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비정질 규소막의 공정조건이 HSG-Si 형성에 미치는 영향 (Influence of the process conditions for the amorphous silicon on the HSG-Si formation)

  • 정재영;강성준;정양희
    • 한국전자통신학회논문지
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    • 제10권11호
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    • pp.1251-1256
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    • 2015
  • 본 논문은 비정질 규소막 성장의 공정 조건이 저장 전극의 표면에 HSG-Si를 형성할 때 미치는 영향을 조사하였다. 그 결과 비정질 규소막의 인 농도가 $5.5{\pm}0.1E19atoms/cm^3$ 이상이면 HSG-Si가 제대로 형성되지 않는 인 농도 의존성을 나타내었다. 또한 HSG 두께가 $500{\AA}$ 이상에서는 전극과 전극을 단락시키는 비트 불량을 유발하기 때문에 비정질 규소막의 인농도는 $4.5E19atoms/cm^3$, HSG 임계 두께는 $450{\AA}$이 최적 조건임을 확인하였다.

Seeding Method를 이용한 인이 도우핑된 Amorphous-Si에서의 HSG형성 조건 (Hemispherical Grained Silicon formation Condition on In-Situ Phosphorous Doped Amorphous-Si Using The Seeding Method)

  • 정양희;강성준
    • 한국정보통신학회논문지
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    • 제5권6호
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    • pp.1128-1135
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    • 2001
  • 본 논문에서는 HSG형성을 위한 Si$_2$H$_{6}$의 조사와 어닐링을 통한 seeding method를 64Mbit DRAM에 적용하였다. 이 기술을 사용함으로서 인이 도우핑된 Amorphous 실리콘의 전극에 HSG grain 크기를 조절할 수 있었고, 이 새로운 HSG형성조건은 기존의 stack 캐패시터보다 약 2배의 정전용량을 확보할 수 있었다. 이와같은 방법을 이용한 HSG형성에서 인농도, 저장폴리 증착온도 및 HSG의 두께에 대한 공정 최적 조건으로는 각각 3.0-4.OE19atoms/㎤ , 53$0^{\circ}C$ 및 400$\AA$이었다. 이들 최적화된 공정조건으로 64M bit DRAM 캐패시터에 적용시 질화막의 두께 한계는 65$\AA$으로 확인되었다.

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반구형 다결정 실리콘 박막의 결정학적 성장방위 (Crystallopraphic Growth Orientation of Polycrystalline HSG Silicon Film)

  • 신동원;박찬로;박찬경;김종철
    • 한국재료학회지
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    • 제4권7호
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    • pp.750-758
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    • 1994
  • 본 연구에서는 반구형(HSG) 다결성 실리콘 박막을 제조하여 박막에 존재하는 결정립들의 특성과 각 결정립들의 형성기구를 예측하고자 하였다. LPCVD법으로 실리콘 박막을 증착하여 미세구조를 관찰, 분석한 결과 $575^{\circ}C$ 증착온도에서 HSG 다결정 실리콘 박막이 형성되었음을 관찰하였다. 이 HSG 박막은 비정질 및 결정질 상으로 구성되어 있었으며 결정립은 박막의 표면에 존재하는 upper grain들과 $SiO_{2}$와의계면에 존재하는 lower grain들로 구분되었다. Upper grain은 실리콘 원자의 표면확산에 의하여 형성되었으며, lower grain은 고상성장에 의하여 형성되었다. 성장한 결정립들의 성장방위를 분석한 결과 주로 upper grain은 <110>, lower grain은 <311>과 <111>방위를 나타내었다. 이러한 방위관계는 각 결정립들의 형성기구(formation mechanism)의 차이에 기인한다고 사료된다. 또한 HSG박막의 미세구조와 진공열처리한 시편을 관찰한 결과 HSG 박막의 형성은 실리콘 원자의 표면확산에 의해 지배됨을 알았다.

