• 제목/요약/키워드: LPE method

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LPE(Liquid phase Epitaxy)방법으로 제작된 InGaAs/InP Ridge Waveguide Multiple Quantum Well Laser Diode의 광학적 특성조사 (An investigation of optical characteristics of InGaAsP/InP RWG MQW-LD by LPE method)

  • 오수환;하홍춘;박윤호;안세경;이석정;홍창희
    • 한국광학회지
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    • 제7권3호
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    • pp.266-271
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    • 1996
  • 본 연구에서는 수직형 LPE방법으로 제작된 InGaAsP/ImP RWG(Ridge Waveguide) MQW(Mutiple Quantum Well)-LD(Laser diode)의 광학적 특성을 조사하여 제작된 LD의 특성과 설계결과를 비교 분석하였다. 광학적 특성 분석결과 제작된 LD가 설계된 데로 측방향 단일모드로 동작하였으며 내부양자효율은 77%, 내부손실은 18$cm^{-1}$ /, 발진파장의 온도특성은 5.5.angs./C.deg.로 나타났다. 이러한 결과들로부터 수직형 LPE방법으로 성장된 에피층의 특성과 MQW의 계면특성이 아주 양호하다는 것을 알 수 있었으며 제작된 RWG MQW-LD의 특성도 양호함을 알 수 있었다.

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단결정 성장을 위한 수직형 LPE 장치의 제작 (The Development of Fertical type LPE System for Single Crystal Growth)

  • 오종환
    • 한국광학회:학술대회논문집
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    • 한국광학회 1989년도 제4회 파동 및 레이저 학술발표회 4th Conference on Waves and lasers 논문집 - 한국광학회
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    • pp.201-205
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    • 1989
  • In this study, the vertical type LPE system has been developed by fully hand-made. The temperature fluctuation and minimum cooling rate of this LPE system are within $\pm$0.05$^{\circ}C$ and 0.15$^{\circ}C$/min, respectively. It is considered that these properties are enough to grow III-V semiconductor compounds single crystals by liquid phase epitaxy method. Futhermore in this study. 1.3${\mu}{\textrm}{m}$ GaInAsP/InP single crystal growing has been carried out by this system. It has been obtained that the growing rate was about 0.72${\mu}{\textrm}{m}$/min for InP binary layer and 0.36${\mu}{\textrm}{m}$/min for GaInAsP quarternary layer under 0.6$^{\circ}C$/min cooling rate condition.

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LPE법으로 성장시킨 Bi2Sr2Ca(Cu1-xNix)2O8+δ 막(film)의 초전도특성 및 터널링 분광 (Superconducting Properties and Tunneling Spectroscopy of Bi2Sr2Ca(Cu1-xNix)2O8+δ Film by LPE Method)

  • 이민수
    • 한국세라믹학회지
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    • 제40권5호
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    • pp.455-459
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    • 2003
  • LPE(Liquid Phase Epitaxial)법을 이용하여 성장시킨 B $i_2$S $r_2$Ca(C $u_{1-x}$ N $i_{x}$ )$_2$ $O_{8+}$$\delta$/ 막(film)을 break junction 법을 이용하여 터널링 분광을 측정하였다. Ni 조성비 $\chi$$_{L}$의 증가에 따라 에너지 간격 2$\Delta$의 크기는 증가하였다. 에너지 간격 2$\Delta$(4.2 K)는 54.4~64 meV, 2$\Delta$/ $k_{B}$ $T_{c}$ $^{zero}$는 7.36~10.14로 BCS 이론에 의한 값 보다 큰 결과를 얻었다. 융액(melting solution) 속의 Ni 조성비 $\chi$$_{L}$의 증가에 따라, 임계온도 $T_{c}$ $^{zero}$와 격자상수 c-축의 길이는 감소하는 경향을 보였다.을 보였다.$^{zero}$와 격자상수 c-축의 길이는 감소하는 경향을 보였다.

LPE법으로 성장시킨 $Zn:LiNbO_3/Mg:LiNbO_3$ 단결정 박막의 구조적 특성 (Structural properties of $Zn:LiNbO_3/Mg:LiNbO_3$ single crystal thin films grown by LPE method)

  • 이호준;신동익;이종호;윤대호
    • 한국결정성장학회지
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    • 제15권3호
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    • pp.120-123
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    • 2005
  • [ $Li_2CO_3-V_2O_5$ ], flux를 사용한 liquid phase epitaxy(LPE) 법을 사용하여 $LiNbO_3$ (001) 기판위에 5 mol% ZnO가 첨가된 $LiNbO_3$, 박막과 2 mol% MgO가 첨가된 $LiNbO_3$, 박막을 성장시켰다. $Zn:LiNbO_3$, 막과 $Mg:LiNbO_3$, 막과의 결정성과 격자 부정합은 x-ray rocking curve(XRC)로 분석되었다. 그리고 다층 박막의 단면에서의 ZnO와 MgO의 분포가 electron probe micro analyzer(EPMA)를 사용하여 관측되었다.

