• 한국의류산업학회지
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• 제16권3호
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• pp.456-461
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• 2014

The objective of this study is to give PP(polypropylene) fabric a good affinity for water. Oxygen plasma was treated to PP fabrics in a commercial glow discharge reactor with different RF power, discharge pressure, and reaction time. The PP fiber surfaces were characterized by the measurement of contact angle and ESCA. A JEOL scanning electron microscope was used to observe the surface morphology of fibers. The spontaneous water uptake amount of PP fabrics was determined by the demand wettability test. To determine the effect of aging on the surface properties of $O_2$ plasma treated PP, all the above measurements of the samples were carried out after 1, 7, 30, 60, and 150 days. The results are as follows. The PP fiber surfaces treated by $O_2$ plasma treatment have a chemical composition that consisted of various oxygen containing polar groups. Consequently, the contact angles of the treated PP fibers decreased, which improved the water uptake rate of PP fabrics. Surface roughness of the treated PP affected the fabric wettabiity as well. Wettability of the treated PP decreased and leveled off with aging. The $O_2$ plasma treatment is a simple and effective method to increase the water uptake rate of PP fabrics.

• 열처리공학회지
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• 제25권1호
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• pp.1-5
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• 2012

The purpose of this study is to prepare a high strength fiberglass reinforced metal. Aluminum covering was carried out over carbon materials such as carbon fiber in order to increase their wettability to molten metals such as aluminum. A sputtering apparatus with a cylindrical target was fabricated to carry out the covering. Sputtering was caused by glow discharge between the target and the two anode plates attached to its top and bottom. As the substrate for preliminary test, a thin carbon wire was used instead of carbon fiber, and the wire was placed at the central axis of the target. Aluminium coating was formed on the whole surface of the substrate. The formation rate and structure of coating were varied by controlling the electrical potential of substrate. When the substrate was electrically isolated, coating with columnar structure was formed with a formation rate of $15{\mu}m/hr$. In case of grounded substrate, coating with amorphous structure was formed with a formation rate of $7{\mu}m/hr$.

• 한국표면공학회지
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• 제44권2호
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• pp.50-54
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• 2011

Hydrophobic a-C:F film was coated on polycarbonate film with $CF_4$, $C_2F_6$ and HFC ($C_2F_4H_2$) gas in helium discharge generated by 5~100 kHz AC power supply at atmospheric pressure and room temperature. The highest water contact angle of the a-C:F film formed with $He/C_2F_6$ mixed gas is $155^{\circ}$. X-ray photoelectron spectrum showed that there was 40% of C-$CF_3$ bond at the surface of the super hydrophobic film. The contact angle and deposition rate were decreased with increasing substrate temperature. The contact angle was generally increased with the surface roughness of the film. The contact angle was high when the surface microstructure of the film was fine and sharp at the similar roughness and chemical composition of the surface.

• 한국표면공학회지
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• 제48권5호
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• pp.245-252
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• 2015

In recent years, the cleaning and activation technology of surfaces using atmospheric plasma as well as the deposition technology for coating using atmospheric plasma have been demonstrated conclusively and drawn increasing industrial attention. Especially, due to the simplicity, the technology using atmospheric plasma enhanced chemical vapor deposition has been widely studied from many researchers. The plasma source type commonly used as the stabilization of diffuse glow discharges for atmospheric pressure plasma enhanced chemical vapor deposition pressure is the dielectric barrier discharge. In this review paper, some kinds of modified dielectric barrier discharge type will be presented. And, the characteristics of silicon based compound such as SiOx and SiNx deposited using atmospheric plasma enhanced chemical vapor system will be discussed.

• Korean Chemical Engineering Research
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• 제60권3호
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• pp.452-458
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• 2022

3가지 종류의 기-액 하이브리드 수평형, 수직형 그리고 needle-to-cylinder형 플라즈마 반응기가 제작되었다. 이들 반응기를 통하여 대기압 플라즈마 방전에서 발생하는 반응 활성종 생성과 전극 내의 전위차를 통한 세정성분의 기-액 활성화 반응을 일으키는 고효율 친환경 기반의 세정 개념을 제시하였다. 세정성능에 대한 효율성을 비교한 결과, needle-to-cylinder형 반응기가 가장 우수한 특성을 가졌다. 본 연구를 통해 기-액 하이브리드 대기압 플라즈마 반응기가 반도체 공정 등 초정밀 세정공정에 응용 가능성이 있음을 확인하였다.