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불임 검사시 자궁난관 조영술의 진단 정확도 (The Accuracy of Hysterosalpingography for Evaluating Female Infertility)

  • 박준철;김종인;이정호
    • Clinical and Experimental Reproductive Medicine
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    • 제32권3호
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    • pp.223-230
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    • 2005
  • Objective: This study was performed to evaluate the accuracy of hysterosalpingography (HSG) for evaluating female infertility patients by comparison with hysteroscopic and laparoscopic examination. Methods and Material: Total 219 infertile patients were retrospectively analyzed between January 1, 2002 and December 31, 2003. Ninety seven patients (44.3%) were primary infertility, 122 patients (55.7%) were secondary infertility. We performed hysteroscopic and laparoscopic examination on next cycle when HSG revealed any abnormal finding, and 3~6 cycles later if HSG was normal. Results: The accuracy of HSG was 65.2% compared with hysteroscopic examination (sensitivity 88.4%, specificity 46.4%, false positive rate 53.6%, false negative rate 11.6%). The most common abnormal finding of hysteroscopy was uterine synechia (67.4%) followed by endometrial polyp, uterine anomaly (e.g. uterine septum), endometrial hyperplasia. Compared with laparoscopic examination, the accuracy of HSG was 76.9% (sensitivity 98.9%, specificity 70.6%, +LR 3.36, -LR 0.02). The positive predictive value of normal patent tube was excellent (99.6%) but that of proximal tubal blockage was only 46.7%. The unilateral tubal obstruction of HSG was poor accuracy (+LR 3.85 -LR 0.68) and 70% of those was patent by laparoscopic examination. Laparoscopic examination also revealed that 53% of patients had peritubal adhesion and 37% of patients has additional pelvic findings, especially endometriosis. Among the patients had normal HSG, 53.5% patients with normal ultrasonography was diagnosed endometriosis (25.6% of them had endometriosis stage I-II). Conclusion: Normal HSG shows a high negative predictive value. Nevertheless, the incidence of associated pelvic disease in the normal HSG group is high enough to warrant diagnostic laparoscopy if nonsurgical treatment is unsuccessful. Because HSG has poor accuracy in predicting distal tubal blockage and peritubal adhesion, and poor positive predictive value of proximal tubal blockage, laparoscopic examination could be considered in abnormal HSG group.

Hemispherical Grain Silicon에 의한 정전용량 확보 및 공정조건 특성에 관한 연구 (A Study on Capacitance Enhancement by Hemispherical Grain Silicon and Process Condition Properties)

  • 정양희;정재영;이승희;강성준;이보희;유일현;최남섭
    • 한국정보통신학회논문지
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    • 제4권4호
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    • pp.809-815
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    • 2000
  • The box capacitor structure with HSG-Si described here reliably achieves a cell capacitance of 28fF with a cell area of a $0.4820\mum^2$ for 128Mbit DRAM. An HSG-Si formation technology with seeding method, which employs Si2H6 molecule irradiation and annealing, was applied for realizing 64Mbit and larger DRAMS. By using this technique, grain size controlled HSG-Si can be fabricated on in-situ phosphorous doped amorphous silicon electrodes. The HSG-Si fabrication technology achieves twice the storage capacitance with high reliability for the stacked capacitors.The box capacitor structure with HSG-Si described here reliably achieves a cell capacitance of 28fF with a cell area of a $0.4820\mum^2$ for 128Mbit DRAM. An HSG-Si formation technology with seeding method, which employs Si2H6 molecule irradiation and annealing, was applied for realizing 64Mbit and larger DRAMS. By using this technique, grain size controlled HSG-Si can be fabricated on in-situ phosphorous doped amorphous silicon electrodes. The HSG-Si fabrication technology achieves twice the storage capacitance with high reliability for the stacked capacitors.

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주부들의 심리적 자작 증세와 혈청칼슘 및 마그네슘 농도와의 관련성 (The Relationship of Serum Calcium and Magnesium Levels to Depression and Anxiety Symptoms in Homemarkers)

  • 박귀선
    • Journal of Nutrition and Health
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    • 제31권1호
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    • pp.102-107
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    • 1998
  • This study was conducted to investigate the relationship of serum calcium and magnesium levels to depression and anxiety symptoms in 80 homemarker. Fasting blood samples were collected and serum calcium and magnesium concentrations were measured. At the same time, psychological conditions of subjects were estimated by questionnaire. As the result of psychological test, eighty homemarkers were divided into two groups according to psychologicaltest scores. The subjects in one group got high pssycholgoical test scores as high score group (HSG) and the others got low physchological test scores as low score group(LSG). Serum calcium and magnesium concentrations were significantly(p<0.05) lower in HSG than in HSG than in LSG. Many a subject who belonged to HSG appeared to have depression and anxiety symptoms. Drepression and anxiety scores of the subjects with calcium supplementation were significantly (p<0.05) lower than those without calcium supplementation . After calcium supplementation, depressiion and anxiety scores were significantly (p<0.05) decreased in HSG and serum calcium and magnesium concentrations in HSG were significantly increased to normal ranges . This results suggested that psychological conditions of homemarkers might be affected by serum calcium and magnesium levels.

