• 전기학회논문지
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• 제56권8호
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• pp.1436-1440
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• 2007

Beryllium copper has been known to be an important material for the various fields of industry because it can be used for mechanical and electrical/electronic components that are subjected to elevated temperatures (up to $400^{\circ}C$ for short times). Blade type tip for probing the cells of liquid crystal display(LCD) was fabricated using beryllium copper foil. The dry film resist was employed as a mask for patterning of the blade type tip. The beryllium copper foil was etched using hydrochloric acidic iron-chloride solution. The concentration, temperature, and composition ratio of hydrochloric acidic iron-chloride solution affect the etching characteristics of beryllium copper foil. Nickel with the thickness of $3{\mu}m$ was electroplated on the patterned copper beryllium foil for enhancing its hardness, followed by electroplating gold for increasing its electrical conductivity. Finally, the dry film resist on the bridge was removed and half of the nickel was etched to complete the blade type tip.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제17권11호
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• pp.1143-1148
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• 2004

In this study, photoresist stripping in semiconductor or LCD (liquid crystal display) fabrication processes using DIO, was investigated. In order to obtain the high PR stripping efficiency of DIO. we have developed new ozone-generating system with high ozone concentration and ozone-resolving system with high contact ratio. In this study, we obtained ozone gas concentrations of 11 % by new ozone-generating system, ozone-resolving efficiency of 99.5 % and maximum solubility of 130 ppm in deionized water. We applied the newly designed equipments to photoresist stripping processes and obtained similar results to SPM(sulfuric-peroxide mixture) process characteristics.

• 한국정밀공학회지
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• 제21권3호
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• pp.147-154
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• 2004

This paper presents a procedure for analysis and design of a fine positioning stage, which has many applications in industries for machine tools, semiconductor, LCD and so forth. The stage considered here is based on a single module with 3 axes which is composed of flexures hinges, piezoelectric actuators and their peripherals. Through a series of analysis, the structural analysis model is simplified as a rigid body(the moving part) and springs(the flexures hinges). An experimental design procedure is applied to determine the dimension of flexures hinges. A sensitivity analysis on the notch positions is also performed to obtain a guideline of fabrication accuracy for the stage. An actual fine stage is made and verified through an experiment on the dynamic characteristics.

• 대한전자공학회논문지
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• 제23권1호
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• pp.46-49
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• 1986

A 32x32 liquid crystal (LC) flat panel display using two-dimensional array of PMOS switches and capacitors is designed and fabricated. Standard PMOS process was followed to fabricate the switch and capacitor array on silicon wafer, on the top of which guest-host effect liquid crystal was wmployed as an electro-optical material for optical switching and liquid crystal display(LCD) with its external drive circuitry was basically successful. Remaining problems to be solved are improvement of contrast ratio, good surface alignment and uniformity.

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제21권2호
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• pp.85-89
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• 2014

본 연구에서는 자기 소프트 몰드를 이용하여 피치 143.59 nm의 고 성능 NWGP(Nano Wire Grid Polarizer) 필름의 새로운 제조 방법을 제안하였다. 제작된 편광필름은 $6cm{\times}6cm$의 PET기판위에 알루미늄 격자 구조를 가지고 있으며, 이는 TFT-LCD(Thin Flat Transistor Liquid Crystal Display)에 응용 가능할 것으로 보인다. 자기 소프트 몰드는 너비 70.39 nm의 규격으로 제작되었으며, 이를 이용하여 2단계의 복제과정을 거쳐 제작되어진다. 이를 통해 본 연구에서는 기판위에 75.68 nm 선폭과 64.76 nm의 높이 143.59 nm pitch를 가지는 격자구조의 NWGP 패턴을 제작하였다. 또한, 이는 800 nm 파장 영역 대에서 75%의 최대 투과율과 10%의 최소 투과율을 가지는 것을 확인하였다. 따라서, 본 공정을 통해 독창적인 저 비용의 나노패터닝 기술로 디스플레이 산업에서 적용되어 질 것으로 보여진다.

• 한국정밀공학회지
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• 제23권9호
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• pp.174-178
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• 2006

Pyramid shape of micro pattern is applied to the light guide panel (LGP) to enhance the uniformity of the brightness of the LCD. The micro pyramids are molded in intaglio on the surface of the LGP. The size of each pyramid is 5$\mu$m $\times$ 5$\mu$m on bottom and the height is about 3.5$\mu$m. The pyramids are distributed on the LGP surface randomly to be sparser where the light comes in and denser at the opposite side as a result of a simulation using lightools$^{TM}$ Based on this design, a silicon pattern master and a nickel stamper are fabricated by MEMS process and electro plating process. Intaglio micro pyramids are fabricated on the 6' of silicon wafer from the anisotropic etching using KOH and the process time, temperature of the KOH solution, etc are optimized to obtain precise shape of the pattern. A Wi stamper is fabricated from this pattern master by electro plating process and the embossed pyramid patterns turns out to be well defined on the stamper. Adopting this stamper to the mold base with two cavities, 1.8' and 3.6' LGPs are injection molded.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.241.2-241.2
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• 2014

