• 제목/요약/키워드: Guard Ring

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레이아우트 변화에 대한 CMOS의 래치업 특성 연구 (A Study of CMOS Latch-Up by Layout Dependence)

  • 손종형;한백형
    • 한국통신학회논문지
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    • 제17권8호
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    • pp.898-907
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    • 1992
  • 본 논문은 latch-up의 가능성을 최소화하는 여러가지 방법 중 공정이나 재질 변겨에 의한 방법이 아닌, mask의 layout 변경에 의한 latch-up 최소화 방법에 대하여 기술하였다. 기존의 공정이나 재질 변경에 의한 방법이 어려운 공정이나 특수 시설 사용을 전제로 하고 있는 반면, mask의 layout 변경에 의한 방법은 기존의 공정을 그대로 사용할 수 있는 장점을 갖고 있다. Layout 변경에 의한 latch-up 최소화 방법 수행을 위하여 substrate의 N+와 S-W접합(substrate-well 접합 )사이의 거리를 a, S-W 접합에서 well의 P+까지의 거리를 b로 하여 a와 b가 다른 6개의 latch-up model과 guard ring 구조를 갖는 3개의 latch-up 모델을 만들어 latch-up관련 변수에 대하여 비교 검토 하였다.

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고체 유전율 측정용 cell의 불확도 분석과 보상 (Uncertainty and Compensation on the cell for Measurement of the Solid Permittivity Materials)

  • 김한준;강전홍;유광민;이세현;구경완;한상옥
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2007년도 하계학술대회 논문집 Vol.8
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    • pp.482-483
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    • 2007
  • For measurement of dielectric constants, the commercial parallel plate electrodes system with guard-ring electrode have been widely used up to now. The capacitance derived from the parallel plate electrodes capacitor with guard-ring electrode is calculated by the equation of ($C={\epsilon}\;{\cdot}\;\frac{area\;of\;electrod}{distance\;between\;electrodes}$). Therefore, in parallel plate electrode capacitor, the diameter of the guarded electrode, the gap size between guarded electrode and guard ring, and distance between two active electrode should be measured precisely to calculate dielectric constants from the measured capacitance. Consequently their mechanical measurement uncertainties are directly contributed. Especially the air-gap between the electrodes and dielectric specimen at the system must be existed and the measurement error derived from the air-gap is impossible to evaluate as measurement uncertainties. In this study, we analyze the uncertainty of the commercial dielectric constant test cell using 3 kinds CRMs.

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Characterization of small single photon avalanche diode fabricated using standard 180 nm CMOS process for digital SiPM

  • Jinseok Oh;Hakcheon Jeong;Min Sun Lee;Inyong Kwon
    • Nuclear Engineering and Technology
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    • 제56권8호
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    • pp.3076-3083
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    • 2024
  • In this work, single photon avalanche diodes (SPADs) were fabricated using the standard 180 nm complementary metal-oxide semiconductor process. Their small size of 15-16 µ m and low operating voltage made it possible to easily integrate them with readout circuits for compact on-chip sensors, particularly those used in the radiation sensor network of a nuclear plant. Four architectures were proposed for the SPADs, with a shallow trench isolation (STI) guard ring and different depletion regions designed to demonstrate the main performance parameters in each experimental configuration. The wide absorption region structure with PSD and a deep N-well could achieve a uniform electric field, resulting in a stable dark count rate (DCR). Additionally, the STI guard ring was implanted to mitigate the premature edge breakdown. A breakdown voltage was achieved for a low operating voltage of 10.75 V. The DCR results showed 286.3 Hz per ㎛2 at an excess voltage of 0.04 V. A photon detection probability of 21.48% was obtained at 405 nm.