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SCS-CN 산정을 위한 수치세부정밀토양도 활용과 괴산군 소수면 소유역의 물 유출량 평가 (Estimation of SCS Runoff Curve Number and Hydrograph by Using Highly Detailed Soil Map(1:5,000) in a Small Watershed, Sosu-myeon, Goesan-gun)

  • 홍석영;정강호;최철웅;장민원;김이현;손연규;하상건
    • 한국토양비료학회지
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    • 제43권3호
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    • pp.363-373
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    • 2010
  • 수문 수자원 분야에서의 활용도를 제고하기 위하여 HSG 1995와 HSG 2006 두가지 분류법에 의한 우리나라 수문학적 토양유형의 분포에 대한 정보를 제공하고 이를 각각 충북 괴산군 소수면의 소유역의 수치세부정밀토양도 (1:5,000)에 적용하여 SCS-CN법을 이용한 유효 우량 산정과 유출곡선을 작성한 결과는 다음과 같다. 산악지에서 주로 침투능이 크고 하성 또는 해안평탄지로 가면서 낮아지는 경향을 보였다. HSG 1995 토양 유형 중 A군은 전체의 42.2%로 가장 넓게 분포하는 것으로 나타났고, B군 29.4%, C군 18.5%, D군 9.9% 순으로 나타났다. HSG 2006 토양유형은 A군 35.1%, B군 15.7%, C군 5.5%, D군 43.7%로 D군이 가장 넓게 분포하는 특징을 가진다. HSG 1995에서 A, B, C군으로 분류되었다가 HSG 2006에서 D군으로 분류된 토양 유형의 비율이 약 34.1%로 나타나 국립농업과학원에 의해 분류된 토양유형 중 D군의 면적이 크게 늘어난 것을 알 수 있었다. 충북 괴산군 소수면 소유역의 수치세부정밀토양도에 기반한 수문학적 토양유형 분포특성을 나타낸 것으로 산림과 밭으로 이용되는 토양의 유형이 A로 분류되는 것은 일치하는 경향을 보였다. HSG 2006의 토양유형은 유역에서 C 유형이 거의 없거나 적게 분포하고 HSG 1995에 비해 D 유형이 많게 나타난다. 미계측 유역에 대한 직접유출량 산정에 가장 많이 사용되는 SCS-CN법을 이용하여, 충북 괴산군 소수면 소유역에서 직접유출에 기여하는 유효우량을 산정하고 SCS 삼각단위도를 사용하여 첨두유량과 첨두시간을 계산한 결과는 다음과 같다. HSG 1995와 HSG 2006 수문학적 토양유형과 토지 이용별 CN값을 적용하여 유역의 CN값 (AMC II)을 구한 결과는 각각 54와 62로 나타났다. 이 때, 우량계가 설치된 지점의 강우자료를 평균하여 2004년~2005년 강우사상별로 정리하여 초기손실량 (I)이 총강우량 (P)보다 큰 경우를 제외한 강우사상을 선택하였고, 8월 16일에서 강우사상 전까지 내린 강수에 따라 선행수분조건 III으로 조정하여 유효우량 산출을 위한 CN값을 각각 73과 79로 하여 사용하였다. 강우사상에 대한 HSG 2006 기준의 유효우량이 56.67 mm로 HSG 1995 기준의 44.87 mm 보다 약 25% 많게 나타났다. 두 가지 수문학적 토양 유형 분류 기준에 따라 계산된 각 유효 우량에 대하여 수문곡선을 합성하여 실제 관측치와 비교한 결과 두 개 기준 모두 관측치와 유사한 변화 패턴을 보이고 있으나 실측치보다 감수부에서 급격하게 감소되는 특징을 나타냈다. 첨두유량은 HSG 1995 보다는 HSG 2006 기준을 사용할 때 관측치와 더 가까운 값을 나타내었다.

