• 제목/요약/키워드: LC$_50$

검색결과 892건 처리시간 0.025초

Acidic primer를 이용한 교정용 브라켓 접착의 전단결합강도 (APPLICATION OF ACIDIC PRIMER FOR ORTHODONTIC ADHESIVE SYSTEM)

  • 김진희;진훈희;오장균
    • 대한치과교정학회지
    • /
    • 제31권1호
    • /
    • pp.137-147
    • /
    • 2001
  • Acidic primer는 하나의 용액으로 conditioning과 priming을 동시에 시행하는 새로운 접착 시스템으로 치질의 손상이 적고 처리 과정이 간단한 특징을 지닌다. 본 실험은 acidic primer를 이용하여 치면처리를 시행한 후 기존의 접착제로 브라켓을 접착할 때 적절한 결합강도를 지니는지 평가하기 위하여 고안되었다. 50개의 사람 소구치를 5개군으로 나누어 4개군은 acidic primer로 법랑질을 처리한 후 Clearfil Liner bond $2^{\circledR}$(1군), Transbond $XT^{\circledR}$(2군), Panavla $21^{\circledR}$(3군), Fuji Ortho $LC^{\circledR}$(4군)로 브라켓을 접착하였고 1개군은 TransHond $XT^{\circledR}$를 통상적인 산부식 방법을 이용하여 접착(5군)한 후 전단 결합 강도를 측정하고 접착파절의 양상을 평가하여 다음과 같은 결론을 얻었다. 1 Acidic primer로 처리한 4개의 군 가운데 광중합형 글래스 아이오노머를 사용한 군(4군)의 전단결합강도($9.72{\pm}3.16MPa$)와 Panavia $21^{\circledR}$을 사용한 군(3군)의 전단 결합 강도($8.69{\pm}2.72MPa$)는 37$\%$ 인산으로 처리한 후 광중합형 레진 (Transbond $XT^{\circledR}$)을 사용한 군(5군)의 전단결합강도($10.48{\pm}2.60MPa$)와 유의성있는 차이를 보이지 않았다 (P>0.05). 2. Acidic primer로 처리한 4개의 군 가운데 광중합형 글래스 아이오노머를 사용한 군(4군)과 Panavia $21^{\circledR}$을 사용한 군(3군)의 전단 결합 강도는 Clearfil Liner bond $2^{\circledR}$를 사용한 군(1군)의 전단 결합 강도($1.09{\pm}0.53MPa$)와 광중합형 레진(Transbond $XT^{\circledR}$)을 사용한 군(2군)의 전단 결합 강도($2.70{\pm}1.46MPa$)에 비해 유의하게 큰 강도를 보였다 (p<0.05). 3. 접착제 잔류지수 측정 결과 4군($2.1{\pm}1.1$)과 5군($2.9{\pm}0.3$)의 경우 1군($0.2{\pm}0.4$), 2군($0.3{\pm}0.9$), 3군($0.2{\pm}0.4$)에 비해 접착제 잔류지수가 유의하게 높았다 (p<0.05). 4. 4군과 5군의 접착제 잔류 지수간에는 유의한 차이가 없었다 (p>0.05). 따라서 acidic primer로 치면을 처리하는 방법은 시용되는 접착제에 따라 기존의 산부식 접 착법과 유사한 결합강도를 얻을 수 있어 교정용 브라켓 접착시 산부식 단계를 생략할 수 있는 가능성을 보여준다.

  • PDF

방울토마토 라이코펜 품종의 유리아미노산 및 폴리페놀 화합물의 분석 (Analysis of Free Amino Acids and Polyphenol Compounds from Lycopene Variety of Cherry Tomatoes)