Trenched-Sinker LDMOSFET (TS-LDMOS) Structure for 2 GHz Power Amplifiers

  • Kim, Cheon-Soo;Kim, Sung-Do;Park, Mun-Yang;Yu, Hyun-Kyu
    • ETRI Journal
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    • 제25권3호
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    • pp.195-202
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    • 2003
  • This paper proposes a new LDMOSFET structure with a trenched sinker for high-power RF amplifiers. Using a low-temperature, deep-trench technology, we succeeded in drastically shrinking the sinker area to one-third the size of the conventional diffusion-type structure. The RF performance of the proposed device with a channel width of 5 mm showed a small signal gain of 16.5 dB and a maximum peak power of 32 dBm with a power-added efficiency of 25% at 2 GHz. Furthermore, the trench sinker, which was applied to the guard ring to suppress coupling between inductors, showed an excellent blocking performance below -40 dB at a frequency of up to 20 GHz. These results confirm that the proposed trenched sinker should be an effective technology both as a compact sinker for RF power devices and as a guard ring against coupling.

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개인 선량 측정용 PIN 반도체 검출기 개발에 관한 연구 (A Study on Development of a PIN Semiconductor Detector for Measuring Individual Dose)

  • 이봉재;이완로;강병위;장시영;노승용;채현식
    • Journal of Radiation Protection and Research
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    • 제28권2호
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    • pp.87-95
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    • 2003
  • 반도체 검출기의 p+ 층의 도핑 농도, 열처리에 의한 불순물 재분포와 절단면에서의 guard ring 효과를 전산모사하여 최적의 구조와 공전을 설계하고, MCNP코드로 방사선 반응 특성을 분석하였다. 검출기는 반도체 집적회로 공정에서 설계된 공정변수를 적용하여 격자 방향 <100>, $400{\Omega}cm$, n형, Floating-Zone 실리콘 기판에서 제작되었다. 제작된 검출기의 누설전류 밀도는 $0.7nA/cm^2/100{\mu}m$로서 전기적 특성이 우수한 것으로 나타났으며, Cs-137 감마 선원에 의한 $5mR/h{\sim}25R/h$의 조사선량률 범위에서 방사선 반응 특성은 양호한 선형성을 보였다. 본 연구에서 제안된 공정으로 제작된 PIN 반도체 검출기는 개인선량 측정에 사용될 수 있을 것이다.

Al-nSi 쇼트키 다이오드의 접합면 주위의 얇은 계단형 산화막 구조가 항복 전압에 미치는 영향 (The Effect of thin Stepped Oside Structure Along Contact Edge on the Breakdown Voltage of Al-nSi Schottky Diode)

  • 장지근;김봉렬
    • 대한전자공학회논문지
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    • 제20권3호
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    • pp.33-39
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    • 1983
  • 종래의 쇼트키 다이오드들이 가지는 금속중첩 및 P보호환 구조와 비교하여 금속-반도체 접합면 가장자리에 얇은 계단형 산화막(약1000Å) 구조를 갖는 새로운 소자들을 설계 제작하였다. 별은 계단형 산화막의 형성은 T.C.E. 산화공정으로 처리하였으며 이러한 새로운 소자들의 항복현상을 비교 검토하기 위하여 이들과 함께 동일한 소자 크기를 갖는 종래의 금속 중첩 쇼트키 다이오드와 P보호환 쇼트키 다이오드를 같은 폐이퍼상에 집적시켰고 항복전압에 대한 측정을 통해 고찰해 본 결과 금속-반도체 접합면 가장자리에 얇은 계단형 산화막 구조를 갖는 소자들은 종래의 쇼트키 다이오드들에 비해 항복현상에 있어서 월등한 개선을 보여 주는 것으로 나타났다.

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속력을 고려한 선박충돌회피지원 프로그램 개발에 관한 연구 (A Study on the development of Ship Collision Avoidance Support Program considered Speed)

  • 양형선
    • 한국항해항만학회지
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    • 제31권5호
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    • pp.333-338
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    • 2007
  • 본 논문에서는 선박충돌사고의 주요한 원인이 되는 인적운항과실의 감소 및 효과적인 선박충돌회피를 지원하기 위해 새로이 제안된 '속력을 고려한 선박충돌회피지원 모델'을 기반으로 한 선박충돌회피지원 프로그램 개발에 관하여 연구하였다. 이 프로그램은 선행 연구에서 고려되지 않은 상대선박의 속력이 고려되었으며, 자선의 선회특성을 이용하여 상대선박의 침로, 속도에 대한 충돌회피 가능영역과 방법을 표시함으로써, 근접상황에서도 효과적인 충돌회피 조종을 지원할 것이다.