• 분석과학
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• 제22권2호
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• pp.152-158
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• 2009

본 연구에서는 유기화합물의 효과적인 소프트 이온화를 위하여 기존의 SPI장치를 개선한 새로운 형태의 방전 장치를 제작하였다. 새로 제작된 소프트 플라스마 이온화 장치는 반 원통 형태의 메쉬 음극과 속빈 원통 형태의 양극으로 구성하였다. 이온화원으로 사용하기에 앞서, 특정압력에서 전극간격에 따른 전압 전류 특성곡선을 조사하여 장치의 구성을 최적화 하였으며, 그 결과 넓은 전압 전류 영역에서 안정한 플라스마를 생성하는 조건을 결정하여 다양한 이온화 패턴을 기대 할 수 있게 하였다. 최적화된 이온화장치를 사중극자 질량분석기와 연결하여 디클로로메탄의 질량 스펙트럼을 관찰하였고, 분석결과 디클로로메탄은 전자충격이온화에 의한 분리 패턴과 비슷하게 나타나는 것을 확인하였다.

• 농약과학회지
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• 제16권1호
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• pp.11-20
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• 2012

식량증산을 위해 농약사용량이 증가함에 따라, 식품 중 잔류농약의 안전성 문제에 대한 관심은 날로 증가하고 있지만 효율적인 잔류농약 저감화 방법은 보급되지 못하고 있는 것이 현실이다. 최근에 기체 플라즈마에 의한 오염물질 제거는 고효율성과 환경친화성으로 많은 주목을 받고 있다. 특히 플라즈마는 수질 및 고체 표면 중 유기인계살충제, 페놀, 벤조산, 염료, 니트로벤젠과 같은 오염물질의 제거에 큰 효과가 있는 것으로 알려지고 있다. 본 연구는 플라즈마를 이용하여 농식품 중에 잔류되는 농약의 제거 가능성을 알아보고자 대기압 및 감압플라즈마 플라즈마 발생 상태에서 60종의 농약을 대상으로 분해양상을 파악해보고자 시도하였다. 시험용 농약을 유리판에 도포 후 대기압 및 감압 플라즈마 발생기에서 5분간 조사 후 잔류량을 확인 한 결과 대조구의 회수 분석결과가 70% 미만인 18종을 제외한 41종의 농약 분해율이 66.88-100%를 나타내었고, clothianidin은 감압플라즈마하에서 26.9%이 분해율을 보였다.

• 한국진공학회지
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• 제21권6호
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• pp.301-311
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• 2012

결정질 태양전지 등의 도핑 공정에 적용하기 위한 플라즈마 제트 장치의 기초 방전 특성을 조사한다. 대기압에서의 아르곤 플라즈마 제트와 대기 압력변화에 대한 대기 플라즈마 제트, 그리고 아르곤 분위기 압력 변화에 대한 플라즈마 제트의 전류-전압은 전형적인 정상 글로우 방전의 특성을 갖는다. 대기압 플라즈마 제트의 방전 전압은 약 2.5 kV의 높은 전압이 요구되며, 대기 및 아르곤 플라즈마 제트는 200 Torr 이하의 낮은 압력에 대한 방전 전압은 약 1 kV가 된다. 도핑용 실리콘 웨이퍼에 조사되는 단일 채널 플라즈마 제트의 전류는 인가전압의 조정에 의하여 수 10~50 mA의 고 전류를 용이하게 얻는다. 플라즈마 제트를 웨이퍼에 조사하는 경우에 웨이퍼의 온도 상승은 정상상태에서 약 $200^{\circ}C$가 된다. 실리콘 웨이퍼에 도핑 용재인 액상의 인산을 도포하여 플라즈마를 조사한 결과 얻어진 인 원자의 도핑 분포는 플라즈마 제트 도핑의 가능성을 보여준다.

• 한국표면공학회지
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• 제35권3호
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• pp.121-126
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• 2002

WC/C multilayered films were deposited by arc ion plating and magnetron sputter hybrid system with various $C_2$H$_2$ flow rates and bias voltages. The coatings have been characterized with respect to their chemical composition (Glow Discharge Optical Emission Spectroscopy), hardness(Knoop micro-hardness), residual stress(Laser beam bending) and friction coefficient(Ball on disc type wear test). Deposition rate, microhardness and residual stress of WC/C films were observed to increase with increasing the $C_2$$H_2$ flow rates. The highest hardness and residual stress were measured to be 26.5 GPa and 1.1GPa for, WC/C film deposited at substrate bias of -100V. WC/C multilayered film was obtained very low friction coefficient(~0.1).

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 1992년도 하계학술대회 논문집 B
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• pp.900-902
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• 1992

In order to develope the uniform Plasma source which is able to make polymer or glass surface modification, the d.c glow discharge characteristics for the hemisphere -cylindrical electrode system with external d.c magnetic field are investigated. Single probe method has been used for detecting plasma parameters. We make uniform plasma generated to the external of electrode between hemisphere and cylindrical electrode. The surface treatment of metal and insulate has been performed by this uniform plasma.