A Study on the Comparision of Electron Energy Distribution Function measured by sawtooth and triangle waveform probe bias voltages (톱니파 및 삼각파 프로브 bias 전압에 의해 측정된 전자에너지 분포함수의 비교에 관한 연구)
-
- Proceedings of the KIEE Conference
- /
- 1996.07c
- /
- pp.1844-1847
- /
- 1996