A study has been made of surface modification of various organic materials by ion implantation to increase the surface electrical properties. The substrate used were PP(polypropylene), PET(polyethylene teraphthalate), ECOP(ethylene copolyester), PS(polystyrene). N$_2$, Ar ion implantation was performed at energies of 40 and 50keV with fluences from 5${\times}$ 10$\^$15/ to 7${\times}$10$\^$16/ ions/$\textrm{cm}^2$ with and without H$_2$O gas environment. Surface resistance decrease of implanted polymers was affected by ion implantation energy, ion species, atmosphere of chamber and kind of polymer. In result, surface conductivity of polymers irradiated with atmosphere gas H$_2$O was 10 times more higher than normal vacuum atmosphere, but after 90 hours, surface conductivity returned to the without H$_2$O gas atmosphere condition caused by aging effect. After vacuum forming, surface resistance value was changed to over 10$\^$16/$\Omega$/$\square$, because creation of surface cracks.
The bipolar plates are not only the major part of the polymer electrolyte membrane fuel cell (PEMFC) stack in weight and volume, but also a significant contributor to the stack costs. Stainless steels are considered to be good candidates for bipolar plate materials of the PEMFC due to their low cost, high strength and easy machining, as well as corrosion resistance. In this paper, 316L stainless steel with and without nitrogen ion implantation were tested in simulated PEMFC environments for application as bipolar plates. The results showed that the nitride formed by nitrogen ion implantation contributed the decrease of the interfacial contact resistance without degradation of corrosion property. The combination of excellent properties indicated that nitrogen ion implanted stainless steel could be potential candidate materials as bipolar plates in PEMFC. Current efforts have focused on optimizing the condition of ion implantation.
We developed three dimensional Monte carlo ion implantation simulator which simulate distributions of impurities under the ion implantation on the tilted multi-layered layer. Our simulation reveals three dimensional shadow effect and sidewall scattering effect due to the geometrical shapes. For the evaluation of the developed three dimensional Monte carlo ion implantation simulator, calculations with 100,000 ions have been performed for the island and hole structures with a thin oxide of 100$\AA$ and nitride of 2000$\AA$. The simulation results showed that the distribution of ion decreases near the conner of the hole structure covered with a nitride layer and increases near the conner for the island structure open to oxide. Moreover, three dimensional distributions of ions were obtained with varying incident energy, tilt and rotation angle, mask depth and three-dimensional structure geometry.
A modified surface layer by ion implantation is very thin (under 1 $\mu\textrm{m}$) but has superior mechanical characteristics. therefore ion implantation has been used successfully as a surface treatment technology to improve the wear, fatigue, and corrosion resistances of materials. MEVVA which is a kind of ion beam apparatus has merits of low cost and is usable to various metals, but occurs a droplet ranging from micron to tens of micron on the implanted surface at ion implantations. wear is a dynamic phenomenon on interacting surfaces with rotative motion. Since wear changes in condition of the surface, we should control to surface. In order to improve a wear resistance of Ti ion implanted 1C-3Cr steel(material for roller in the cold working process), it is essential to investigate the effect of the droplets on the wear characteristics. In this study, we investigate the effect of the droplets on the wear characteristics of 1C-3Cr steel using SEM Tribosystem as in-situ system. Results show that the droplet occurred at ion implantation becomes the cause of severe wear. Therefore, the ion-implanted surface should be removed the droplet to improve wear resistance.
항공우주 분야의 MEMS 기술의 중요성은 경량화 및 높은 분해능 등의 목적아래 점차 증가하고 있는 추세이다. 따라서 MEMS 기기의 제작에 있어 박막 물성의 조사 및 개선 방안은 중요한 논점이 되고 있으며, 박막의 잔류응력은 MEMS 기기 제작 및 구동에 있어 해결해야 할 중요한 문제점으로 남았있다. 따라서 본 논문에서는 MEMS 기기의 구조제로 많이 쓰이는 LPCVD 다결정 실리콘에 He+, Ar+ 이온을 주입함으로써 응력 구배를 완화하였다. 또한 Nano-indenter를 이용한 CSM 방법을 사용하여, 다결정 실리콘의 탄성계수와 경도를 압입 깊이에 따라 측정하였다. 그 결과, 이온 주입에 의한 결정성의 변화가 탄성계수와 경도를 감소시키지만, 이온 농도가 증가함에 따라 탄성계수와 경도가 증가하는 현상을 관찰하였다.