Cuticle Micromorphology of Korean Gymnosperms I. Cycadaceae, Ginkgoaceae, Taxaceae and Cephalotaxaceae

  • Sung Soo Whang
    • Journal of Plant Biology
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    • 제38권2호
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    • pp.181-193
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    • 1995
  • Cuticle micromorphology of four families of Korean gymnosperms, Cycadaceae, Ginkgoaceae, Taxaceae, and Cephalotaxaceae, were studied with scanning electron microscopy. The outer and inner features of abaxial and adaxial cuticles were described in details; the absent or present of Florin ring, orifice, trichome, and plug and their shape, the shape and periclinal and anticlinal wall sculpture of epidermal cells, the shape of cuticular flange of epidermal cell, guard cell, and subsidiary cell, the number of stomatal bands and rows, and stomatal apparatus including the shape of polar extension, number of subsidiary cells, the sculpture of guard cell and subsidiary cell. Most of these features have not been sufficiently substantiated by the previous reprots. Furthermore, all the species investigated showed distinctive cuticle morphology with morphological and taxonomical informations.

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적색 중심 Optical Link용 Si pin Photodetector의 설계 및 제작 (Design and Fabrication of a Si pin Photodetector with Peak Spectral Response in the Red Light for Optical Link)

  • 장지근;김윤희;이지현;강현구;이상열
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제8권1호
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    • pp.1-4
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    • 2001
  • 새로운 구조의 APF optical link용 Si pin photodetector를 제작하고 그 특성을 분석하였다. 제작된 소자는 금속-반도체 접촉주위에 $p^{+}$-guard ring구조와 광이 입사되는 수광면에 그물망 모양의 얕은 $p^{+}$-확산영역을 갖는다. 제작된 소자의 전기.광학적 특성을 -5 V의 동작전압에서 측정한 결과, 접합 커패시턴스와 암전류는 각각 4 pF와 180 pA로 나타났으며 광신호 전류와 감도특성는 670 nm이 중심파장을 갖는 2.2 $\mu$W의 입사광 전력 아래에서 각각 1.22 $\mu$A와 0.55 A/W로 나타났다. 제작된 소자는 650~700 nm의 파장영역에서 최대 spectral response를 보이고 있으며 낮은 점한 커패시턴스와 우수한 신호분리능력으로 인해 red light optics응용에서 광신호 검출에 적합하게 사용될 수 있을 것으로 기대된다.

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새로운 전계 제한테 구조를 갖는 탄화규소 기판의 쇼트키 다이오드의 제작과 특성 분석 (Fabrications and Analysis of Schottky Diode of Silicon Carbide Substrate with novel Junction Electric Field Limited Ring)

  • 정희종;한대현;이용재
    • 한국정보통신학회논문지
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    • 제10권7호
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    • pp.1281-1286
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    • 2006
  • 초고내압용 (1,200 V급) 의 플래너 접합 장벽 쇼트키 정류기 개발을 위해서 기존의 실리콘 재질 대신에 탄화규소 (4H-SiC) 제질을 사용하였다 . 기판의 크기는 2 인치 웨이퍼이며, 농도는 $3*10^{18}/cm^{3}$$n^{+}-$형이며, 에피층은 두께 $12{\mu}m$, 농도는 $5*10^{15}/cm^{-3}\:n-$형이다. 제작 소자는 접합 장벽 쇼트키 다이오드이며, 항복전압을 개선시키기 위해 고농도 의 보론 보호테의 불순물 분포를 사각모양 설계하였으며, 보호태의 폭과 간격을 변화하였다 . 정류성 접촉 금속은 $Ni(3,000\:{\AA})/Au(2,000\:{\AA})$ 사용하였다 . 결과로써, 소자의 특성은 온-상태 전압이 1.26 V, 온-상태 저항은 m$45m{\Omega}/cm^{3}$으로 낮은 특성과역방향 항복전압은 1,180 V의 최대값이며, 이 항복전압의 역방향 누설전류밀도는 $2.26*10^{-5}A/CM^{3}$의 값이며, 전기적 파라미터의 특성 결과가 개선되었다.