• 제목/요약/키워드: ICP27

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Properties of Inductively coupled Ar/CH4 plasma based on plasma diagnostics with fluid simulation

  • 차주홍;손의정;윤용수;한문기;김동현;이호준
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.210.2-210.2
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    • 2016
  • An inductively coupled plasma source was prepared for the deposition of a-C:H thin film. Properties of the inductively coupled plasma source are investigated by fluid simulation including Navier-Stokes equations and home-made tuned single Langmuir probe. Signal attenuation ratios of the Langmuir probe harmonic frequency were 13.56Mhz and 27.12Mhz. Dependencies of plasma parameters on process parameters were accord with simulation results. Ar/CH4 plasma simulation results shown that hydrocarbon radical densities have their lowest value at the vicinity of gas feeding line due to high flow velocity. For input power density of 0.07W/cm3, CH radical density qualitatively follows electron density distribution. On the other hand, central region of the chamber become deficient in CH3 radical due to high dissociation rate accompanied with high electron density. The result suggest that optimization of discharge power is important for controlling deposition film quality in high density plasma sources.

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산 에칭에 의한 BaO-B2O3-ZnO계 유리조성물의 용출 현상 (Dissolution Phenomenon in BaO-B2O3-ZnO Glass System by Acid Etching)

  • 김재명;홍경준;김남석;김형순
    • 한국세라믹학회지
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    • 제43권1호
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    • pp.33-37
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    • 2006
  • For producing the fine ribs structure of plasma display panel, the metal ions of barrier materials during the etching process should be understood on the etching mechanism with etching conditions. Etching was done on bulk glasses of the $BaO_B_2O_3-ZnO$ system with $HNO_3$ solution at $40^{\circ}C$. The surface structure of glasses and ion dissolution were analyzed by ICP (Inductive Coupled Plasma measurement). The structure and surface of the etched bulk glass were investigated by using scanning electron microscopy and nanoindenter. As a result, Ba (3-35 ppm/min) and Zn (2-27 ppm/min) ions as major components were leached in the solution and the leached layers were found to be phosphor-rich surface layers. A decrease of the bridge oxygen and relative increase of non bridge oxygen in the etched glass were found by X-ray photoelectron spectroscopy.

The Cell Viability on Kelp and Fir Biochar and the Effect on the Field Cultivation of Corn

  • Boakye, Patrick;Lee, Chul Woo;Lee, Won Mook;Woo, Seung Han
    • 청정기술
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    • 제22권1호
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    • pp.29-34
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    • 2016
  • Field cultivation of corn and microbial cell viability tests using Pseudomonas putida K-5 were performed to assess the toxic effect of kelp seaweed biochar (KBC) and fir wood biochar (FBC) produced by pyrolysis. After 63 days growth, FBC increased corn growth by 4.9% without fertilizer and by 7.6% with fertilizer, while KBC decreased it by 20.2% without fertilizer and by 27.9% with fertilizer. Physico-chemical characterization of the biochars such as ICP, CHON, and proximate analyses showed that KBC contained large amount of metals and ashes which could be responsible for its inhibition to corn growth. Upon exposure of K-5 cells for 1 h to biochar extracts, the cell viability in KBC extracts was 48.2% and quite lower than that (78.6%) in FBC. Washed KBC biochar with water at 1:10 w/v % increased the cell viability to 54.0%. The results indicated that seaweed biochar may be careful to be used for plant growing additives due to its high concentrations of metals and ashes. This toxic effect could be reduced by proper washing method with water.

The Dry Etching Properties of TaN Thin Film Using Inductively Coupled Plasma

  • Woo, Jong-Chang;Joo, Young-Hee;Kim, Chang-Il
    • Transactions on Electrical and Electronic Materials
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    • 제13권6호
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    • pp.287-291
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    • 2012
  • We investigated the etching characteristics of TaN thin films in an $O_2/BCl_3/Cl_2/Ar$ gas using a high density plasma (HDP) system. A maximum etch rate of the TaN thin films and the selectivity of TaN to $SiO_2$ were obtained as 172.7 nm/min and 6.27 in the $O_2/BCl_3/Cl_2/Ar$ (3:2:18:10 sccm) gas mixture, respectively. At the same time, the etch rate was measured as a function of the etching parameters, such as the RF power, DC-bias voltage, and process pressure. The chemical states on the surface of the etched TaN thin films were investigated using X-ray photoelectron spectroscopy. Auger electron spectroscopy was used for elemental analysis on the surface of the etched TaN thin films. These surface analyses confirm that the surface of the etched TaN thin film is formed with the nonvolatile by-product.

