Chemical mechanical planarization (CMP) has emerged as the planarization technique of choice in both front-end and back-end integrated circuit manufacturing. Conventional CMP process utilize a polyurethane polishing pad and liquid chemical slurry containing abrasive particles. There hale been serious problems in CMP in terms of repeatability and deflects in patterned wafers. Especial1y, dishing and erosion defects increase the resistance because they decrease the interconnection section area, and ultimately reduce the lifetime of the semiconductor. Methods to reduce dishing & erosion have recently been interface hardness of the pad, optimization of the pattern structure as dummy patterns. Dishing & erosion are initially generated an uneven pressure distribution in the materials. These defects are accelerated by free abrasives and chemical etching. Therefore, it is known that dishing & erosion can be reduced by minimizing the abrasive concentration. Minimizing the abrasive concentration by using CeO$_2$is the best solution for reducing dishing & erosion and for removal rate. This paper introduce dishing & erosion generating mechanism and a method fur developing a semi-rigid abrasive pad to minimize dishing & erosion during CMP.
The Purpose of this study was to propose the most effective packaging method and storage conditions to apply to home-delivered meals for the elderly Changes in the physical and sensory qualities of pan fried oak mushroom and meat, soy sauce glazed hair tail and roasted dodok, in wrap packaging, top sealing and vacuum packaging were evaluated during storage at 25, 4 and -18$^{\circ}C$, for 5 days. The speed of falling-off in the foods qualities, under chilled and frozen storage conditions did not differ much as the 5 day storage period was too short for a proper assessment. The sensory characteristics of taste and texture were better evaluated in the chilled than in the frozen storage. The most effective packaging method at all the storage temperatures was the vacuum packaging, which assured the safety of the foods by the removal of oxygen. The lightness, springiness and hardness were significantly influenced by the storage temperature, period and packaging method, while the sensory characters were affected by storage temperature and the period. In conclusion, the quality of the vacuum packed pan fried oak mushroom and meat and soy sauce glazed hair tail, in frozen storage, were still fresh after the five days of the experiment. The shelf-life of those foods with wrap packaging, in chilled storage, were suggested to be three days. The quality of the roasted dodok, with vacuum packaging in chilled storage, was preserved for five days.
Very low methoxyl pectin (VLMP) has different physical and rheological properties compared to high and low methoxyl pectins (HMP and LMP). In this study, we produced LMP and VLMP by alkaline de-esterification, and investigated the structural and textural properties. Apple peel pectin was kept at pH 12 using 5.0 M NaOH solution for 3 and 24 h to produce LMP and VLMP, respectively. The molecular weight was decreased due to the removal of an esterified group in the pectin backbones by the alkali treatment, and the VLMP showed a higher calcium ion sensitivity which leads to the production of the gel with increased hardness. The result clearly showed that VLMP has the potential to improve the texture and stability in food products depending on their degree of esterification, and this result can be applied as a functional ingredient in food industrial area application to enhance the current commercial pectins.
쓰레기 매립장 침출수를 모래, 연탄제, fly ash 및 활성탄을 각각 충전시킨 column에 8주간 매주 통과시켜 오염물질 제거율을 조사한 결과 COD는 활성탄 column에서 8주동안 평균 83%이상 제거되었으며, 연탄재와 fly ash column에서는 시간이 경과함에 따라 제거되는 비율이 낮아지는 경향이었으나 8주 평균 각각 45% 및 43% 제거되었고, 모래 column에서는 거의 제거되지 않았다. $NH_4\;^+$-N는 모든 column에서 8주 평균 60%이상 제거되었으며, Hardness는 활성탄과 fly ash column에서는 8주간 지속적으로 제거된 반면 연탄재 및 모래 column에서는 불규칙적이었고 특히 8주째에는 거의 제거되지 않았다. $PO_4\;^{3-}$는 1주 이후부터 모든 column에서 불규칙적으로 제거되었으며, 특히 fly ash column에서는 4, 5주째 폐기물 침출수 원액에 비해 $PO_4\;^{3-}$가 4배 높게 나타났으며, $CI^-$ 및 $SO_4\;^{2-}$등의 음이온은 1주 이후부터 모든 column에서 제거되지 않았으며, 이는 충전 물질과 침출수의 pH가 높았기 때문인 것으로 사료되었다. 각 column내 각 오염물질 흡착량을 토대로 각 흡착성분간 상관관계를 검토한 결과 활성탄, fly ash 및 연탄재 column에서는 양이온간에 서로 유의적인 정의 상관이 있었으며 모래 column에서는 유의적인 상관이 없었고, 활성탄과 fly ash column에서는 음이온간에 유의적인 상관이 있었다. 그리고 모든 column에서 양이온과 음이온간에는 대부분 유의적인 상관이 없었다.
