Effect of Zn Concentration on Amorphous ITZO Films Deposited on Polymer Substrate Using Magnetron Co-sputtering (마그네트론 2원 동시 방전법을 이용하여 polymer 기판위에 증착한 비정질 ITZO 박막의 Zn 함량 효과)
-
- Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
- /
- 2009.05a
- /
- pp.134-134
- /
- 2009