엔진 마운트 브라켓용 다이캐스팅 Al-Si-Cu 합금의 미세조직과 기계적 특성 (Microstructural and Mechanical Characteristics of Al-Si-Cu Die Casting Alloy for Engine Mount Bracket)

  • 천인범;홍승표;김정석
    • 열처리공학회지
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    • 제27권6호
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    • pp.281-287
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    • 2014
  • Microstructural and mechanical characteristics of Al-6Si-2Cu alloy for engine mount bracket prepared by gravity casting (as-cast) and die-casting (as-diecast) process have been investigated. For the microstructural characterization, the inductively coupled plasma mass spectrometry (ICP-MS), optical microscope (OM), scanning electron microscope (SEM) and electron probe microanalysis (EPMA) analyses are conducted. For the intermetallic phases, the X-ray diffraction (XRD) and energy dispersive spectroscopy (EDS) are also conducted with quantitative and qualitative analysis. Micro Vickers hardness and static tensile test are achieved in order to measure mechanical properties of alloys. Secondary dendrite arm spacing (SDAS) of as-cast and as-diecast show 37um and 18um, respectively. A large amount of coarsen eutectic Si, $Al_2Cu$ intermetallic phase and Fe-rich phases are identified in the Al-6Si-2Cu alloy. Mechanical properties of gravity casting alloy are much higher than those of die-casting alloy. Especially, yield strength and elongation of gravity casting alloy show 2 times higher than die-casting alloy. After shot peening, shot peening refined the surface grains and Si particles of the alloys by plastic deformation. The surface hardness value shows that shot peening alloy has higher value than unpeening alloy.

낙동강 강정고령보 상류 퇴적물 측정망 지점의 중금속 오염도 및 대표성 평가 (Evaluating Sediment Heavy Metal Pollution Level and Monitoring Network Representativeness at the Upstream Points of the Gangjeong-Goryeong Weir in the Nakdong River)

  • 안정민;임태효;김성민;이상수;김신;이권철;김용석;양득석
    • 한국환경과학회지
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    • 제27권7호
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    • pp.477-488
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    • 2018
  • In this study, heavy metal levels at the sediment monitoring network site upstream of the Gangjeong-Goryeong weir in the Nakdong River were surveyed from 2012 to 2016. We assessed the sediment pollution level using various pollution indexes based on ICP-MS analysis. The stream sediment pollution assessment standard, established through Regulation No. 687 of the National Institute of Environmental Research (2015), pollution load index (PLI), potential ecological risk index (RI), and mean PEL Quotient (mPELQ) were used to evaluate the sediment pollution level. We verified the representativeness of the monitoring point through the distribution of sedimentation and scour behavior by river bed surveying using anacousticDopplercurrentprofiler.

운봉지역 하상퇴적물과 압쇄상화강암류의 지구화학적 특성 비교연구 (Comparative Study on Geochemical Characteristics of Stream Sediments and Mylonitic Granites in the Unbong Area)

  • 박영석;박대우;김종균;김성원
    • 자원환경지질
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    • 제40권6호
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    • pp.727-738
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    • 2007
  • 운봉지역 하상퇴적물에 대한 지구화학적 특성규명을 통해, 주성분원소 및 미량원소에 대한 자연 배경치를 제시하고, 그 기반암(압쇄상화강암, Kim et al., 1992)과의 비교를 통해 지구화학적 재해에 대해 예견하고자 한다. 73개의 하상퇴적 물시료를 물이 흐르고 있는 1차 수계를 대상으로 채취하였고, XRD, XRF ICP-AES, NAA를 이용하여 주성분원소 및 미량성분원소를 분석하였다. 운봉지역의 주성분원소 함량은 $SiO_2\;36.94{\sim}65.39 wt.%,\;Al_2O_3\;10.15{\sim}21.77wt.%,\;Fe_2O_3\;3.17{\sim}10.90wt.%,\;CaO\;0.55{\sim}5.27wt.%,\;MgO\;0.52{\sim}4.94wt.%,\;K_2O\;1.38{\sim}4.54wt.%,\;Na_2O\;0.49{\sim}3.36wt.%,\;TiO_2\;0.39{\sim}1.27wt.%,\;MnO\;0.04{\sim}0.22wt.%,\;P_2O_5\;0.08{\sim}0.54wt.%$의 범위를 보이며, 미량성분 및 희토류원소 함량은, $Cu\;4.8{\sim}134ppm,\;Pb\;24.2{\sim}82.5ppm,\;Sr\;95.9{\sim}739ppm,\;V\;19.9{\sim}124ppm,\;Zr\;52.9{\sim}145ppm,\;Li\;25.2{\sim}3.3ppm,\;Co\;3.87{\sim}50.0ppm,\;Cr\;17.4{\sim}234ppm,\;Hf\;3.93{\sim}25.2ppm,\;Sc\;4.60{\sim}20.6ppm,\;Th\;3.82{\sim}36.9ppm,\;Ce\;45.7{\sim}243ppm,\;Eu\;0.89{\sim}2.69ppm,\;Yb\;1.42{\sim}5.18ppm$의 범위를 보인다. 주성분원소의 함량비교에서 CaO, $Na_2O,\;K_2O$ 함량은 하상퇴적물에서 기반암(압쇄상화강암류, Kim et al., 1992)인 압쇄상화강암류보다 높게 나타난다. 그리고 $Al_2O_3$$SiO_2$는 하상퇴적물과 기반암(압쇄상화강암류, Kim et al., 1992) 모두에서 높은 상관관계를 보인다. 하상퇴적물에서는 $SiO_2$ 함량이 높아질수록 희토류원소 함량도 같이 증가하는 특징을 보이나, 압쇄상화강암류에서는 $SiO_2$ 함량이 높아질수록 희토류원소 함량은 감소하는 특징을 보인다.