  • 김현룡;안준배
    • 한국조리학회지
    • /
    • 제20권3호
    • /
    • pp.37-49
    • /
    • 2014
  • 본 연구에서는 방울토마토 라이코펜 품종의 식품학적 유용성을 알아보기 위해 유리아미노산, 아미노산 대사물질 및 폴리페놀 화합물의 조성을 분석하였다. 방울토마토 라이코펜 품종은 L-Cys과 L-Try을 제외한 18종의 유리아미노산을 함유하고 있었다. 방울토마토 라이코펜 품종의 유리아미노산 중 L-Glu이 건조 중량 100 g 당 2,499.02 mg이 함유되어 전체 아미노산 중 55.5%를 차지하고 있어 유리아미노산 중 가장 많은 함유량을 보였다. 그리고 L-Gln이 전체 아미노산 중 15.9%, L-Asp가 9.9% 함유되어 있어 L-Glu, L-Gln 및 L-Asp가 전체 아미노산 함량의 81% 이상을 차지하는 주요 구성 아미노산임을 알 수 있었다. 또한, 트립토판을 제외한 히스티딘, 이소류신, 류신, 라이신, 메티오닌, 페닐알라닌, 트레오닌 및 발린 등 필수아미노산이 고루 함유되어 있어 영양적인 측면에서 좋은 식품소재로 판단된다. 라이코펜 품종은 ${\gamma}$-aminobutyric acid(GABA), carnitine(L-Car), o-phosphoethanolamine(o-Pea), hydroxylysine(Hyl) phosphoserine(p-Ser), N-methyl-histidine(Me-His), ethanolamine($EtNH_2$) 등 아미노산 대사물질을 함유하고 있었으며 이 중 GABA가 건조 중량 100 g 당 305.99 mg으로 유리아미노산 대사물질 중 가장 많이 함유되어 있었다. LC/MS/MS 분석을 통해 라이코펜 품종으로부터 caffeic acid-hexose isomer I (CH I), caffeic acid-hexose isomer II (CHII), 3-caffeoylquinic acid(3-CQA), 5-caffeoylquinic acid(5-CQA), caffeoylquinic acid isomer(CQAI), quercetin-hexose-deoxyhexose-pentose(QTS), quercetin-3-rutinoside(Q-3-R), di-caffeoylquinic acid(di-CQA), tri-caffeoylquinic acid(tri-CQA), naringenin chalcone(NGC) 등 10종의 폴리페놀 화합물을 확인하였다. 특히, 항알러지효과, 2형 당뇨 억제 및 비만억제효과를 보이는 NGC이 건조 중량 100 g 당 67.6 mg으로 가장 많이 함유되어 있었고 Q-3-R이 50.9 mg으로 다량 함유되어 있었다. 결과적으로 방울토마토 라이코펜 품종은 18종의 유리아미노산과 트립토판을 제외한 8종의 필수아미노산이 고루 함유되어 있고 GABA, NGC, Q-3-R 등 생리활성 물질이 다량 함유되어 있어 영양이나 건강 측면에서 매우 유용한 식품 소재라 할 수 있다.

HPLC-UVD를 이용한 농산물 중 Imazapyr의 공정분석법 확립 (Development of an Official Analytical Method for Determination of Imazapyr in Agricultural Commodities using HPLC-UVD)