A Proposal of Hazard/Risk Assessment Criteria and an Asbestos Management Method for Asbestos-containing Building Materials

  • Park, Wha-Me;Kim, Yoon-Shin
    • 한국환경보건학회지
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    • 제38권1호
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    • pp.66-72
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    • 2012
  • Objectives: The AHERA method by the US EPA, ASTM E2356-04, and HSG264 by the UK HSE, all of which are hazard/risk assessment methods for asbestos-containing building materials, were reviewed and compared based on 231 homogeneous areas. In addition, the current Act on Asbestos Safety Management (enforcement: April 29, 2012) was reviewed and analyzed. This trial provided fundamental data for improving the current asbestos hazard/risk assessment method. Methods: For the hazard/risk assessment of 77 asbestos-containing public buildings including schools, 231 homogeneous areas were selected, each of which was assessed using AHERA, ASTM E2356-04, and HSG264. Results: The matching rate of the hazard/risk assessment stood at 20.4 percent between AHERA and ASTM, at 71.4 percent between AHERA and HSG264 and at 17.8 percent between ASTM and HSG264. The AHERA method includes a seven-category rating scale. There were three categories, two of which have three subcategories. ASTM provides two decision-making charts consisting of ten rating scales for current condition estimation and for potential for disturbance estimation. In addition, the HSG264 method has a total of 20 scores with four items, and then provides four grades. This HSG264 method cannot clearly separate current condition and potential for disturbance. Conclusions: In the Korean Act on Asbestos Safety Management, the hazard/risk assessment method for asbestos-containing building materials should consider balance between current condition estimation and the potential for disturbance estimation.

Analysis of the Predictive Validity of College Entrance Criteria

  • Bae, Hyun-Wung
    • Journal of the Korean Data and Information Science Society
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    • 제18권4호
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    • pp.973-983
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    • 2007
  • Korea Military Academy has been using College Scholastic Ability Test(CSAT) and High School Grades(HSG) with other measures such as an Essay-type Test(ET), Physical Test(PT) and Personal Interview(PI) as criteria for entrance. The purpose of study is to investigate the properness of the criteria in admission decisions by examining the relationship between the college GPA and criteria, and the prediction of academic performance. The study showed that CSAT and HSG are significantly correlated with the college GPA, and these two criteria are better predictors for academic performance. Regression analysis also provided an important message that HSG is a better predictor than CSAT.

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시선집중, 선진안전사업장 - 열정과 참여의 자율안전관리 적극 전개, HSG 중공업(주)

  • 정태영
    • 안전기술
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    • 제182호
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    • pp.19-21
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    • 2013
  • 우리나라 경제발전 역사에서 제철, 조선, 기계제조업 등의 중공업은 따로 떼어 놓고 생각할 수 없을 정도로 막대한 영향을 미쳤다. 중공업이 발전하면서 다른 여타 산업의 기반이 조성된 것은 물론이고, 중공업 제품들이 수출의 일등 공신 역할을 하면서 경제성장에 크게 이바지한 것이다. 이처럼 남다른 위치에 있는 중공업 기업 가운데 특히 눈에 띄는 회사가 있다. 바로 46회에 이어 47회 무역의 날에서 '2천만 불 수출탑'을 달성한 HSG 중공업(주)이 그곳이다. 지난 1989년 금광기업사로 출범한 이곳은 LNG 운반선의 펌프타워를 비롯한 대형 조선기자재와 해양플랜트, 하역운반설비 등을 전문적으로 제작하는 기업이다. 그 명성에 걸맞게 HSG 중공업(주)에서는 자재 구매에서부터 설계, 제작까지 모든 공정이 이뤄지고 있다. 단순하게 제품만을 생산하고 있다고 판단하면 큰 오산이다. 이곳은 삼성중공업, 현대중공업, 대우조선해양 등 국내 유수의 기업은 물론 샌드빅, 지멘스 등 외국기업으로부터 많은 물량을 수주받고 있을 정도로 기술력과 품질 모두를 인정받고 있다. 그렇다면 무엇이 이처럼 회사를 성장 발전시켜나갔을까. 이곳 관계자들은 이 같은 물음의 답으로 하나같이 '안전'을 꼽고 있다. 근로자들의 안전을 위해 매진한 것이 곧 고품질의 제품을 생산해 낼 수 있는 밑거름이 됐다는 것이다. 무재해 일터를 구축하기 위해 빈틈없는 안전관리를 전개해 나가고 있는 HSG 중공업(주)을 찾아가봤다.

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