When ICP(Inductive Coupled Plasma type etching and wafer manufacturing is being processed in semiconductor process, a noxious gas in PFC and CFC system is generated. Gas cleaning dry scrubber is to remove this noxious gas. This paper describes a power source device, 2MHz switching frequency class 2kW RF Generator, used as a main power source of the gas cleaning dry scrubber. The power stage of DC/DC converter is consist of full bridge type converter with 100kHz switching frequency Power amplifier is push pull type inverter with 2MHz switching frequency, and transmission line transformer. The adequacy of the circuit type and the reliability of generating plasma in various load conditions are verified through 50$\Omega$ dummy load and chamber experiments result.
Matsushige T.;Ishitobi M.;Nakaoka M.;Bessyo D.;Yamashita H.;Omori H.;Terai H.
전력전자학회:학술대회논문집
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전력전자학회 2001년도 Proceedings ICPE 01 2001 International Conference on Power Electronics
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pp.484-488
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2001
The grid voltage of commercial utility power source hi Japan and USA is 100rms, but in China and European countries, it is 200rms. In recent years, In Japan 200Vrms out putted single phase three wire system begins to be used for high power applications. In 100Vrms utility AC power applications and systems, an active voltage clamped quasi-resonant Inverter circuit topology using IGBTs has been effectively used so far for the consumer microwave oven. In this paper, presented is a half bridge type voltage-clamped high-frequency Inverter type AC-DC converter using which is designed for consumer magnetron drive used as the consumer microwave oven in 200V utility AC power system. This zero voltage soft switching Inverter can use the same power rated switching semiconductor devices and three-winding high frequency transformer as those of the active voltage clamped quasi-resonant Inverter using the IGBTs that has already been used for 100V utility AC power source. The operating performances of the voltage source single ended push pull type Inverter are evaluated and discussed for consumer microwave oven. The harmonic line current components In the utility AC power side of the AC-DC power converter operating at ZVSPWM strategy reduced and improved on the basis of sine wave like pulse frequency modulation and sine wave like pulse width modulation for the utility AC voltage source.
In this paper a modular high performance MV-to-LV rectifier based on a cascaded H-bridge rectifier is presented. The proposed rectifier can directly connect to the medium voltage levels and provide a low-voltage and highly-stable DC interface with the consumer applications. The input stage eliminates the necessity for heavy and bulky step-down transformers. It corrects the input power factor and maintains the voltage balance among the individual DC buses. The second stage includes the high frequency parallel-output DC/DC converters which prepares the galvanic isolation, regulates the output voltage, and attenuates the low frequency voltage ripple ($2f_{line}$) generated by the first stage. The parallel-output converters can work in interleaving mode and the active load-current sharing technique is utilized to balance the load power among them. The detailed analysis for modeling and control of the proposed structure is presented. The validity and performance of the proposed topology is verified by simulation and experimental results.
논문은 배터리로 구동되는 500W급의 순수사인파 단상인버터에 관한 연구이다. 푸쉬풀 토폴로지를 이용하여 배터리의 전압을 400V로 승압하고, 이 승압된 전압을 H-브리지를 이용하여 상용 220VAC를 출력하는 인버터 구조이다. 이러한 토폴로지를 이용하여 정격입력전압 12VDC에 500W의 인버터를 설계 제작하였다. 그 결과 효율은 일부구간에서 90%를 넘었으나 평균적으로는 약 89.5% 정도의 효율을 나타내고, 출력전압, 주파수 변동 오차 및 THD는 ${\pm}5%$ 미만의 결과를 얻을 수 있었다.
본 논문은 현재 연료전지의 전력변환시스템에서 고주파 절연방식 중 많이 사용 되고 있는 Full-Bridge컨버터의 실제 모델을 손실을 수식적으로 계산하였다. 전류의 부담을 줄이는 방법으로 사용하는 MOSFET을 병렬로 여러 개 연결할 경우와 스위칭 주파수를 변화시켰을 경우를 시뮬레이션 툴(ORCAD)과 MATLAB을 이용하여 해석하였다.
본 논문에서는 저전압 대전류 출력 구조에 적합한 병렬 운전형 풀브리지 컨버터의 구조 및 운전기법에 대하여 제안하였다. 제안된 회로에서는 6개의 스위치 및 위상각을 이용하여 풀브리지 컨버터 두 모듈의 병렬 운전이 가능하다. 2kW급 하드웨어를 통하여 제안된 회로의 기본 동작원리 및 실험결과를 기술하였다.
A new low conduction loss, low cost zero-voltage-transition power factor correction circuit(PFC) is presented. Conventional PFC which consists of a bridge diode and a boost converter(one switch) always has three semiconductor conduction drops. Two switch type PFCs reduces conduction loss by reducing one conduction drop but the cost is increased because of increased number of active switches. The proposed PFC reduces conduction loss with one switch, which allows low cost. Conduction loss improvement is a little bit less than that of two switch type, but very close up. Operation and features are comparatively illustrated and verified by simulation and experimental results of 1 kW laboratory prototype.
LLC 하프브리지 공진형 컨버터는 세 개의 공진소자인 누설 인덕턴스, 자화인덕턴스, 공진 커페시터를 이용하여 영전압 스위칭을 실현 할 수 있고 낮은 전압, 전류 스트레스와 높은 효율을 기대할 수 있기 때문에 밀폐된 공간에서 동작해야하는 LED 전원장치로 적합하다. 특히 이동성의 편의를 위해 높은 전력밀도를 가져야 하는데 LLC 공진형 컨버터는 출력단에 인덕터가 없기 때문에 크기 면에서도 장점을 갖고 있다. 본 눈문에서는 LED 전원공급용 컨트롤기어인 LLC 하프브리지 컨버터의 최적설계를 반영한 이론적 해석 및 시뮬레이션을 하여 시 제작한 컨버터의 특성을 분석하였다.
This Paper presents a 6 pulse shift operation control mode of current-source-inverter to make improvement of efficiency and to reduce the frequency of inverter switching for photovoltaic generation system using PWM current-source-inverter. This system is connected solar cell energy directly without using a storage cell. The proposed circuit can maintain maximum voltage of photovoltaic generation of take advantage of six Buck-Boost converter and a full-bridge inverter determines the polarity of AC output. That is controlled by using digital signal processor TMS320F2812 for operation about a 6 pulse shift operation control of current-source-inverter, and it is verified through the experimental results.
The photovoltaic (PV) power conditioning system for small-scale applications has gained significant interest in the past few decades. However, the standalone mode of operation has been rarely approached. This paper presents a two-stage multi-level micro-inverter topology that considers the different operation modes. A multi-output flyback converter provides both the DC-Link voltage balancing for the multi-level inverter side and maximum power point tracking control in grid connection mode in the PV stage. A modified H-bridge multi-level inverter topology is included for the AC output stage. The multi-level inverter lowers the total harmonic distortion and overall ratings of the power semiconductor switches. The proposed micro-inverter topology can help to decrease the size and cost of the PV system. Transient analysis and controller design of this micro-inverter have been proposed for stand-alone and grid-connected modes. Finally, the system performance was verified using a 120 W hardware prototype.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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