We present highly transparent liquid crystal displays (LCDs) using hybrid films based on carbon nanomaterials, metal grid, and indium-tin-oxide (ITO) grid. Carbon based nanomaterials are used as transparent electrodes because of high transmittance. Despite of their high transmittance they have relatively high sheet resistance. To solve this problem, we applied grid and made hybrid conductive films based on carbon nanomaterials. Conventional photolithography processes were used to make a grid pattern of metal and ITO. To fabricate transparent conductive films, carbon nanotube (CNT) ink was spin coated on the grid pattern. The transparency of the conductive film was controlled by shape and size of the grid pattern and the thickness of CNT films. The optical transmittance of CNT-based hybrid films is 92.2% and sheet resistance is also reduced to $168{\Omega}/square$. These substrates were used for the fabrication of typical twisted nematic (TN) LCD cells. From the characteristics of LCD devices such as transmittance, operating voltage, voltage holding ratio our devices were comparable to those of pristine ITO substrates. The result shows that the hybrid conductive films based on carbon nanomaterials could be alternative of ITO for the highly transparent LCDs.

• 폴리머
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• 제35권5호
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• pp.385-389
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• 2011

러빙공정에서는 러빙 시 공정변수와 배향막의 특성 그리고 러빙포의 물성이 중요한 변수로 작용한다. 이러한 변수들은 러빙밀도(rubbing density)와 러빙력(rubbing force)에 의해서 결정되는 러빙된 정도(크기)를 통하여 배향막의 배향성에 영향을 미치게 된다. 본 연구에서는 러빙 변수 중 러빙포의 물성이 러빙밀도(길이)와 러빙력에 미치는 영향에 대하여 알아보기 위하여 다른 물성(파일 밀도, 강직도)을 가지는 러빙포를 이용하여 러빙효과(정도)를 분석하였다. 러빙포의 파일 밀도가 커지고 강직도가 강할수록 러빙된 배향막의 이방성과 표면조도가 커졌으나 러빙효과의 형태는 서로 달랐다. 러빙포의 파일밀도는 러빙에 관여하는 파일의 수와 밀접한 관련이 되어 있어 러빙하는 밀도(길이) 영향을 미치지만 강직도는 러빙밀도(길이)보다는 러빙력과 보다 밀접하게 관련성이 있었다.

• 대한전자공학회논문지TE
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• 제39권2호
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• pp.11-16
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• 2002

본 논문은 백색유기발광소자를 구현하기 위해서 빛의 3원색인 적, 녹, 청색의 형광색소를 적절하게 배합하여 단일층 백색광을 얻었다. 개별적인 적색, 녹색, 청색 유기고분자 발광소자의 성능이 가장 우수한 특성을 조사한 후 최적화된 값으로 백색유기발광소자를 제작하였다. PVK와 Bu-PBD를 각각 70wt%, 30wt%로 혼합한 용액에 Nile Red(0.015mol%), Coumarin6(0.04mol%), TPB(3mol%)를 각각 첨가하여 백색발광소자를 제작하였을 때 구동전압이 20V에서 휘도 785cd/$m^2$, 색좌표가 (0.32, 0.34)인 백색광을 얻었다

• 한국광학회지
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• 제15권4호
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• pp.299-308
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• 2004

공액상 없이 여러 가지 물체를 동시에 재생 가능한 다채널 다단계 위상형 컴퓨터-생성 홀로그램(CGH)을 설계할 수 있는 보다 효과적인 부호화 방법을 제안하였다. 다채널 CGH 패턴을 설계하기 위하여 pixel oriented CGH 제작방식을 이용하였다. 설계된 CGH 패턴의 성능평가를 위해 양자화 위상 단계수에 따른 여러 가지 다채널 CGH들의 회절효율(η), 평균제곱에러(MSE) 및 신호 대 잡음비(SNR) 등의 변화를 살펴보았다. 일반적으로 CGH에 기록되는 물체 수가 증가할수록 CGH의 재생품질은 떨어진다. 그러나 회절효율의 경우 1채널 CGH가 70%이고 제안한 부호화 방법으로 설계한 2채널, 4채널, 8채널 CGH들은 각각 62%, 62%, 63%로 채널수가 증가하여도 큰 차이가 없음을 컴퓨터 모의실험을 통하여 확인할 수 있었다. 또한 렌즈로 결합되어 있는 PAL-SLM과 XGA형 LCD 그리고 이에 빛을 조명하는 LD 등으로 구성되어 있는 액정 공간 광 위상 변조기를 사용하여 광학적으로 CGH를 구현하여 입력영상을 재생$.$고찰해 보았다.