The Embodiment of GAS Pressure Controller for Temperature Control of Sing Crystal $(Al_2O_3)$ Growing Furnace
(단결정$(Al_2O_3)$ 성장 노(爐)의 온도 조절용 GAS압력 제어기의 구현)
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- Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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- v.8 no.2
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- pp.207-211
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- 2007