시멘트(KS-1 보통 포틀랜드와, Class G)을 이용하여, 시멘트-초임계CO2 반응실험과 반응 전/후 시료의 절대투수율 및 강도를 측정하였다. 시멘트 시료는 W/S (Water/Solid)와 fly ash 첨가량을 조절하여 제작하였다. 반응 전 시료의 투수율은 0.009~0.025 mD, 초임계CO2와 100일간 반응 한 시료의 투수율은 0.11~0.29 mD의 범위로 각각 측정되었다. 반응 후 시료의 투수율이 높게 측정된 이유는, 반응 시료들이 겪은 응력해방으로 인해 균열이 발생하였기 때문이다. 그러나 측정된 투수율은 대부분의 시료에서 API가 추천하는 최대허용 투수율(=0.2 mD)보다 낮다. 초임CO2에 의한 시멘트 변질은 시료 전체가 아닌 시료의 가장자리에서 일정 두께로 시료의 내부로 발생하였다. 반응영역의 비커스 경도 값이 비반응영역의 것보다 훨씬 높게 측정되었다. 또한 대부분의 시료에서 반응영역 내에서 경도값이 증가한 후 감소하는 현상이 관찰 되었다. 경도값의 증가는 탄산화로 인한 밀도증가, 공극률 감소, 그리고 경도값 감소는 낮은 강도를 갖는 비정질 규산염수화물의 생성이 원인이다.
본 연구에서는 치경부의 심미수복에 이용되고 있는 7종의 재료를 시험재료로 선택한 다음 잇솔질이 이들 수복재료의 마모도에 미치는 영향을 평가하기 위해 전동식 마모시험기를 이용하여 잇솔질 하중 2.0N으로 100,000회의 잇솔질을 시행한 다음 각 시편의 평균 두께 감소와 표면조도를 측정하였고, 표면경도가 연마성 마모에 미치는 영향을 평가하기 위해 누프 경도를 측정한 결과, 다음과 같은 결론을 얻었다. 1. 누프 경도값은 F2000 군에서 79.7로 가장 높고 Heliomolar 군에서 20.0으로 가장 낮은 값을 보였으며, Tukey 다중범위검증법에 의해서 각 군 사이의 통계적 유의성을 검증한 결과 Compoglass 군과 Dyract AP 군을 제외 한 모든 군들 사이에서 상호간에 유의 한 차이를 보였다(p<0.05). 2. 표면조도는 Improved Fuji II LC 군에서 가장 높고 UniFil F군에서 가장 낮게 나타났으며, Tukey 다중범위검증법에 의해서 각 군사이의 통계적 유의성을 검증한 결과, Improved Fuji II LC군, F2000 군과 UniFil F군 사이에서만 상호간에 유의한 차이를 보였다(p<0.05). 3. 표면조도와 마모도는 치약으로 유치용의 겔 형 페이스트인 Tom & Jerry를 사용한 경우보다 성인용의 페이스트인 Perio $A^+$를 사용한 경우에 높게 나타났다(p<0.05). 4. 연마면에서는 기질레진의 선택적인 마모에 의한 필러의 돌출로 인해 표면조도가 증가된 양상이 관찰되었다.
참외를 껍질째 먹기 위하여 착과 5일후부터 과실에 배, 사과, 포도봉지를 씌워 재배한 결과, 봉지내의 온도는 외기온에 비하여 주간에는 낮고 야간에는 높았으며 습도는 주간에는 높고 야간에는 낮았다. 무처리구에 비하여 봉지재배로 과장은 짧고 과폭은 좁고 과육두께는 얇고 과중은 가벼운 경향이었으나 처리간 차이는 없었다. 과육 및 태좌부의 당도는 봉지재배 처리구에서 낮은 경향이었으나 처리간 차이는 없었다. 그러나 과실의 당도는 봉지제거 직후 보다는 봉지제거 5일후 조사에서 높아지는 것을 알 수 있었다. 봉지재배로 과피의 경도 및 색도가 낮았다. 이와 같이 봉지재배로 과피의 경도가 낮아 껍질째 먹기는 쉬워졌으나 과피의 색도 및 당도가 낮아 금후 보완이 필요한 것으로 생각된다.
