• 제목/요약/키워드: Gas processing system

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반도체 제조용 CVD 및 Etcher 장비의 탄소배출량과 에너지 소비량 모니터링 (Monitoring of the Carbon Emission and Energy Consumption of CVD and Etcher for Semiconductor Manufacturing)

  • 고동국;배성우;김광선;임익태
    • 반도체디스플레이기술학회지
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    • 제12권3호
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    • pp.19-22
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    • 2013
  • The purpose of this study is to develop a system that can monitor the amounts of energy consumption during CVD and etching process for semiconductor manufacturing. Specifically, this system is designed to measure the $CO_2$ emission amounts quantitatively by measuring the flow rate of gas used and amount of power consumed during the processes. The processes of CVD equipment can be classified generally into processing step and cleaning step and all the two steps were monitored. In CVD and etcher equipments, various gases including Ar and $O_2$ are used, but Ar, $O_2$ and He were monitored with the use of the LCI data of Korea Environmental Industry & Technology Institute and carbon emission coefficients of EcoInvent. As a result, it was found that the carbon emission amounts of CVD equipment for Ar, $O_2$ and He were $0.030kgCO_2/min$, $4.580{\times}10^{-3}kgCO_2/min$ and $6.817{\times}10^{-4}kgCO_2/min$, respectively and those of etcher equipment for Ar and $O_2$ are $5.111{\times}10^{-3}kgCO_2/min$ and $7.172kgCO_2/min$, respectively.

도서관자료(圖書館資料) 보존(保存)에 관한 연구(硏究) (A Study on the Conservation of Library Materials)

  • 권기원
    • 한국비블리아학회지
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    • 제6권1호
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    • pp.179-213
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    • 1984
  • The history of recording and conserving for maintenance the human's memory from ancient times to modern's has brought about a lot of changing process of the recorded information media with developing in culture, and each society has made important recorded materials in his library as essentially the social apparatus. But most of them that were damaged by factors of the natural disaster, humidity, temperature, light, fungi and insects in the library, and were resulted in deterioration and losing the numerous materials. For removing the inevitable phases repeated, there are studying for counterplan of the fundamental environment factors about preservation, restoration and chemical research of materials in advanced countries, but I get a few researches about protecting the cultural properties. Therefore I research the survey of the actual conditions on 72 university libraries centering around them, and then I have researched the collection rate 81 percent, 58 university libraries. (local : 35, in seoul : 23) As the result of this research, I propose the model of the environment factors of conserving the library materials. 1) To apply the equipment of processing the radiant energy to the new construction and buildings. 2) To remove factors that occur fungi and insects by facilities being controlled relative humility, temperature, and to equip the ventilation arrangement in the library. 3) To shelve all acquired and bound materials after proceeding the vacuum fumigator. 4) Those who want to enter into the library stack were surely taken in sterilzing their hands and shoes, and must put on the gown. 5) To use the vacuum dusting thing (machine) for removing the dust without spreading out the floor of the library at any time. 6) To set up the gas automatic fire extinguisher worked by smoke sensor. 7) To assist the research into the preservation, natures and environment of recorded materials, and to supply financial funds for librarian. 8) To hold regularly the workshop be able to educate the methods of preservation materials by the constant system. (Library Association) 9) To add to responsibilities on certification of preservation materials for librarian. 10) To hold the constant committee system in each library. 11) To keep up with the ideal environment (humidity, temperature, light, ventilation, etc.) of preservation materials in the arrangement room, and to put on the gown.

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주기적 충격하중을 받는 강 구조물의 구조건전성 평가 (Evaluation Using Dynamic Characteristic of Steel Structures under Periodical Impact Loads)

  • 김강석;나환선;이현주;이강민;유경석
    • 한국구조물진단유지관리공학회 논문집
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    • 제15권1호
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    • pp.120-128
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    • 2011
  • 변전소 구조물은 가스절연개폐기의 개폐로 유발되는 주기적인 충격하중을 받게 된다. 이러한 주기적인 충격하중은 구조물의 노후화 및 열화를 가속화하여 구조물의 일부 부재 혹은 전반적인 강성 감소를 초래할 수 있다. 본 연구에서는 이러한 주기적인 충격하중이 구조물에 미치는 영향을 정량적으로 평가하고, 손상 정도를 평가하는 방법을 선정하고자 한다. 따라서, 개략적인 손상 정도를 파악할 수 있는 효율적인 방법으로 인지되고 있는 시스템식별기법을 선정하였다. 선정된 기법에 대한 신뢰성을 검증하기 위해 3층 1경간 축소 모형을 대상으로 모의 손상실험 및 해석을 통해 모드형상 및 고유진동수를 산정하고 결과를 비교하였다.

