플라즈마 원자층 증착법을 이용한 하이브라드 기능성 Ru-TiN 허터 박막의 합성 특성 평가 (Syntheses and Properties of Hybrid Functional Ru-TiN heating resistor films prepared by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition)
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- 한국표면공학회:학술대회논문집
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- 한국표면공학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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- pp.182-183
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- 2009