저장한 방법 및 기간이 탈삽감의 저장 후 shelf-life 동안의 품질변화에 미치는 영향을 검토하기 위하여, 떨은감인 '청도반시'를 $25^{\circ}C$에서 70% $CO_2$+5% $O_2$의 기체조성비로 39시간 동안 탈삽처리하고 $0^{\circ}C$의 CA(5% $CO_2$+3% $O_2$, 8% $CO_2$+3% $O_2$), MAP(0.06 mm LDPE, 5.2% $CO_2$+6.8% $O_2$) 및 air 방법으로 15, 45, 75, 105일 동안 각각 저장한 다음 1$0^{\circ}C$에서 보관하면서 품질변화를 조사하였다. 과육경도는 전반적으로 감소하는 경향을 나타내었으며 $0^{\circ}C$에서 저장한 기간이 45일 이상부터 저장방법 별 차이를 보여 CA(8% $CO_2$+3% $O_2$) 저장한 과실에서 감소가 가장 억제되었다. 가용성 고형물 함량은 $0^{\circ}C$에서의 저장 일수가 75일이 경과하면서부터 감소하는 경향을 나타내었고 CA와 MAP 저장보다 air 저장한 과실에서 약간 많은 감소를 보였다. 적정산도는 $0^{\circ}C$에서 저장한 기간이 75일 이하까지는 감소하는 경향이었으나 저장한 방법의 영향은 보이지 않았다. 관능적 품질특성중 color, hardness 및 overall acceptability는 CA저장한 과실이 다른 방법으로 저장한 과실보다 우수하게 유지되었으나 order, juiciness 및 sweetness는 저장한 방법별 뚜렷한 차이를 보이지 않았다 이상의 결과로 이산화탄소 탈삽감의 저장조건인 방법 및 기간은 저장 후 shelf-life 동안에도 과실의 품질변화에 지속적인 영향을 미치는 것으로 확인되었다.
큰느타리버섯의 품종다양화와 국내 육성품종의 보급확대를 위해 2012년도에 육성한 신품종 "곤지 8호"의 특성을 조사한 결과, 균사생장적온은 $23{\sim}26^{\circ}C$, 버섯발생 및 생육적온은 $15{\pm}1^{\circ}C$였으며, 재배일수는 49 일로 대조품종보다 1일 짧았다. 병당 자실체 발생 개체수는 15.4개로 대조품종 보다 4.7개 많았고, 대 길이 120.3 mm로 대조품종보다 길었다. 자실체 물리성은 씹음성, 깨짐성, 경도 모두 대조품종보다 높았고, 특히 경도는 대조품종 대비 약 2배 높았다. 병당 수량은 132.5 g(900 cc/$65{\Phi}$), 170.8 g(1100cc/$65{\Phi}$)로 대조품종과 대등하였다.
Non-ferrous metals, widely used in the mechanical industry, are difficult to machine, particularly by drilling and tapping. Since non-ferrous metals have a strong tendency to adhere to the cutting tool, the tool life is greatly deteriorated. Diamond-like carbon (DLC) is one of the promising candidates to improve the performance and life of cutting tool due to their low frictional property. In this study, a sacrificial DLC layer is applied on the hard nitride coated drill tool to improve the durability. The DLC coatings are fabricated by controlling the acceleration voltage of the linear ion source in the range of 0.6~1.8 kV. As a result, the optimized hardness(20 GPa) and wear resistance(1.4 x 10-8 ㎣/N·m) were obtained at the 1.4 kV. Then, the optimized DLC coating is applied as an sacrificial layer on the hard nitride coating to evaluate the performance and life of cutting tool. The Vickers hardness of the composite coatings were similar to those of the nitride coatings (AlCrN, AlTiSiN), but the friction coefficients were significantly reduced to 0.13 compared to 0.63 of nitride coatings. The drilling test were performed on S55C plate using a drilling machine at rotation speed of 2,500 rpm and penetration rate of 0.25 m/rev. The result showed that the wear width of the composite coated drills were 200 % lower than those of the AlCrN, AlTiSiN coated drills. In addition, the cutting forces of the composite coated drills were 13 and 15 % lower than that of AlCrN, AlTiSiN coated drills, respectively, as it reduced the aluminum clogging. Finally, the application of the DLC sacrificial layer prevents initial chipping through its low friction property and improves drilling quality with efficient chip removal.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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