Structural and Optical Properties of ITZO Deposited by RF Magnetron Sputtering |
Kim, Dong Ryeol
(Department of Materials Science and Engineering, Pusan National University)
Bae, Ji Hwan (Department of Materials Science and Engineering, Pusan National University) Hwang, Dong Hyun (Department of Materials Science and Engineering, Silla University) Son, Young Guk (Department of Materials Science and Engineering, Pusan National University) |
1 | J. W. Seo, Y. H. Joung, S. J. Kang ; J. Kor Inst. Inf. Commun. Eng., 17 (2013) 1874. |
2 | Y. S. Kim, W. J. Hwang, K. T. Eun, S. H. Choa ; Appl. Surf. Scie., 257 (2011) 8134. DOI |
3 | S. H. Kwon, Y. M. Kang, Y. R. Cho, S. H. Kim, P. K. Song ; Surf. Coat. Technol., 205 (2010) 312. DOI |
4 | S. Tomai, H. Hayasaka, M. Sunagawa, E. Kawashima, S. Ishii, M. Nishimura, M. Kasami, K. Yano, D. Wang, M. Furuta ; Electrochem. Solid State Lett., 12 (2013) 107. |
5 | M. H. Kim, H. S. Lee ; Solid State Elec., 96 (2014) 14. DOI |
6 | S. Y. Lee, Y. R. Denny, K. I. Lee, N. S. Park, H. J. Kang ; New Physics: Sae Mulli, 6 (63) (2013) 675. |
7 | H. Koseoglu, F. Turkoglu, M. Kurt, M. D. Yaman, F. G. Akca, G. Aygun, L. Ozyuzer ; Vacuum 120 (2015) 8. DOI |
8 | S. S. Lee, N. R. Lee, K. I. Kim, T. W. Hong ; Clean Tech., 18 (2012) 69. DOI |
9 | S. H. Kim, D. I. Kim ; Cera. Int., 41 (2015) 2771. |
10 | H. C. Cheng, C. Y. Tsay ; J. Alloys and Comp., 507 (2010) L1. DOI |
11 | D. M. Lee, J. K. Kim, J. C. Hao, H. K. Kim, J. S. Yoon, J. M. Lee ; J. Alloys and Comp., 583 (2014) 535. DOI |
12 | B. Z. Zhang, Z. Y. Wu, Y. D. Tao ; Cera. Int., 40 (2014) 7842. |
13 | Z. S. Hosseini, A. Mortezaali, A. Lraji zad ; Sensors And Actuators A 212 (2014) 81. |
14 | Teresa Oh ; Kor. J. Mater. Res., 23 (2013) 582 |
15 | K. C. Lee, K. M. Jo, J. H. Lee, J. J. Kim, Y. W. Heo ; J. Kor. Inst. Surf. Eng., 47 (2014) 239. DOI |
16 | B. D. Cullity, Elements of X-ray Diffractions, (Addison-Wesley, Reading, 1978) p. 102. |
17 | D. H. Hwang, J. H. Ahn, Y. K. Son ; J. KIEEME 24 (2011) 764. |
18 | M. Nisha, S. Anusha, Aldrin Antony, R. Manoj, M. K. Jayataj ; Appli. Surf. Scie. 252 (2005) 1433. |