한국윤활학회 2002년도 proceedings of the second asia international conference on tribology
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pp.157-158
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2002
A surface hardenable low alloy carbon steel was implanted with medium energy (20 - 50KeV) $N_2^+$ ions to produced a modified hardened surface. The implantation conditions were varied and are given in several doses. The surface hardness of treated and untreated steels were measured using depth sensing ultra micro indentation system (UMIS). It is shown that the hardness of nitrogen ion implanted steels varied from 20 to 50GPa depending on the implantation conditions and the doses of implantation. The structure of the modified surfaces was examined by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). It was found that the high hardness on the implanted surfaces was as a result of formation of non-equilibrium nitrides. High-resolution XPS studies indicated that the nitride formers were essentially C and Si from the alloy steel. The result suggests that the ion implantation provided the conditions for a preferential formation of C and Si nitrides. The combination of evidences from nano-indentation and XPS, provided a strong evidence for the existence of $sp^3$ type of bonding in a suspected $(C,Si)_xN_y$ stoichiometry. The formation of ultra hard surface from relatively cheap low alloy steel has significant implication for wear resistance implanted low alloy steels.
Nitrogen implantation process has been applied for improvement of wear resistance of Z Zircaloy-4 fuel cladding materials. Nitrogen was implanted at 120 ke V to a total do range of 1xHP ions/cm2 to 8xlO17 ions/cm2 at various temperatures of 298"C to 676"C. The m microstructure changes by nitrogen implantation were analyzed by using TEM, XRD 뻐d A AES, cmd then wear behavior was evaluated by ball-on-disc wear testings at various loads a and sliding velocity under unlubricated condition. Nitrogen implantation produced ZrNx nitride above 4.37x1017 ions!cm2 as well as heavy d dislocations, which enhanced microhardness of the implanted surface of up to 900 Hk from 2 200 Hk of unimplanted substrate. Hardness was also found to be increased with increasing i implantation temperature and enhanced up to OOOHk at 620 "C. the wear resistance was g greatly improved with increasing total ion do않 as well as implantation temperature. The effective enhancement of wear resistance at high dose and tem야ratures is believed d due to significant hardening associated with high degree of precipitation of Zr nitrides and g generation of prismatic dislocation I$\infty$ps.infty$ps.
The aluminum nitride(AlN) layer on Al7075 substrate has been formed through nitrogen ion implantation process. The implantation process was performed under the conditions : 100 keV energy, total ion dose up to $2{\times}10^{18}\;ions/cm^2$. XRD analysis showed that aluminum nitride layers were formed by nitrogen implantation. The formation of Aluminum nitride enhanced surface hardness up to 265HK(0.02 N) from 150HK(0.02 N) for the unimplanted specimen. Micro-Knoop hardness test showed that wear resistance was improved about 2 times for nitrogen implanted specimens above $5\;{\times}\;10^{17}\;ions/cm^2$. The friction coefficient was measured by Ball-on-disc type wear tester and was decreased to 1/3 with increasing total nitrogen ion dose up to $1\;{\times}\;10^{18}ions/cm^2$. The enhancement of mechanical properties was observed to be closely associated with AlN formation. AES analysis showed that the maximum concentration of nitrogen increased as ion dose increased until $5\;{\times}\;10^{17}\;ions/cm^2$.
Transactions on Electrical and Electronic Materials
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제9권5호
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pp.206-208
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2008
Implantation of metals and ceramics with ions of nitrogen and other species has improved surface properties such as friction, wear and corrosion in numerous industrial applications. In recent years, PCB drills tend to be more minimized increasingly as the electronics components have been more highly accumulated and minimized. Therefore nitrogen ion implantation was performed onto PCB drill (0.15 & 0.3 mm in diameter), in order to investigate mechanical properties of WC-Co cermets surface through Nano-indentation tests. PCB drill was implanted at energy of 70 keV, 90 keV, 120 keV and with the dose range of $1{\times}10^{17}$ and $5{\times}10^{17}\;ions/cm^{2}$. After ion implantation, WC-Co PCB drill bits was tested in actual operating situation to apply cutting tools industry and is concluded that the life time of nitrogen ion implanted PCB drills is one and a half times longer than the unimplanted.
In this study, plasma source ion implantation was used to improve the wear properties of biocompatible titanium implant. In order to observe the effect of ion energy and dose on wear property of titanium implant, pin-on-disk type wear tests in Hank's solution were carried out. The friction coefficient of ion implanted specimens were increased from 0.47 to 0.65 under high energy and ion dose conditions. As increasing ion energy and ion dose, the amount of wear was reduced.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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