서스펜션 플라즈마 용사로 제조된 란타눔/가돌리늄 지르코네이트 열차폐코팅의 구조와 열전도도 특성 (Structure and Thermal Conductivity of Thermal Barrier Coatings in Lanthanum/Gadolinium Zirconate System Fabricated via Suspension Plasma Spray)

  • 권창섭;이성민;오윤석;김형태;장병국;김성원
    • 한국표면공학회지
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    • 제47권6호
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    • pp.316-322
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    • 2014
  • With increase in demand for higher operating temperatures of gas turbines, extensive research efforts have been carried out to enhance the performance of thermal barrier coatings (TBCs) in the field of coating processing as well as materials. In this study, thermal barrier coatings in lanthanum/gadolinium zirconate system, which is one of the most promising candidates for replacing yttira-stabilized zirconia (YSZ) in thermal barrier coating applications, are fabricated via suspension plasma spray. Dense, $300{\sim}400{\mu}m$ thick coatings of fluoritephase zirconate with modest amount of segmented microstructures are obtained by using suspension plasma spray with suspensions of planetary-milled mixture between lanthanum and/or gadolinium oxide and nano zirconia. These coatings exhibit thermal conductivities of 1.6 ~ 1.7 W/mK at $1000^{\circ}C$, which is relatively lower than that of YSZ.

합성 불산화 이트륨 분말을 이용한 DLP 3D 프린팅용 광경화성 슬러리 제조 (Preparation of Photocurable Slurry for DLP 3D Printing Process using Synthesized Yttrium Oxyfluoride Powder)

  • 김은성;한규성;최정훈;김진호;김응수
    • 한국재료학회지
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    • 제31권9호
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    • pp.532-538
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    • 2021
  • In this study, a spray dryer is used to make granules of Y2O3 and YF3, and then Y5O4F7 is synthesized following heat treatment of them under Ar gas atmosphere at 600 ℃. Single and binary monomer mixtures are compared and analyzed to optimize photocurable monomer system for DLP 3D printing. The mixture of HEA and TMPTA at 8:2 ratio exhibits the highest photocuring properties and low viscosity with shear thinning behavior. The optimized photocurable monomer and synthesized Y5O4F7 are therefore mixed and applied to printing process at variable solid contents (60, 70, 80, & 85 wt.%) and light exposure times. Under optimal light exposure conditions (initial exposure time: 1.2 s, basic exposure time: 5 s), YOF composites at 60, 70 & 80 wt.% solid contents are successfully printed. As a result of measuring the size of the printed samples compared to the dimensions of the designed bar type specimen, the deviation is found to increase as the YOF solid content increases. This shows that it is necessary to maximize the photocuring activity of the monomer system and to optimize the exposure time when printing using a high-solids ceramic slurry.

유도가열 기법을 이용한 저주파 용접예열 시스템 구현 (Implementation of Low Frequency Welding Pre-heating System Using Induction Heating)

  • 양주영;김수찬;박준모
    • 융합신호처리학회논문지
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    • 제19권2호
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    • pp.61-67
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    • 2018
  • 용접예열은 본 용접 전에 금속이 융착되는 모재면을 일정한 온도로 가열하는 것을 의미한다. 냉각속도 조절에 따른 재료 경화 정도 감소, 불순물 편석억제, 열적 변형방지, 그리고 수분제거 등 인접 영향부의 균열을 방지할 수 있다. 이러한 이유에서 고품질의 용접을 위하여 반드시 필요한 작업이다. 유도가열은 전자기유도 현상을 응용하여 전기에너지를 열에너지로 변환시키는 효율적인 가열방식이다. 기체 및 액체를 이용한 연소발열과 비교하여 신속한 가열뿐만 아니라 청결하고, 안정적이며, 경제적이다. 단순한 구조로 주파수와 코일의 형태를 변형하여 가열체의 형상, 깊이, 재질에 관계없이 가열할 수 있다. 본 논문에서는 유도가열 기법을 이용하여 저주파 용접예열 시스템을 구현하였으며, 3종의 자동차 변속기 부품을 대상으로 권선코일 내에서 각 변속기 높이에 따라 권선코일 저항, 인덕턴스 및 자동차 변속기 부품의 온도변화를 관찰한 결과 전류의 변화는 저주파 가열에 있어 매우 중요한 요인으로 작용함을 확인하였다.

