Interaction of $HfCl_4$ with Two Hydroxyl's on Si (001) Surface: A First Principles Study
($HfCl_4$ 와 Si (001) 표면에 결합된 두 개의 수산화기와의 상호작용: 제일원리 연구)
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- Journal of the Semiconductor & Display Technology
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- v.8 no.2
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- pp.55-58
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- 2009