본 논문에서는 플라즈마 응용을 위 한 고효율 및 고안정성을 가지는 RF 발생기용 1 kW급 전력증폭기를 설계 및 제작하였다. 전력증폭기는 푸쉬풀 MOSFET 1개와 고전류 구동 IC로 구성하였으며, E급 증폭기의 구조를 사용함으로써 효율을 개선하였다. 플라즈마 응용에 적합하도록 전력증폭기에 선택적 감쇠기를 사용하여 3가지 모드로 동작하게 함으로써 효율과 안정성을 선택적으로 고려할 수 있도록 하였다. 초기 방전 구간의 불안정성을 개선하기 위하여 RF 발생기의 출력 안정영역을 선택적 감쇠기를 사용하여 전압정재파비(VSWR)를 3.8:1 미만보다 개선된 4.5:1 미만으로 확장하였다. 또한 기존에 적용되는 증폭기에 비하여 크기를 30 % 줄였으며, 주파수 13.56 MHz, 출력 1 kW에서 효율 80 %를 얻으므로 기존에 비하여 효율을 약 13 % 개선하였다.
The Solid Oxide Fuel Cell (SOFC) is an electrochemical device to convert chemical energy of a fuel into electricity at temperatures from about 600 to $1000^{\circ}C$. The SOFC offers certain advantages over lower temperature fuel cells, notably its ability to use CO as a fuel rather than being poisoned by it, and high grade exhaust heat for combined heat and power, or combined cycle gas turbine applications. This paper reviews the operating principle, materials for different cell and stack components, cell designs, and applications of SOFCs. Among all designs of Solid Oxide Fuel Cells (SOFCs), the most progress has been achieved with the tubular design. However, the electrical resistance of tubular SOFCs is high, and specific power output $(W/cm^2)$ and volumetric power density $(W/cm^3)$ low. Planar SOFCs, in contrast, are capable of achieving very high power densities.
The application field of the pulse power is very wide. Recently, Pulse power technologies take a large place in several applications. Then, many civil and military applications proceed. Marx generator is widely used in high voltage applications. Marx generator is widely used in high voltage applications, such as eletromagnetic wave and power lasers. This paper, we described about the high voltage pulse generator. A compact size high voltage pulse generator with nanosecnd rise time has been fabricated and investigated experimentally. The marx generator has 2 stages. Each stage was constructed one charging capacitor, two electrodes and one charging resistor. A inductance structure is used in order to improve the switching performances fo the whole generator. The experiments of rise time in pure gas and mixtures of gases were described. We tested the Marx generator at different insulation gas. the results show that the dielectric strength of the $N_2-SF_6$ mixture was significantly increased compared with pure nitrogen gas. The experimental results show that the rise time characteristics of the Marx generator can be controlled through varying insulation gas.
This paper presents a new ZCS-PWM high frequency inverter. Zero current switching operation is achieved in the whole load range by using a simple auxiliary reverse blocking switch in parallel with series resonant capacitor. Dual duty cycle control scheme is used to provide a wide range of high frequency AC output power regulation that is important in many high frequency inverter applications. It found that a complete soft switching operation can be achieved even for low power setting ranges by introducing high-frequency dual duty cycle control scheme. The proposed high frequency inverter is more suitable for consumer induction heating(IH) applications. The operation and control principle of the proposed high frequency inverter are described and verified through simulated results.
This paper describes an 8-bit CMOS folding A/D converter for set-top box. Modular low-power, high-speed CMOS A/D converter for embedded systems aims at design techniques for low-power, high-speed A/D converter processed by the standard CMOS technology. The time-interleaved A/D converter or flash A/D converter are not suitable for the low-power applications. The two-step or multi-step flash A/D converters need a high-speed SHA, which represents a tough task in high-speed analog circuit design. On the other hand, the folding A/D converter is suitable for the low-power, high-speed applications(Embedded system). The simulation results illustrate a conversion rate of 40MSamples/s and a Power dissipation of 80mW(only analog block) at 2.5V supply voltage.
With high penetration of renewable energies, power electronic transformers (PETs) will be one of the most important infrastructures in the future power delivery and management system. In this study, an isolated bidirectional modular multilevel DC/DC converter is proposed for PET applications. A modular multilevel structure is adopted as switching valves to sustain medium voltages to achieve modular design and high reliability. Only one high-frequency transformer is used in the proposed converter, which significantly simplifies the circuit and galvanic insulation design. A dual-phase-shift modulation strategy is proposed to regulate the output power and achieve a simple voltage balancing control. A down-scaled (2 kW/20 kHz) prototype is constructed to demonstrate the proposed converter and verify the control strategy. The experimental results comply with the theoretical analysis well, with the highest power efficiency reaching 97.6%.