  • 장진;김희정;고아영;이은향;주윤지;김진홍;장문익;이규식
    • 농약과학회지
    • /
    • 제19권1호
    • /
    • pp.5-13
    • /
    • 2015
  • 농산물 중 잔류농약의 안전관리를 위해 2014년 신규 기준설정 농약인 imazapyr의 분석법을 개발하였고 분석법의 정확성, 재현성, 정밀성, 선택성, 직선성에 대한 검증을 통하여 잔류농약 분석을 위한 공정분석법으로서의 유효성을 검증하였다. Imazapyr는 imidazolinone계 화합물로 아미노산의 생성을 억제하여 잡초의 생장을 방제하는 제초제이다. Imazapyr는 CODEX를 포함한 미국, 일본 등에서 잔류허용기준(MRL)이 설정되어 있으며, 우리나라에서도 대두에 대해 잔류허용기준을 설정할 예정이다. 비록 기준은 대두에 우선 설정되지만 농산물 전반에 대한 안전관리를 위해 곡류, 콩류, 채소류, 과일류, 서류에 대한 분석법를 개발하였고, 각 농산물군의 대표작물인 대두, 고추, 감귤, 현미, 감자 시료에 대해 분석법을 개발하였다. 시료 중 imazapyr를 methanol을 이용해 추출하고 dichloromethane으로 액-액 분배하여 극성 간섭물질을 제거하였으며, 현미 및 대두 등 유지시료의 경우 n-hexane/acetonitrile 분배법을 적용하여 유지성분을 추가로 제거하였다. 분석기기로는 Imazapyr의 낮은 증기압과 UV 파장의 빛에 대한 흡광성을 감안하여 HPLC-UVD를 사용하였다. 확립된 분석법에서 검량선의 상관계수($r^2$)는 0.99% 이상으로 우수한 직선성을 보였으며, 5개 대표 농산물에 imazapyr를 3개 농도에서 5회 반복하여 수행한 결과 회수율은 72.1-108.0%이었고 분석오차는 10% 미만으로 잔류농약 분석을 위한 CODEX 가이드라인(CAC/GL 40, 2003)에 적합하였다. 본 연구에서 확립된 분석법은 식품 중 imazapyr의 안전관리를 위한 공정분석법으로 사용될 것이다.

정원내 가시연꽃(Euryale ferox Salisbury) 도입을 위한 기초연구 - 식물상과 식생을 중심으로 - (A Basic Study on the Euryale ferox Salisbury for Introduction in Garden Pond - Focusing on the Flora and Vegetation -)

  • 이석우;노재현;오현경
    • 한국전통조경학회지
    • /
    • 제34권1호
    • /
    • pp.83-96
    • /
    • 2016
  • 본 연구는 가시연꽃(Euryale ferox Salisbury)을 구성종으로 하는 연못의 식재기반 조성을 위한 기초자료 획득을 목적으로, 전라북도 내의 가시연꽃 자생지 14곳에 대한 문헌 및 현장조사를 통해 자생지 식물상과 식생환경에 대한 조사분석을 통해 다음과 같은 결과를 얻었다. 1. 가시연꽃 생육지 14곳의 전체 식물상은 79과 211속 298종 2아종 30변종 6품종으로 총 336분류군이 확인되었으며, 정수성 수생식물은 17분류군, 부엽성은 가시연꽃을 포함하여 7분류군, 부유성은 5분류군 그리고 침수성 수생식물은 2분류군으로 분류되었다. 수생식물만을 대상으로 한 유사도분석 결과, 가장 유사도가 높은 정읍 한성지와 고창 석남저수지에서는 가시연꽃 이외에 부엽성식물로 연꽃과 마름이 동일하게 서식하고 있다. 따라서 가시연꽃을 주소재로 한 연못 조성시 연과 마름은 동반식물로서 생태적 지위를 보이는 것으로 파악된다. 2. 생육형별 수생식물의 출현빈도를 살펴보면, 가시연꽃 이외에 정수성식물인 뚜껑덩굴과 갈대가 각각 11회 출현하여 78.6%의 높은 빈도를 보였으며 부엽성 수생식물인 마름이 10회(71.4%), 줄이 8회(57.1%) 출현하였다. 이밖에 고마리, 겨풀, 마름, 개구리자리, 물피, 매자기, 연꽃, 어리연꽃의 순으로 출현율이 높았다. 3. IUCN 평가기준에 따른 조사대상 가시연꽃 생육지에서 발견된 희귀식물은 가시연꽃과 함께 취약종(VU)인 통발, 이외에 약관심종(LC)인 새박, 자라풀, 물질경이 등 3분류군으로 도합 5분류군이 확인되어 가시연꽃 활용 연못시 도입이 가능한 희귀식물로 분류되었다. 4. 가시연꽃 자생지의 군락유형은 대부분 가시연꽃군락이었으며 군산의 대위저수지는 마름+가시연꽃+어리연꽃군락으로 정의하였다. 자생지별 가시연꽃의 녹피율은 0.03에서 36.50으로 상당히 큰 편차를 보였으며 평균 녹피율은 9.8로 계상됨에 따라 연못 조성시 가시연꽃의 녹피율을 10% 이하의 수준으로 유지하는 것이 합리적으로 판단된다. 5. 조사대상지별 가시연꽃 자생지와 인접한 식생군락으로는 나도겨풀군락 3개소, 마름군락과 줄군락이 각각 2개소, 연꽃군락, 어리연꽃+부들군락, 마름+연꽃군락, 자라풀군락, 나도겨풀+털물참새피군락 1개소 그리고 가시연꽃+마름군락 1개소 등으로 각 저수지마다 입지조건 등에 따라 다소의 차이를 보였다. 따라서 이러한 결과는 가시연꽃을 주요 구성종으로 하는 연못의 식재설계시 동반 부엽식물의 선정 및 식피율 배분에 반영해야 할 지침으로 제안한다.