탑라이스 생산지역 논토양 중 중금속 함량과 쌀의 안전성 (Rice Safety and Heavy Metal Contents in the Soil on "Top-Rice" Cultivation Area)

  • 박상원;윤미연;김진경;박병준;김원일;신중두;권오경;정덕화
    • 한국식품위생안전성학회지
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    • 제23권3호
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    • pp.239-247
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    • 2008
  • 벼 재배 농업인들에게 기술지원을 하고, 소비자들에게 우리 쌀의 안전성을 널리 알리고자, '05-'07년 "탑라이스 생산단지" 및 인근 관행재배 지역에서 토양 및 쌀 시료를 채취하여 중금속을 분석한 결과 다음과 같았다. 탑라이스 생산단지 및 인근 관행재배 논토양 중 비소(As) 함량은 1.33 mg/kg으로 토양환경보전법상 우려기준(4 mg/kg)과 대책기준(10 mg/kg)의 1/5-1/11 이하로 매우 낮은 수준이었다. 백미 중 비소(As) 함량은 중국의 잔류허용기준 0.15 mg/kg의 1/4 이하로 매우 안전하였다. 논토양 중 카드뮴(Cd) 함량은 0.06 mg/kg으로 우려기준(1.5 mg/kg)과 대책기준(4 mg/kg)의 1/25-1/67 이하로 매우 낮은 수준이었다. 백미 중 카드뮴(Cd) 함량은 우리나라 잔류허용기준 0.2 mg/kg의 1/5 이하로 매우 안전하였다. 논토양 중 구리(Cu) 함량은 4.57 mg/kg으로 우려기준(50 mg/kg)과 대책기준(125 mg/kg)의 1/11-1/27 이하로 매우 낮은 수준이었다. 백미 중 구리(Cd) 함량은 우리나라 먹는물 기준 1 mg/kg의 1/4 이하로 매우 안전하였다. 논토양 중 납(Pb) 함량은 4.68 mg/kg으로 우려기준(100 mg/kg)과 대책기준(300 mg/kg)의 1/21-1/64 이하로 매우 낮은 수준이었다. 백미 중 납(Pb) 함량은 우리나라 잔류허용기준 0.2 mg/kg의 1/9 이하로 매우 안전하였다. 논토양 중 수은(Hg) 함량은 0.03 mg/kg으로 우려기준(4 mg/kg)과 대책기준(10 mg/kg)의 1/131-1/328 이하로 매우 낮은 수준이었다. 백미 중 수은(Hg) 함량은 평균 0.0022 mg/kg으로 나타났고, 중국 0.02 mg/kg 및 대만 0.05 mg/kg의 1/9-1/23 이하로 매우 적었다. 탑라이스의 중금속 함량과 2005년 국민건강영양조사 제3기 결과보고서의 일일 식품 섭취량 자료를 토대로 우리나라 국민의 중금속 섭취량을 PTWI와 비교하여 안전성을 평가한 결과, 탑라이스(백미) 섭취를 통한 우리나라 국민의 중금속의 주간 섭취량은 체중 kg당 $As\;0.892{\mu}g,\;Cd\;1.035{\mu}g,\;Cu\;6.712{\mu}g,\;Pb\;1.161{\mu}g$, 그리고 Hg 0.054 ${\mu}g$으로 이는 각각 중금속의 PTWI의 약 As 5.9%, Cd 14.79%, Cu 0.19%, Pb 4.65% 및 Hg 1.07%에 불과하였다. 한편, 현미를 통한 중금속 섭취량은 각 중금속들의 PTWI 대비 1% 이내로 안전하였다. 결론적으로 "탑라이스" 생산단지를 포함한 인근의 관행재배지역 토양은 중금속에 오염되지 않았으며, 여기에서 생산된 우리 쌀은 매우 안전하였다.