Cho, Guan-Sik;Wantae Lim;Inkyoo Baek;Seungryul Yoo;Park, Hojin;Lee, Jewon;Kuksan Cho;S. J. Pearton
한국재료학회:학술대회논문집
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한국재료학회 2003년도 춘계학술발표강연 및 논문개요집
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pp.88-88
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2003
Optical Emission Spectroscopy(OES) is a very important technology for real-time monitoring of plasma in a reactor during dry etching process. OES technology is non-invasive to the plasma process. It can be used to collect information on excitation and recombination between electrons and ions in the plasma. It also helps easily diagnose plasma intensity and monitor end-point during plasma etch processing. We studied high density planar inductively coupled BCl$_3$ and BCl$_3$/Ar plasma with an OES as a function of processing pressure, RIE chuck power, ICP source power and gas composition. The scan range of wavelength used was from 400 nm to 1000 nm. It was found that OES peak Intensity was a strong function of ICP source power and processing pressure, while it was almost independent on RIE chuck power in BCl$_3$-based planar ICP processes. It was also worthwhile to note that increase of processing pressure reduced negatively self-induced dc bias. The case was reverse for RIE chuck power. ICP power and gas composition hardly had influence on do bias. We will report OES results of high density planar inductively coupled BCl$_3$ and BCl$_3$/Ar Plasma in detail in this presentation.
The conventional phase-shifted full-bridge (PSFB) converter with an LC filter has been widely used for high-power applications of over 1.0 kW. However, the PSFB converter cannot obtain optimal power conversion efficiency during the battery charging in electric vehicle (EV) on-board battery charger applications because of its unique drawbacks, such as a large circulating current and very high voltage stress in the rectifier diodes. As a result, the converters with a capacitive filter, such as LLC resonant converters, replace the PSFB converter in the EV chargers. This study analyzes the problems of the PSFB converter for EV on-board charger applications in detail. Moreover, the newest converters based on the conventional PSFB converter are reviewed. On the basis of the reviews, new PSFB converter topologies are proposed for EV charger applications. The new topologies are formed by connecting the rectifier stage in the PSFB converter with the output of an LLC resonant converter in series. Many problems of the conventional PSFB converter for EV charger applications can be solved and the performance can be more improved because of this structure; this idea is confirmed by an experiment consisting of prototype battery chargers under the output voltage range of 250-450 Vdc at 3.3 kW.
Current source inverter drives of auto sequentially commutated type are very popular in high power applications, because of simple power circuit configuration with four quadrant operation. But the six-step current output create harmonic problems and the input power factor of such a drive is not always good. In this respect pulse width modulated drives using gate turn off thyristors ( GTO ) are finding application, especially in traction drives. However the switching and snubber loses of a GTO do not permit the inverter switching frequency go beyond a few hundred hertz.This will again introduce low frequency harmonic problems. Multi level inverters of the 3-level and 5-level can be considered as an alternative to overcome the low switching frequency harmonic problem of the 2-level GTO inverters. But with multi level inverters the complexity of the power circuit increases. In this paper a combination of multi level ( 2-level and 3-level ) inverters and multi phase induction motor ( 3-phase and 6-phase) configurations are presented for high power VSI drives for traction applications with reduced inverter switching frequency requirements coupled with reduced voltage rating for the power switch.
A Superconductor Flywheel Energy Storage System(SFES) mainly consists of a pair of non-contacting High Temperature Superconductor(HTS) bearings that provide very low frictional losses, a composite flywheel with high energy storage density. The HTS bearings, which offer dynamic stability without active control, are the key technology that distinguishes the SFES from other flywheel energy storage devices, and great effort is being put into developing this technology. The Superconductor Journal Bearing(SJB) mainly consists of HTS bulks and a stator, which holds the HTS bulks and also acts as a cold head. Static properties of HTS bearings provide data to solve problems which may occur easily in a running system. Since stiffness to counter vibration is the main parameter in designing an HTS bearing system, we investigate SJB magnetic force through static properties between the Permanent Magnet(PM) and HTS. We measure stiffness in static condition and the results are used to determine the optimal number of HTS bulks for a 100kWh SFES.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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