전국 하천수 중 잔류우려 농약 실태조사 (Monitoring of Pesticide Residues Concerned in Stream Water)

  • 황인성;오예진;권혜영;노진호;김단비;문병철;오민석;노현호;박상원;최근형;류송희;김병석;오경석;임치환;이효섭
    • 한국환경농학회지
    • /
    • 제38권3호
    • /
    • pp.173-184
    • /
    • 2019
  • 우리나라 주요 하천수의 사용 중인 농약의 실태조사를 위해서 전국 50지점을 선정 후, 1차 (농약 사용 비성수기, 4/5월)및 2차(농약 사용 성수기, 8/9월)로 나누어 실시를 하였다. 하천수 모니터링 결과 농약 1차, 2차 때 각각 11, 28개의 농약이 검출되었다. 농약은 7월부터 기온이 올라가면서 병 해충 방제를 위해 농약사용량이 증가하기 때문에 2차시기에 농약검출량이 증가한 것으로 판단된다. 검출빈도 10회 이상의 농약은 1차 시기에는 butachlor, carbofuran, 2차 시기에는 tricyclazole, azoxystrobin, chlorantraniliprole, thiamethoxam, isoprothiolane 5종이었다. 검출농약은 대부분 수도용 농약으로 검출비율은 90%, 81%로 높게 나타났다. 이러한 이유는 하천수 중 잔류농약은 논에서 사용된 농약이 비산되어 직접적으로 하천수로 잔류되기도 하며 또는 토양에 잔류된 농약이 논물을 방류하면서 하천수로 이동하기 때문이다. 네 개의 scenario를 이용하여 위해성 평가를 진행하였을 때, butachlor, carbofuran, carbendazim, chlorantranilprole 및 oxadiazon에서 잠재위해성 및 위해성이 있는 것으로 평가되었다. 추후 모니터링 연구와 수서생물에 위해성이 나타나지 않는 농도 이하로 잔류할 수 있도록 농약안전사용기준 설정연구가 필요할 것으로 보인다.

시너(thinner)의 물리화학적 특성과 랫트의 생식기에 미치는 영향 연구 (A Study on thinner's Physicochemical property and its effect on genital organ of rat)

  • 김현영;이성배;한정희;김태균;이정석;강민구;이채관
    • 한국산업보건학회지
    • /
    • 제18권3호
    • /
    • pp.224-238
    • /
    • 2008
  • The aim of this study is to confirm the physicochemical property and hazard of thinner (012), which is a diluent of enamel paint used for floor coating for waterproofing and oil painting for the outer wall. The literatures of physicochemical property and hazard of thinner were surveyed and its physicochemical property were evaluated. And then, the inhalation toxicity of thinner affecting the central nervous system and reproductive organs in rats were examined by subchronic (6 h./day. 5 days/ week for 13 weeks) inhalation test. 1) According to the 13-week subchronic inhalation test, there were no significant changes in clinical test and body weight. However, a significant evidence of toxicity was observed in the hematological test and organ weight such as heart, kidney, liver and brain (p<0.01) in the 200 ppm and 1,000 ppm exposure groups in a dose response manner. In the histopathology analysis, there were no significant evidence of toxicity. Therefore, thinner was not classified as an organ targeted toxic agent. In case of Harmfulness, it could be classified as a chronic toxic agent 3($500 ppm/4hr, rat). 2) The reproductive toxicity such as extension of the period of estrous cycle, reduction of serum estradiol concentration and increase of frequency of the abnormal sperm was observed in the 1,000 ppm exposed animals. 3) The result of the physicochemical property of the test material showed that the specific gravity was 0.793, boiling point $155.8^{\circ}C$, steam pressure 2.1 kPa, ignition point $34.5^{\circ}C$, and spontaneous ignition point $280^{\circ}C$. The endothermic and exothermic values were 371.4 J/g and 159.1 J/g. respectively. The explosion limit was 214 mg/l. These data showed that thinner could be classified as an explosion agent level 1.2 and ignitive liquid agent 3 ($23-60^{\circ}C$) according to the notification No. 2008-1 of the Labor Ministry, "Classifying Standard of Chemical Materials."