약초중의 일반성분 및 무기질 함량조사 (Survey for Approximate Composition and Mineral Content of Medicinal Herbs)

  • 황진봉;양미옥;신현경
    • 한국식품과학회지
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    • 제29권4호
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    • pp.671-679
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    • 1997
  • 국내에서 재배, 유통되고 있는 약초 일반성분 및 무기질 함량을 분석하였다. 건물기준으로 조회분은 오가피, 쇠비름, 사상자가 각각 22.4, 20.6, 15.0%로 다량 함유하고 있었고, 조단백은 산조인, 택사, 정력자, 결명자가 각각 39.9, 30.6, 28.8, 27.5%로 다량 함유하고 있었다. 조지방은 산조인, 창이자, 소자, 동과자 순으로 각각 27.9, 24.0, 22.8, 22.4%, 조섬유는 만형자, 영지, 송절, 접골목 순으로 각각 59.5, 53.9, 46.4, 41.2% 그리고 가용성 무질소물은 복령, 천마, 초용담, 지황이 각각 91.2, 87.9, 86.3, 86.0%로 다량 함유하고 있는 것으로 분석되었다. 인은 상기생, 동규자, 연자육이 각각 100 g당 1,485.9, 1,149.5, 985.0 mg로 다량 함유한 것으로 분석되었고, 마그네슘은 삼백초, 단삼, 칡이 각각 728.0, 582.0, 464.9 mg로 다량 함유하였다. 칼슘은 승마, 오가피, 건칠이 각각 8,506.6, 7,106.5, 3,010.2 mg로 측정되었으며, 칼륨은 송이, 어성초, 우슬이 각각 5,613.5, 5,353.5, 4,665.7 mg였다. 또한 나트륨의 경우 육종용, 두충, 매실이 각각 2,064.5, 595.3, 291.4 mg, 철은 대계근, 초용담, 속단이 각각 307.4, 233.0, 207.6 mg로 나타났다.

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2-Mercaptobenzothiazole이 내포된 p-Dichlorobenzene 미세결정으로 예비농축시킨 후 Cd(II) 정량 (Determination of Cd(II) after Preconcentration onto Microcrystalline p-Dichlorobenzene Loaded with 2-Mercaptobenzothiazole)

  • 윤주임;최희선
    • 대한화학회지
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    • 제53권1호
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    • pp.27-33
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    • 2009
  • 실제 시료에 들어있는 흔적량 Cd(II)를 2-mercaptobenzothiazole이 내포되어 있는 미세결정 p-dichlorobenzene에 예비농축시킨 후 정량하는 감도좋은 방법을 개발하였다. 시료 용액의 pH, 킬레이트제 2-mercaptobenzothiazole의 양, 흡착제 p-dichlorobenzene-2-MBT의 양 그리고 시료 용액의 흐름속도 등 여러 실험조 건을 최적화하였다. 여러 공존이온에 대한 방해효과를 조사하였는데 다른 이온들보다 Cu(II)가 비교적 심하게 방해를 하였다. 그러나 Cu(II)에 의한 방해는 시료용액의 tartrate 이온의 농도를 0.01 M이 되게 하든지 또는 0.20 g의 p-dichlorobenzene에 내포된 2-mercaptobenzothiazole의 양을 0.08 g에서 0.12 g이 되게 하면 충분히 없앨 수 있었다. 이 방법에 의해 얻어진 직선 감응범위, 상관계수($R^2$) 및 검출한계는 각각 0.5-30 ng $mL^{-1}$, 0.9962, 및 0.39 ng $mL^{-1}$로서, p-dichlorobenzene을 흡착제 매질로 이용하여 매우 좋은 결과를 얻었다. 이 방법을 실제 시료에 적용할 수 있을지를 확인하기 위해 수용액 시료(폐수, 시냇물, 그리고 저수지물)와 플라스틱 시료에 응용하였다. 회수율은 93-104% 정도였으며, ICP-MS를 이용하여 얻은 값과 이 방법으로 얻은 값은 F 시험법에 의하면 95% 신뢰수준에서 차이가 없는 것으로 나타났다. 실험 결과들로부터 이 방법은 여러 실제 시료에 들어있는 Cd(II)을 농축 정량하는데 응용할 수 있음을 알 수 있었다.