Correlation Between Lateral Photovoltaic Effect and Conductivity in p-type Silicon Substrates

  • Lee, Seung-Hoon;Shin, Muncheol;Hwang, Seongpil;Park, Sung Heum;Jang, Jae-Won
    • Bulletin of the Korean Chemical Society
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    • 제34권6호
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    • pp.1845-1847
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    • 2013
  • The lateral photovoltaic effect (LPE) can be observed in semiconductors by irradiating a light spot position between electrodes on sample's surface. Because lateral photovoltaic voltage (LPV) is sensitively changed by light spot position, a LPE device has been tried as a position-sensitive detector. This study discusses the correlation between LPV and conductivity in p-type silicon and nano-structured Au deposited p-type silicon (nano-Au silicon), respectively. Conductivity measurement of the sample was carried out using the four-wire method to eliminate contact resistance, and conductivity dependence on LPV was simultaneously measured by changing the light irradiation position. The result showed a strong correlation between conductivity and LPV in the p-type silicon sample. The correlation coefficient was 0.87. The correlation coefficient between LPV and conductivity for the nano-Au silicon sample was 0.41.

LPE GROWTH OF $La_{2-x}Sr_xCuO_4$ SINGLE-CRYSTALLINE FILMS

  • Tanaka, Isao;Tanabe, Hideyoshi;Watauchi, Satoshi;Kojima, Hironao
    • 한국결정성장학회:학술대회논문집
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    • 한국결정성장학회 1999년도 PROCEEDINGS OF 99 INTERNATIONAL CONFERENCE OF THE KACG AND 6TH KOREA·JAPAN EMG SYMPOSIUM (ELECTRONIC MATERIALS GROWTH SYMPOSIUM), HANYANG UNIVERSITY, SEOUL, 06월 09일 JUNE 1999
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    • pp.371-387
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    • 1999
  • La2-xSrxCuO4 single-crystalline films were prepared on bulk single crystals of Zn-doped La2CuO4 as the substrates by LPE technique using tow deferent methods. When prepared using an alumina crucible in normal electrical furnace, the La2-xSrxCuO4 films were contaminated with less than 3 at% aluminum from the alumina crucibles. Aluminum contamination either reduced or completely destroyed the superconductivity of the La2-xSrxCuO4 films. For LPE growthby modified TSFZ method using an infrared heating furnace without crucibles, the La2-xSrxCuO4 films of x=0.11 showed superconducting with Tconset 36 K, which is 10 K higher than that in the La2-xSrxCuO4 bulk single crystals.

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LPE 방법으로 제작된 InGaAsP/InP PBH-LD의 누설전류해석 (The analysis of leakage current of InGaAsP/InP PBH-LD fabricated by LPE)

  • 최미숙;김정호;홍창희
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
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    • 한국해양정보통신학회 2002년도 추계종합학술대회
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    • pp.481-485
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    • 2002
  • 본 연구에서는 수직형 LPE 장치를 이용하여 meltback 방법으로 제작된 PBH-LD에 대한 누설전류를 해석하였다. PBH-LD에서 활성층 이외의 p-n 다이오드와 p-n-p-n 전류차단층과 같은 누설경로에 따른 이들의 영향을 조사하였다. 이러한 누설전류의 영향을 알아보기 위해 누설 폭이 "0" 일 때와 누설 폭이 $W_{ι}$ 일 때를 비교하였다. 그 결과 누설 폭에 따른 임계전류는 누설 폭을 줄이거나, 고유저항 ($\rho$$_{ι}$$\rho$$_{a}$ )비를 증가시켜줌으로써 임계전류가 낮아짐을 확인하였다. 본 연구에서 제작된 LD의 경우 활성층의 폭 $W_{a}$ 가 약 1.4$\mu\textrm{m}$이고 누설 폭이 약 0.6$\mu\textrm{m}$로, 제작된 LD의 cavity length와 임계전류를 비교해 본 결과 고유저항비가 약 0.5일 때 누설 폭에 따른 계산된 임계전류값과 실제 제작된 PBH-LD의 임계전류값이 일치함을 확인하였다. 따라서, 제작된 PBH-LD의 p-InP 차단층의 도핑농도를 $10^{18}$ c $m_{-3}$ 에서 $10^{17}$ $cm^{-3}$으로 줄여 누설영역의 저항을 크게 함으로써 누설전류를 더 줄일 수 있으리라 생각된다.다.

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