Carbofuran과 Chiorothalonil의 공존이 Brachydanio rerio(zebrafish)를 이용한 단기간 생물농축계수의 측정에 미치는 영향 (Effect of Co-existence of Carbofuran and Chlorothalonil on the Short-term Bioconcentration Factor in Brachydanio rerio(zebrafish))

  • 민경진;차춘근
    • 한국환경보건학회지
    • /
    • 제23권2호
    • /
    • pp.64-71
    • /
    • 1997
  • This study was performed to investigate the effect of co-existence of carbofuran and chlorothalonil on the short-term bioconcentration factor in Brachydanio rerio(zebrafish). The fishes were exposed to the single and combined treatment of carbofuran and chlorothalonil for 1, 3 and 5 days. Experimental concentrations of carbofuran were 0.05 and 0.10 ppm under the single treatment. And those of chlorothalonil were 0.005 and 0.010 ppm. Experimental concentrations of the combined treatment of carbofuran and chlorothalonil were 0.05 ppm+0.005 ppm, 0.05 ppm+0.010 ppm, 0.10 ppm+0.005 ppm for 1, 3 and 5 days, respectively. Carbofuran and chlorothalonil in fish and in test water were extracted with n-hexane and acetonitrile. GC-ECD was used to detect and quantitate carbofuran and chlorothalonil. 1-day, 3-day and 5-day bioconcentration factors(BCF$_1$, BCF$_3$ and BCF$_5$) of each pesticide were obtained from the quantitation results. The depuration rate of each pesticide was determined over the 24-h period after combined treatment. The results were as follows: Carbofuran did not bioaccumulate in zebrafish under the single and combined treatment for testing periods. BCF$_1$ values of chlorothalonil in concentration of 0.005 and 0.010 ppm under the single treatment were 0.508, 0.621, BCF$_3$ were 1.327, 1.511 and BCF$_5$ were 1.331, 1.597, respectively. BCF$_1$ values of chlorothalonil were 0.512, 0.520 and 0.619, respectively, when the concentration of carbofuran and chlorothalonil in combined treatment were 0.05+0.005, 0.05+0.010 and 0.10+0.005 ppm. BCF$_3$ values of chlorothalonil 1.341, 1.338 and 1.513, respectively, and BCF$_5$ values of chlorothalonil were 1.332, 1.327 and 1.521, respectively, under the above combined treatment. Depuration rate constants of chlorothalonil in concentration of 0.005 and 0.010 ppm under the single treatment were 0.011 and 0.012. Depuration rate constants of chlorothalonil were 0.011, 0.010 and 0.011, when the concentration of carbofuran and chlorothalonil in combined treatment were 0.05+0.005, 0.05+0.010 and 0.10+0.005 ppm. It was observed that no significant difference of carbofuran and chlorothalonil concentration in fish extracts, test water, BCFs and depuration rate constants of carbofuran and chlorothalonil between combined treatment and single treatment. It was considered that no appreciable interaction at experimental concentrations due to lower concentrations than LC$_{50}$. It is suggested that the difference of BCFs between carbofuran and chlorothalonil due to those of fat composition of fish and solubility of carbofuran and chlorothaionil.

