Pd 촉매의 부분 산화 조절을 이용한 SnO$_2$ 박막 센서의 CH$_4$ 감도 변화 연구
(The effect of initial Pd catalyst oxidation stale on CH$_4$ sensitivity of SnO$_2$ thin film sensor)
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- 마이크로전자및패키징학회지
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- 제6권2호
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- pp.45-49
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- 1999