Cu2ZnSn(S,Se)4 Thin Film Solar Cells Fabricated by Sulfurization of Stacked Precursors Prepared Using Sputtering Process

  • Gang, Myeng Gil;Shin, Seung Wook;Lee, Jeong Yong;Kim, Jin Hyeok
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2013년도 제45회 하계 정기학술대회 초록집
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    • pp.97-97
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    • 2013
  • Recently, Cu2ZnSn(S,Se)4 (CZTSS), which is one of the In- and Ga- free absorber materials, has been attracted considerable attention as a new candidate for use as an absorber material in thin film solar cells. The CZTSS-based absorber material has outstanding characteristics such as band gap energy of 1.0 eV to 1.5 eV, high absorption coefficient on the order of 104 cm-1, and high theoretical conversion efficiency of 32.2% in thin film solar cells. Despite these promising characteristics, research into CZTSS based thin film solar cells is still incomprehensive and related reports are quite few compared to those for CIGS thin film solar cells, which show high efficiency of over 20%. I will briefly overview the recent technological development of CZTSS thin film solar cells and then introduce our research results mainly related to sputter based process. CZTSS thin film solar cells are prepared by sulfurization of stacked both metallic and sulfide precursors. Sulfurization process was performed in both furnace annealing system and rapid thermal processing system using S powder as well as 5% diluted H2S gas source at various annealing temperatures ranging from $520^{\circ}C$ to $580^{\circ}C$. Structural, optical, microstructural, and electrical properties of absorber layers were characterized using XRD, SEM, TEM, UV-Vis spectroscopy, Hall-measurement, TRPL, etc. The effects of processing parameters, such as composition ratio, sulfurization pressure, and sulfurization temperature on the properties of CZTSS absorber layers will be discussed in detail. CZTSS thin film solar cell fabricated using metallic precursors shows maximum cell efficiency of 6.9% with Jsc of 25.2 mA/cm2, Voc of 469 mV, and fill factor of 59.1% and CZTS thin film solar cell using sulfide precursors shows that of 4.5% with Jsc of 19.8 mA/cm2, Voc of 492 mV, and fill factor of 46.2%. In addition, other research activities in our lab related to the formation of CZTS absorber layers using solution based processes such as electro-deposition, chemical solution deposition, nano-particle formation will be introduced briefly.

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디지털펜과 필기체인식 기술을 이용한 수기문서 전자화 프레임워크 (A Framework for Digitalizing Handwritten Document using Digital Pen and Handwriting Recognition Technology)

  • 손봉기;김학준
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제12권3호
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    • pp.1417-1426
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    • 2011
  • 아직도 다양한 비즈니스 현장에서는 업무특성이나 법률적 제약 때문에 종이문서로 정보를 취득하고 있다. 이러한 수기문서는 IT 시스템을 통한 실시간 정보 처리와 관리를 위해 전자화 과정을 거쳐 디지털 문서로 변환되어 야 한다. 기존의 문서 전자화 시스템은 수기문서를 스캐닝과 후처리 작업을 거쳐 전자화하기 때문에 연속적인 업무 처리가 어렵다. 이 논문에서는 디지털펜과 필기체인식 기술을 이용한 수기문서 전자화 프레임워크인 LiveForm을 제안한다. 또한, 제안한 프레임워크의 적용가능성을 보이기 위해 LiveForm 기반 산업특수가스 유통 서비스를 구현하고 적용 효과를 분석한다. LiveForm은 디지털펜으로 절대좌표값이 인쇄된 종이문서를 작성하면 작성문서와 동일한 디지털이미지를 생성하고, 기록 정보는 필기체인식을 통해 디지털 문자로 변환하여 업무시스템에 자동으로 입력한다. LiveForm 기반 응용시스템은 종이문서 기반 정보 취득이 많은 업무에서 문서 전자화를 위한 스캐닝과 데이터 수동입력없이 취득한 정보를 업무시스템 자동으로 반영할 수 있어 업무 프로세스를 대폭 개선할 수 있다.

