unique to each image. The experimental results show that the proposed method can withstand several image processing attacks such as cropping, filtering, compression, etc.
Noise is regarded as an unwanted component of the image because it significantly reduces image quality. And image is often corrupted by mixed noise. In this paper an efficient modified weighted filter algorithm which combines spatial weight and intensity weight is proposed for removing mixed noise. In the proposed method, the filtering mask is separated into the four sub-windows and the parameters of the weights are confirmed by calculating local standard deviation and the mean of four sub-windows' standard deviations. Considering the spatial information and intensity information, the proposed method has good performance on not only noise elimination but also preservation of details. Simulation results demonstrate that the proposed method performs better than conventional algorithms.
KSII Transactions on Internet and Information Systems (TIIS)
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제15권2호
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pp.786-799
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2021
Road damage detection is important for road maintenance. With the development of deep learning, more and more road damage detection methods have been proposed, such as Fast R-CNN, Faster R-CNN, Mask R-CNN and RetinaNet. However, because shallow and deep layers cannot be extracted at the same time, the existing methods do not perform well in detecting objects with fewer samples. In addition, these methods cannot obtain a highly accurate detecting bounding box. This paper presents a Multi-level Feature Pyramids method based on M2det. Because the feature layer has multi-scale and multi-level architecture, the feature layer containing more information and obvious features can be extracted. Moreover, an attention mechanism is used to improve the accuracy of local boundary boxes in the dataset. Experimental results show that the proposed method is better than the current state-of-the-art methods.
In this paper, we describe the physical modelling and numerical aspects of a program called PRECISE(Program for Efficient Calculation of Impurity Profile in Semiconductor by Elimination) which calcualtes a two-dimensional impurity profile in silicon due to diffusion and ion implantation steps. The PRECISE enables rapid prediction of the two-dimensional impurity profile near the mask edge-or the bird's beak during the local oxidation process. This has been developed by modifying the existing one-dimentional simulator, DIFSIM(DIFfusion SIMulator to include models for arsenic diffusion and emitter dip effect which were found out to agree fairly well with the xperimental data.
This paper investigates summer precipitation change in East Asia according to switching surface boundary condition over South Korea and Shantung. Simulations are carried out by ECHO-G/S for 20 years (1980-1999). Surface condition over both areas in ECHO-G/S is represented by ocean (OCN experiment). In OCN experiment, the summer precipitation is considerably underestimated around the Korean peninsula (the dry region) and overestimated over the eastern Tibetan Plateau (the wet region). It may be related that the lack of the heat sources from the unrealistically prescribed land-sea mask weakens northward expansion of rainband and the development of convective precipitation. Moreover the simulated rainband retreats before June in connection with the early genesis of summer monsoon circulation. The systematic bias of the summer precipitation over the dry and wet regions are reduced comparing with the OCN experiment when the land-sea masks over South Korea and Shantung are realistically considered as land (LND experiment). These improvements can be explained by the thermodynamical dissimilarity between land and ocean. Enhanced warming by switching the areas from sea to land has led to develop the thermal low over Yellow Sea with the cyclonic circulation. Thus, this cyclonic circulation supports moistures from the south to the dry region and blocks to the wet region. The heat transport from the land surface to atmosphere plays a key role in the developing convective precipitation in local scale and maintaining the precipitation and the rainband. Therefore, this results indicate that the design of the realistic land-sea distribution is required for the accurate simulation of the regional precipitation.
오랜 시간 보관된 사진 및 인쇄물의 색 바랜 현상은 염료의 특성, 보관 온도, 습도 및 광원 등의 환경적 요인에 따라 다르게 나타난다. 이러한 바랜 영상의 보정을 위해 회색계 알고리즘(gray world algorithm) 또는 WR(white patch retinex)과 같은 전역적 광원 추정을 기반으로 한 방법이 제안되었다. 그러나 색 바랜 현상은 지역적으로 다르게 나타나므로 기존의 전역적 방법으로는 잘 보정되지 않는다. 이에 본 논문에서는 바랜 영상의 지역적 보정을 위해 보정계수 통합 기반 색 보정 알고리즘을 제안하였다. 먼저, 제안한 방법은 다중 크기의 평균 필터를 적용해 지역적인 처리를 수행하고, 회색계 알고리즘을 기반으로 한 영상의 보정계수를 얻는다. 다음으로, R과 B 채널에 적용하기 위해 계산된 다중 크기의 보정계수들을 가중처리하여 합하고, 이 가중처리된 보정계수를 회색계 알고리즘 처리를 통해 결과 영상을 얻는다. 그 결과 제안한 방법은 전역적, 지역적으로 바랜 영상들에 대해 기존의 방법들보다 나은 보정 결과를 보였다.
최근 영상처리 분야는 디지털 영상장치들의 수요가 증대되면서 관심이 높아지고 있다. 그러나 디지털 영상은 영상을 처리하는 과정에서 다양한 원인으로 발생하는 잡음에 의해 훼손된다. 일반적으로 디지털 영상장치는 AWGN 등의 잡음이 발생하여 성능과 신뢰도를 저하하며 이를 제거하기 위한 다양한 연구가 진행되고 있다. 따라서 본 논문에서는 영상의 고주파 성분을 보호하고 AWGN을 효과적으로 제거하는 알고리즘을 제안하였다. 제안한 알고리즘은 가우시안 마스크를 적용한 추정치와 국부 마스크의 분포에 따라 적용된 가중치를 가감하여 최종 출력을 구한다. 그리고 제안한 알고리즘의 성능 평가를 위해 기존의 방법들과 시뮬레이션하였으며, PSNR과 처리한 확대 영상을 통해 특성을 비교하였다.
분산맵은 텍스트 영역이 주변과의 색상 혹은 밝기 변화가 심하다는 특징을 이용하는 방법으로 특히 잦은 포맷 변환에 의하여 해상도가 낮거나 일정하지 않은 웹 이미지의 텍스트 영역을 추출하는 데 적용할 수 있다. 그러나 이전의 분산맵을 적용한 방법들은 입력 영상 전역에 고정된 마스크를 한 번만 적용하는 광역 분산맵을 사용하므로 텍스트 크기가 매우 작거나 큰 경우, 획의 색상에 gradation효과가 있는 경우, 각도, 위치, 색상 등이 복잡한 경우 텍스트 추출 성능이 안정 적이지 못하다. 본 논문은 2단계 분산맵을 사용하여 Web 이미지에서 텍스트 영역을 안정적으로 추출하는 방법을 제안한다. 제안된 방법은 광역 및 지역 분산맵이 각 단계에서 적용되며 서로 계층적 관계를 가진다. 1단계는 텍스트 영역 추출 재현율을 높일 수 있도록, 충분히 큰 글자 혹은 작은 글자도 추출할 수 있는 일정한 마스크 크기를 가진 광역의 수직 및 수평 색 분산맵을 적용하여 유사 텍스트 영역을 추출한다. 2단계에서는 1단계의 각 연결요소영역에 새로운 마스크 크기를 가진 명암 분산맵을 적용하여 최종적인 텍스트 영역을 추출한다. 2단계 분산맵 적용에 의하여 1단계에서 구한 유사 텍스트 영역에 남아 있는 배경 부분이 많이 사라지게 되어 추출 정확률이 높아진다. 제안한 방법을 400개의 Web 이미지에 적용한 결과 배경이 복잡해도 비교적 안정적으로 텍스트 영역을 추출하는 것을 확인할 수 있었다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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