마그네트론 2원 동시 방전법을 이용하여 polymer 기판위에 증착한 비정질 ITZO 박막의 Zn 함량 효과 (Effect of Zn Concentration on Amorphous ITZO Films Deposited on Polymer Substrate Using Magnetron Co-sputtering)
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- 한국표면공학회:학술대회논문집
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- 한국표면공학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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- pp.134-134
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- 2009