• 반도체디스플레이기술학회지
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• 제18권1호
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• pp.5-9
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• 2019

Optical emission spectroscopy is used to identify chemical species and monitor the changes of process results during the plasma process. However, plasma process monitoring or fault detection by using emission signal variation monitoring is vulnerable to background signal fluctuations. IR heaters are used in semiconductor manufacturing chambers where high temperature uniformity and fast response are required. During the process, the IR lamp output fluctuates to maintain a stable process temperature. This IR signal fluctuation reacts as a background signal fluctuation to the spectrometer. In this research, we evaluate the effect of infrared background signal fluctuation on plasma process monitoring and improve the plasma process monitoring accuracy by using simple infrared background signal subtraction method. The effect of infrared background signal fluctuation on plasma process monitoring was evaluated on $SiO_2$ PECVD process. Comparing the $SiO_2$ film thickness and the measured emission line intensity from the by-product molecules, the effect of infrared background signal on plasma process monitoring and the necessity of background signal subtraction method were confirmed.

• 한국에너지공학회:학술대회논문집
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• 한국에너지공학회 1996년도 추계학술발표회 논문집
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• pp.18-28
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• 1996

The outer-most electrons of metal atoms and the remaining valence electrons of any molecular atoms make three-dimensional crystallizing $\pi$-bondings. The rotating electrons on the three-dimensional crystallizing $\pi$-bonding orbitals of atoms make $\pi$-far infrared rays. Longitudinal wave is a propagation of a bundle of $\pi$-far infrared rays, which are produced by a dynamic impact on a solid bar. The $\pi$-far infrared rays make three-dimensional crystallizing $\pi$-bondings in the material, which reproduce the same $\pi$-far infrared rays. If a current signal is input into water molecules under a given electric potential field with $\pi$-far infrared rays (input information), the signal can be amplified because the $\pi$-far infrared rays make the $\pi$-bondings, which reduce electric resistance. The three-dimensional crystallizing $\pi$-bondings can induce normal electrons to move from one orbital to next one with a aid of potential electric field. Quantum Resonance Spectrometer is composed of tesla coil absorbing $\pi$-far infrared rays, tesla coil emitting varying electromagnetic waves signal generator, signal storage, human body amplifier, signal analyzer and data indicator. The absorbing tesla coil making varying magnetic field and downward and upward electric field, which resonates the $\pi$-far infrared rays coming out from specimen and absorbs them. The modulated current signal from the input square signal can generate and emit varying electromagnetic waves from the tesla coil. The varying electro-magnetic waves make the three-dimensional crystallizing $\pi$-bondings and the $\pi$-far infrared rays in the water molecules.

• 한국추진공학회:학술대회논문집
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• 한국추진공학회 2017년도 제48회 춘계학술대회논문집
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• pp.583-586
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• 2017

마이크로 터보제트엔진을 이용하여 S형상 배기노즐의 플룸의 적외선 신호 특성을 이해하기 위하여 적외선 신호 특정 연구를 수행하였다. 엔진 배기노즐은 원형노즐과 가로세로비가 5인 사각형 노즐 그리고 가로세로비가 5.2인 S형상의 배기노즐을 제작하여 실험을 수행하였다. 배기가스에서 방출되는 적외선 신호는 가로세로비가 클수록 적외선 신호의 크기가 점차 감소하는 경향을 보였고 배기노즐의 형상이 S형상의 경우 사각형 노즐 보다 적외선 신호가 28.4% 감소하는 것을 확인하였다.

• 한국추진공학회지
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• 제26권2호
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• pp.28-39
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• 2022

배기플룸 주위에 물을 분사할 경우 배기플룸에서 방출되는 장파장 적외선에 대한 특성을 알기 위하여 실험적인 방법으로 연구를 수행하였다. 배기플룸을 생성하기 위하여 마이크로 제트엔진을 사용하였으며, 배기노즐 주위에 8개의 물 분사노즐을 배치하였다. 물을 배기플룸과 평행하게 분사하여 배기플룸을 감싸거나, 또는 배기플룸 내에 물을 분사하는 두 가지 분사각도를 적용하였다. 장파장 적외선 신호 측정결과 물을 배기플룸과 평행하게 분사할 경우 물 분사유량에 따라 적외선 신호는 감소되었다. 배기플룸 내에 물을 분사할 경우, 적외선 신호는 배기플룸만 분사하는 경우보다 오히려 큰 값을 나타내는 것으로 측정되었다.

