This paper reports on the fabrication of free-standing microstructures by DRIE (deep reactive ion etching). SOI (Si-on-insulator) structures with buried cavities are fabricated by SDB (Si-wafer direct bonding) technology and electrochemical etch-stop. The cavity was formed the upper handling wafer by Si anisotropic etch technique. SDB process was performed to seal the formed cavity under vacuum condition at -760 mmHg. In the SDB process, captured air and moisture inside of the cavities were removed by making channels towards outside. After annealing (100$0^{\circ}C$, 60 min.), the SDB SOI structure with a accurate thickness and a good roughness was thinned by electrochemical etch-stop in TMAH solution. Finally, it was fabricated free-standing microstructures by DRIE. This result indicates that the fabrication technology of free-standing microstructures by combination SDB, electrochemical etch-stop and DRIE provides a powerful and versatile alternative process for high-performance bulk micromachining in MEMS fields.
The aim of this study is to prepare biodegradable microspheres without the use of surfactants or emulsifiers for a novel sustained delivery carriers of protein drugs. A poly($\varepsilon$-caprolactone)/poly(ethylene glycol)/poly($\varepsilon$-caprolactone) (CEC) triblock copolymer was synthesized by the ring-opening of $\varepsilon$-caprolactone with dihydroxy poly (ethylene glycol) to prepare surfactant-free microspheres. When dichloromethane (DCM) or ethyl formate (EF) was used as a solvent, the formation of microspheres did not occur. Although the microspheres could be formed prior to lyophilization under certain conditions, the morphology of microspheres was not maintained during the filtration and lyophilization process. Surfactant-free microspheres were only formed when ethyl acetate (EA) was used as the organic solvent and showed good spherical micro-spheres although the surfaces appeared irregular. The content of the protein in the micro-sphere was lower than expected, probably because of the presence of water channels and pores. The protein release kinetics showed a burst release until 2 days and after that sustained release pattern was showed. Therefore, these observations indicated that the formation of microsphere without the use of surfactant is feasible, and, this the improved process, the protein is readily incorporated in the microsphere.
본 연구에서는 용제를 전혀 사용하지않고 UV경화가 가능한 실버 페이스트를 개발하였다. 무용제(solvent-free) 타입으로 개발한 실버 페이스트의 점도 및 점탄성 측정하였다. 그리고 스크린인쇄로 패턴을 인쇄한 후에 UV경화로 전극도막을 형성시켰다. 형성된 전극도막의 전도성, 연필경도, 접착력에 대해서 평가하였다. 마지막으로 전극도막의 경화특성은 TGA 및 FT-IR로 평가하였다. 이러한 결과를 정리하면 전도성, 접착력, 경화특성에 대해서는 Paste(4), 즉 1.2 ㎛의 구형 실버 파우더와 50 nm 실버 파우더를 72:8%로 혼합한 실버 페이스트가 가장 우수한 물성이 얻어짐을 알 수 있었다.
Reflow soldering process is essential in electronic package. Reflow process for a long time results from the decrease of reliability because IMC is formed excessively. Solder alloys of Sn-37Pb and Sn-Ag with different kinds of Cu contents (0, 0.5 and 1 wt.%) as compared with Ni and Cu plate joints are investigated according to varying reflow time. The interfaces of solder joints are observed to analyze IMC (intermetallic compound) growth rate by scanning electron microscope (SEM). Shear test is also performed by using SP (Share-Punch) tester. The test results are compared with the solder joints of two different plates (Ni and Cu plate). $Cu_6Sn_5$ IMCs are formed on Cu plate interfaces after reflows in all samples. Ni3Sn4 and $(Cu,Ni)_6Sn_5$ IMCs are also formed on Ni plate interfaces. The IMC layer forms are affected by reflow time and contents of solder alloy. These results show that mechanical strength of solder joints strongly depends on thickness and shape of IMC.
A model peptide, N-carbobenzoxy-L-phenylalanyl-L-phenylalanine methyl ester, was synthersized with free and immobilized thermolysin in a microaqueous system. The model peptide was formed mostly during the initial phase of the reaction. The yields of the compound with free and immobilized thermolysin after 4hr of reaction were 77.8 and 71.2, respectively.
Sn-9Zn solder balls were bonded to Cu, ENIG (Electroless Nickel/Immersion Gold) and electrolytic Au/Ni pads, and the effect of aging on their joint reliability was investigated. The interfacial products were different from the general reaction layer formed in a Sn-base solder. The intermetallic compounds formed in the solder/Cu joint were $Cu_{5}Zn_{8}$ and $Cu_{6}Sn_{5}$. After aging treatment, voids formed irregularly at the bottom side of the solder because of Sn diffusion into the $Cu_{5}Zn_{8}$ IMC. In the case of the solder/ENIG joint, $AuZn_{3}$ IMCs were formed at the interface. In the case of the Au/Ni/Cu substrate, an $AuZn_{3}$ IMC layer formed at the interface due to the fast reaction between Au and Zn. In addition, the $AuZn_{3}$ IMC layer became detached from the interface after reflow. When the aging time was extended to 100 h, $Ni_{5}Zn_{21}$ IMC was observed on the Ni substrate.
To estimate free magnetic energy stored in an active region is a key to the quantitative prediction of activity observed on the Sun. This energy is defined as an excess over the potential energy that is the lowest energy taken by a magnetic structure formed in the solar atmosphere including the solar corona. It is, however still difficult to derive the configuration of a coronal magnetic field only by observations, so we have to use some observable quantity to estimate free magnetic energy. Recently, by performing a coordinated series of three-dimensional magnetohydrodynamic simulations of an emerging flux tube that transfers intense magnetic flux to the solar atmosphere we have found an universal power-law relation between free magnetic energy and emerged magnetic flux, the latter of which is a possibly observed quantity. We further investigate what causes this relation through a comparison with a model of linear force-free field.
In order to minimize turnaround of machining in FMS lines, CAD/CAM/CAT integrated system called MascCAM was developed. Developing enhanced CAM and inspection modules in the MascCAM environment, 2D came, 2 $^{1}$2/ D prismatic parts and 3D free-formed surfaces were able to be automatically designed, manufactured and inspected on the machine tools by using AutoCAM and Z-map. Introducing Z-map technique, the MascCAM was able to be interfaceed with and CAD system. Developed QPPGT module generates a quick and fool-proof inspection work to users. A vertical and a horizontal machining center equipped with FANUC OMC were used for experiments. Performance of the system was confirmed by a large amount of experiments.
This report presents an automatic measurement method of 3-dimensional profiles of free-formed surfaces, by using a touch a touch-trigger contact probe along with a conventional coordinate measuring machine. The method proceeds in three steps; The surface profile under consideration is traced by the probe in an automatic manner, and then its measured data is compensated by considering the actual probe radius. Finally the compensated data is rearranged in the form suitable for the further processings of CAD/CAM applications. Some experimental results are discussed to verify the validity of the method suggested in this study.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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