수륙 경계지역에서 얻어진 육상 노달 에어건 탄성파탐사 자료의 고찰 및 자료처리 (Investigation and Processing of Seismic Reflection Data Collected from a Water-Land Area Using a Land Nodal Airgun System)

  • 이동훈;장성형;강년건;김현도;김관수;김지수
    • 지질공학
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    • 제31권4호
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    • pp.603-620
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    • 2021
  • 수진기들을 서로 케이블로 연결하지 않고 독립적으로 운용하는 육상-노달 탄성파 기술을 수륙 경계지역에 대한 탄성파 반사법자료를 얻기 위해 사용하였다. 이 기술은 수진기 설치와 수거가 간편하기 때문에 지형조건 영향을 적게 받으면서 양호한 자료를 얻을 수 있다는 점에서 매우 경제적이다. 경상북도 포항시 형산강 하구를 테스트 지역으로 한 이 연구에서는 송수신 측선을 약 120 m 간격으로 서로 평행하도록 전개하여 음원은 강에서 에어건을 사용하고 무선 수신은 하상에 설치한 노달 시스템을 사용하였다. 수집된 반사파 자료들은 낮은 신호대잡음(S/N)과 불연속적인 이벤트를 보이며, 특히 직접파, 가이드파, 음파, Scholte 표면파를 포함한 대부분의 이벤트들이 현장 자료에서 쌍곡선 형태로 나타는데 이러한 특징은 송수신이 같은 측선에서 이루어지는 일반적인 탐사에서의 직선 형태와 크게 대비된다. 주된 자료처리는 저주파 고진폭 잡음에 가려진 미약한 신호를 향상시키기 위한 띠통과 필터링, 공기파를 완화시키기 위한 주파수-파수 필터링, 송수신기 사이의 전파시간을 보정하기 위한 시간지연 보정을 수행하여 궁극적으로 가이드파와 공기파에 가려진 천부의 반사파를 표출하는데 목적을 두었다. 송신기와 수신기 사이의 횡단-오프셋 거리에 따른 시간지연 보정을 위한 주시방정식과 곡선을 이 연구에서 새로이 제시하였다. 시간지연 보정 효과는 최소 횡단-오프셋 자료에서 보정 후 약 200 ms 상향 이동하는 잘 정렬된 수평층으로 잘 관찰된다, 직접파/공기파를 기준으로 한 시간지연 보정은 서로 평행한 송수신 측선에서 얻어지는 자료처리에 필수적인 것으로 나타났다. 이 연구에서 개발되고 적용된 육상 노달-수상 에어건 시스템 자료의 수집과 처리 기법은 차후 천부가스, 단층대, 연안지역 및 도심지의 엔지니어링 설계를 위해 육해상 경계 지역에서 얻어지는 고분해능 자료에 효과적으로 쉽게 적용될 것으로 기대된다.

암모니아 입하 및 저장시설에서의 위험도 관리 (Risk Management for Ammonia Unloading and Storage Tank Facility)

  • 정윤서;우인성;임종우
    • 한국가스학회지
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    • 제21권5호
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    • pp.95-103
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    • 2017
  • 제조산업 현장에서는 수많은 유해위험물질이 사용, 처리 및 생산되고 있으며, 암모니아를 취급하는 시설에서 많은 누출, 화재 폭발사고가 보고되고 있다. 유해위험시설에서의 위험관리 및 사고예방을 위하여 공정안전관리(PSM), 가스안전관리(SMS), 장외영향평가(ORA) 제도 등 다양한 안전환경관리 프로그램이 국내 산업현장에 적용되고 있고 학계에서도 위험성평가 관련 연구가 활발하게 진행되고 있다. 본 연구에서는 암모니아 입하 및 저장 시설을 대상으로 정량적 위험성평가가 수행되었는데 사고 시나리오에 대한 피해영향범위 산정에는 장외영향평가용 KORA 프로그램, 사고 빈도 분석에는 LOPA PFD 활용 방식을 적용하였다. 평가 결과 추정된 위험도를 완화하고 지속적인 위험을 관리하는 방안으로 누출 감지 및 비상 차단, 물 분무 및 증기 희석 설비, 방류벽 및 트렌치, 누출 비산 방호 등 공정 안전설계 하드웨어 개선부분과 위험관리기준 효과적 적용, LOPA 보완적용, 보조 피해영향범위 산정 프로그램 활용, 위험도기반 공정안전관리제도 적용, 공정위험성 재평가 및 이행성 관리 등 프로그램 및 제도 운용 측면에서의 방안이 제시되었다.