  • PDF

국내 유통중인 식용꽃차의 잔류농약 실태조사 (A Survey on Pesticide Residues of Commercial Flowering Teas)

  • 박정욱;이향희;오무술;김종필;장태관;유연아;하동룡;김은선;서계원
    • 농약과학회지
    • /
    • 제17권1호
    • /
    • pp.1-5
    • /
    • 2013
  • 꽃차 100건(국내산 21건, 중국산 50건, 독일산 20건, 미국산 3건, 남아공 1건, 프랑스 1건, 인도 1건, 파키스탄 1건, 이란 1건, 일본 1건)에 대해 잔류농약검사를 하였다. 잔류농약 203종을 검사한 결과 국화차 3건, 연꽃차 1건 모두 4건이 검출되었다. 국내산 연꽃차는 기준이내 적합이었고 나머지 3건에서는 농약이 기준 초과로 검출되었다. 원산지별로는 국내산 1건, 수입산 3건이었다. 검출된 농약 성분은 총 5종이었고 이중 pyrimethanil은 중복검출되었다. 차문화의 대중화와 더불어 꽃차에 대한 지속적인 잔류농약 모니터링 및 수입에서 유통까지 철저한 안전관리 대책이 요구된다.

Identification and Quantification of Glucosinolates in Rapeseed (Brassica napus L.) Sprouts Cultivated under Dark and Light Conditions

  • Lee, Min-Ki;Arasu, Mariadhas Valan;Chun, Jin-Hyuk;Seo, Jeong Min;Lee, Ki-Teak;Hong, Soon-Taek;Kim, In Ho;Lee, Yong-Hwa;Jang, Young-Seok;Kim, Sun-Ju
    • 한국환경농학회지
    • /
    • 제32권4호
    • /
    • pp.315-322
    • /
    • 2013
  • BACKGROUND: This study was performed for the identification and quantification of glucosinolate (GSL) contents in seven varieties of rapeseed (Brassica napus L.) sprouts cultivated under dark and light conditions. METHODS AND RESULTS: Crude glucosinolates (GSLs) were desulfated by treating with aryl sulfatase and purified using diethylaminoethyl sepharose (DEAE) anion exchange column. Individual GSLs were quantified using high-performance liquid chromatography (HPLC) with electrospray ionization-tandem mass spectrometry (ESI-MS/MS). Eleven GSLs including six aliphatic (progoitrin, sinigrin, glucoalyssin, gluconapoleiferin, gluconapin, and glucobrassicanapin), four indolyl (4-hydroxyglucobrassicin, glucobrassicin, 4-methoxyglucobrassicin, and neoglucobrassicin) and one aromatic (gluconasturtiin) were identified based on the fragmentation patterns of MS spectrum. Aliphatic GSLs were noted as the predominant group with average 85.2% of the total contents. The most abundant GSLs were progoitrin which was ranged at $8.14-118.68{\mu}mol/g$ dry weight (DW). The highest total GSL amounts were documented in 'Hanra' ($146.02{\mu}mol/g$ DW) under light condition and 'Mokpo No. 68' ($86.67{\mu}mol/g$ DW) in dark condition, whereas the lowest was in 'Tamra' (30.13 and $14.50{\mu}mol/g$ DW) in both conditions. The sum of aliphatic GSLs attributed > 80% in all varieties, except 'Tamra' (67.7% and 64.9% in dark and light conditions, respectively) in the total GSL accumulation. Indolyl GSLs were ranged $2.41-15.73{\mu}mol/g$ DW, accounted 2.78-33.6% of the total GSLs in rapeseed varieties. CONCLUSION(S): These results provide valuable information regarding potential beneficial GSL contents individually. This study attempts to contribute to knowledge of the nutritional properties of the different varieties of rapeseed plants. These results may be useful for the evaluation of dietary information.