• 대한임베디드공학회논문지
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• 제7권1호
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• pp.25-31
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• 2012

We propose a method for an indoor mobile robot to track user with infrared transmitter. Several infrared receivers attached around by the mobile robot enable the robot to determine the moving direction by comparing the received signal patterns. The cost of the proposed system is not only cheaper than ultrasonic system, image signal processing, RFID, and RSSI method, but also robust against environment change because any complex algorithm is not necessary. In the mobile robot, ultrasonic sensors are equipped to avoid obstacles located in the moving direction, and a simple algorithm is embedded to avoid the case of poor signal reception.

• 산업기술연구
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• 제34권
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• pp.27-32
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• 2014

Infrared remote controllers are widely used in controlling electronic devices due to its simplicity and convenience. This paper presents a smart phone application unifying any infrared remote controllers. We can select a device from device list menu of the application. Any new device can be added easily by downloading the protocol file of the device from protocol file server. Remote controller protocol files are stored in audio file format, and the file related to a specific menu button is transmitted through the audio jack of smart phones. The protocol file server is a standard file server, and protocol files for various devices are collected by infrared receiver module. For smart phones without infrared facility, a small infrared module translating audio signal to infrared signal is applied.

• 한국인터넷방송통신학회논문지
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• 제21권4호
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• pp.43-49
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• 2021

소형 적외선영상 호밍시스템은 지상의 표적에 대하여 주야간 적외선 영상처리를 통하여 표적을 식별하고 주요 표적에 대하여 표적을 탐색, 탐지하여 추적하는 적외선 영상센서를 보유한 추적시스템이다. 본 논문에서는 지상의 표적을 주야간 적외선 영상을 통하여 표적 정보를 획득하여 실시간 영상처리를 통하여 표적을 식별하기 위한 고속의 CPU와 FPGA(Field Programmable Gate Array)가 탑재된 보드 개발의 내용을 설명한다. CPU, FPGA 선정과 영상신호처리를 위한 CPU-FPGA 결합 아키텍처에 대하여 제안하고 또한 김발구조의 적외선센서를 제어하기 위한 FPGA를 활용에 대하여 설명한다.

• 한국추진공학회지
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• 제25권4호
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• pp.28-35
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• 2021

열 추적 미사일로부터 항공기를 보호하기 위한 적외선(IR: InfraRed) 스텔스 기술은 군용 항공기 개발에 있어 매우 중요한 요소이다. 본 연구에서는 항공기에서 발생하는 다양한 적외선 신호 중 엔진 후류에서 발생하는 적외선 신호를 관측하고 이를 측정 각도별로 확인하여 신호 강도를 비교하였다. 실제 항공기에 적용된 제트 엔진을 모사하기 위해 소형 터보젯 엔진을 구성하였으며, 측정 각도에 따른 파장별 적외선 신호 특성을 확인하였고 파장별 신호를 적분하여 측정 범위 내 전체 적외선 radiance를 도출하였다. 본 연구를 통해 항공기 적외선 스텔스 성능 향상을 위한 기초 데이터를 제시하고자 한다.

• 스마트미디어저널
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• 제7권3호
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• pp.29-34
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• 2018

본 논문은 주변 소음이 많은 환경에서 보청기 수신 성능 향상을 위하여 적외선을 이용한 광통신 기술을 접목시키는 연구이다. 마이크로폰과 적외선 발광 다이오드를 포함하는 송신 모듈에서 음성신호를 적외선 광 신호로 변환시켜 공기 중에 내보내고, 일정 거리 떨어진 곳에 위치한 수신 모듈에서 적외선 신호를 수신하여 전기 신호로 변환하여 디지털 보청기의 입력 단에 전달한다. 특별히 수신 모듈은 보청기에 부착되어야 하므로 소형이며 저전압이고 저전력 소모가 바람직하다. 디지털 변조 방식과 아날로그 무변조 방식의 적외선 통신 기술을 적용하여 실험한 결과 실내에서 약 5미터 거리의 적외선 통신은 아날로그 무변조 방식이 적합함을 보였다. 송신 모듈과 수신 모듈 시제품을 제작하여 디지털 보청기에 연결하고 내부 파라미터를 조정하여 음성 신호를 정상 송수신함을 확인하였다.

• 한국추진공학회지
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• 제20권5호
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• pp.1-8
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• 2016

배기노즐 형상변화에 따른 엔진성능특성 변화와 그에 따른 적외선 신호특성을 이해하기 위하여 마이크로 터보제트 엔진을 이용한 성능특성 및 적외선 신호 측정 연구를 수행하였다. 엔진 배기노즐은 원형노즐과 가로세로비가 서로 다른 5개의 사각형 노즐을 제작하여 실험을 진행하였다. 엔진의 추력 및 연료소모율은 배기노즐 형상에 따라 큰 차이를 나타내지는 않았다. 그러나 배기가스에서 방출되는 적외선 신호의 경우 가로세로비가 큰 사각형 노즐에서 적외선 신호가 점차 감소하는 경향을 확인하였다.