태양전지 응용을 위한 E-beam 조사법에 의한 비정질 실리콘 결정화 특성연구 (Crystallization properties of amorphous silicon thin films by electron beam exposing method for solar cell applications)

  • 정채환;류상;김창헌;이종호;김호성
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국신재생에너지학회 2010년도 춘계학술대회 초록집
    • /
    • pp.80-80
    • /
    • 2010
  • 유리기판위에 큰 결정입자를 갖는 실리콘 (폴리 실리콘) 박막을 제조하는 것은 가격저가화 및 대면적화 측면 같은 산업화의 높은 잠재성을 가지고 있기 때문에 그동안 많은 관심을 가지고 연구되어 오고 있다. 다양한 방법을 이용하여 다결정 실리콘 박막을 만들기 위해 노력해 오고 있으며, 태양전지에 응용하기 위하여 연속적이면서 10um이상의 큰 입자를 갖는 다결정 실리콘 씨앗층이 필요하며, 고속증착을 위해서는 (100)의 결정성장방향 등 다양한 조건이 제시될 수 있다. 다결정 실리콘 흡수층의 품질은 고품질의 다결정 실리콘 씨앗층에서 얻어질 수 있다. 이러한 다결정 실리콘의 에피막 성장을 위해서는 유리기판의 연화점이 저압 화학기상증착법 및 아크 플라즈마 등과 같은 고온기반의 공정 적용의 어려움이 있기 때문에 제약 사항으로 항상 문제가 제기되고 있다. 이러한 관점에서 볼때 유리기판위에 에피막을 성장시키는 방법으로 많지 않은 방법들이 사용될 수 있는데 전자 공명 화학기상증착법(ECR-CVD), 이온빔 증착법(IBAD), 레이저 결정화법(LC) 및 펄스 자석 스퍼터링법 등이 에피 실리콘 성장을 위해 제안되는 대표적인 방법으로 볼 수 있다. 이중에서 효율적인 관점에서 볼때 IBAD는 산업화측면에서 좀더 많은 이점을 가지고 있으나, 박막을 형성하는 과정에서 큰 에너지 및 이온크기의 빔 사이즈 등으로 인한 표면으로의 damages가 일어날 수 있어 쉽지 않는 방법이 될 수 있다. 여기에서는 이러한 damage를 획기적으로 줄이면서 저온에서 결정화 시킬 수 있는 cold annealing법을 소개하고자 한다. 이온빔에 비해서 전자빔의 에너지와 크기는 그리드 형태의 렌즈를 통해 전체면적에 조사하는 것을 쉽게 제어할 수 있으며 이러한 전자빔의 생성은 금속 필라멘트의 열전자가 아닌 Ar플라즈마에서 전자의 분리를 통해 발생된다. 유리기판위에 다결정 실리콘 씨앗층을 제조하기 위하여 전자빔을 조사하는 방법과 Al을 이용한 씨앗층 제조법이 비교되어 공정 수행이 이루어진다. 우선, 전자빔 조사를 위해 DC 및 RF 스퍼터링법을 이용하여 ${\sim}10^{20}cm^{-3}$이상의 농도를 갖는 $p^+^+$ 비정질 실리콘 박막을 제조한다. Al의 증착은 DC 스퍼터링법을 이용하여 제조하고 그 두께는 실리콘 박막의 두께와 동일한 조건(350nm)으로 제조한다. 제조된 샘플은 E-beam gun이 달린 챔버로 이동하여 1.4keV의 세기를 가지고 각각 10, 20, 50, 100초를 조사한 후 단면의 이미지를 SEM으로, 결정화 정도를 Raman으로, 결정화 방향 등에 대한 조사를 XRD로 분석 측정한다. 그리고 Hall effect를 통해 전자빔의 조사 전후의 캐리어 농도, 이동도 및 비저항 등에 대한 조사가 이루어진다. 동시에 Al을 촉매로 한 layer교환에 대하여 마찬가지로 분석을 통하여 최종적으로 비교분석이 이루어 진다. 전자빔을 조사한 샘플에 대하여 빠른 시간 및 캐리어농도 제어 등의 우수성이 보이며, 특히 ~98%이상의 결정화율을 보일 것으로 예상된다.

  • PDF