Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PE-CVD) is a widely used technology in semiconductor manufacturing for thin film deposition. The implementation of wafer guide rings in PE-CVD processes is crucial for enhancing efficiency and product quality by ensuring uniform deposition around wafer edges and reducing particle generation. On the other hand, to prevent overall temperature non-uniformity and degradation of thin film quality within the chamber, it is essential to consider various parameters comprehensively. In this study, after applying the wafer guide rings, temperature variations and fluid flow changes were simulated. Additionally, by simulating the temperature and flow changes when applied to the PE-CVD chamber, this paper discusses the importance of optimizing variables within the entire chamber.
The resistance and recovery properties of the YBCO thin-film wire according to the existence and thickness of an insulting layer, and the kinds of stabilization layers, were analyzed at 90 K, 180 K and 250 K. In this study, YBCO thin-film wires with different stabilizing layers and with insulating layers were examined in terms of their various characteristics, such as quenching occurrence, spread, and distribution, based on their resistance increase trends and their recovery from quenching, and the results were qualitatively explained. The results of this study on the characteristics of YBCO thin-film wires' superconducting and normal-conducting phase changes are expected to be useful in designing superconducting power machines and in improving their performance.
Let M be an n-dimensional complete simply connected Riemannian manifold with sectional curvature bounded above by a nonpositive constant $-{\kappa}^2$. Using the cone total curvature TC($\Gamma$) of a graph $\Gamma$ which was introduced by Gulliver and Yamada [8], we prove that the density at any point of a soap film-like surface $\Sigma$ spanning a graph $\Gamma\;\subset\;M$ is less than or equal to $\frac{1}{2\pi}\{TC(\Gamma)-{\kappa}^2Area(p{\times}\Gamma)\}$. From this density estimate we obtain the regularity theorems for soap film-like surfaces spanning graphs with small total curvature. In particular, when n = 3, this density estimate implies that if $TC(\Gamma)$ < $3.649{\pi}\;+\;{\kappa}^2\inf\limits_{p{\in}F}Area(p{\times}{\Gamma})$, then the only possible singularities of a piecewise smooth (M, 0, $\delta$)-minimizing set $\Sigma$ are the Y-singularity cone. In a manifold with sectional curvature bounded above by $b^2$ and diameter bounded by $\pi$/b, we obtain similar results for any soap film-like surfaces spanning a graph with the corresponding bound on cone total curvature.
The electrochromic properties of tungsten oxide films grown by RF sputtering were investigated. Among the sputter parameters, first the $Ar:O_2$ ratios were controlled with division into only an $O_2$ environment, 1:1 and 4:1. The structure of each film prepared by these conditions was studied by X-ray diffraction, X-ray photoelectron spectroscopy and Rutherford backscattering spectroscopy. The sputter-deposited tungsten oxide films had an amorphous structure regardless of the $Ar:O_2$ ratios. The chemical compositions, however, were different from each other. The stoichiometric structure and low-density film was obtained at higher $O_2$ contents. Electrochemical tests were performed by cyclic voltammetry and chronoamperometry at 0.05 M $H_2SO_4$ solutions. The current density and charge ratio was estimated during the continuous potential and pulse potential cycling at -0.5 V and 1.8 V, respectively. The film grown in a higher oxygen environment had a higher current density and a reversible charge reaction during intercalation and deintercalation. The in-situ transmittance tests were performed by He-Ne laser (633 nm). At higher oxygen contents, a big transmittance difference was observed but the response speed was too slow. This was likely caused by higher film resistivity. Furthermore, the effect of sputtering pressure was also investigated. The structure and surface morphology of each film was observed by X-ray diffraction and scanning electron microscopy. A rough surface was observed at higher sputtering pressure, and this affected the higher transmittance difference and coloration efficiency.
The purpose of this study is to clarify that critical writing can be a positive stimulus factor for the cultivation of critical thinking through actual cases of writing education targeting engineering students in universities. Critical writing education is a very important way to develop critical thinking necessary for acquiring scientific knowledge, sharing social values, creativity and cultivating new production capacity. Especially, when critical writing education is performed with materials that maintain critical view of social reality such as the movie "Bowling for Columbine", it is characterized by the fact that it is naturally combined with the dimension of engineering ethics faced by engineers from the analysis and judgment of social reality. This is an example of the fact that critical thinking education for engineering students does not necessarily meet their major areas.
Leem, Hyuntae;Choi, Yong;Jung, Jiwoong;Park, Kuntai;Kim, Yeonkyeong;Jung, Jin Ho
Nuclear Engineering and Technology
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제54권7호
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pp.2592-2598
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2022
Research groups in the field of PET instrumentation are studying time-of-flight(TOF) technology to improve the signal-to-noise ratio of PET images. Scintillation light transport and collection plays an important role in improving the coincidence resolving time(CRT) of PET detector based on a pixelated crystal array. Four crystal arrays were designed by the different optical reflection configuration such as external reflectors and surface treatment on the CRT and compared with the light output, energy resolution and CRT. The design proposed in the study was composed of 8 × 8 LYSO crystal array consisted of 3 × 3 × 15 mm3 pixels. The entrance side was roughened while the other five surfaces were polished. Four sides of all crystal pixels were wrapped with ESR-film, and the entrance surface was covered by Teflon-tape. The design provided an excellent timing resolution of 210 ps and improved the CRT by 16% compared to the conventional method using a polishing treatment and ESR-film. This study provided a method for improving the light output and CRT of a pixelated scintillation crystal-based brain TOF PET detector. The proposed configuration might be an attractive detector design for TOF brain PET requiring fast timing performance with high cost-effectiveness.
최근 역사를 소재로 한 영상매체가 사람들의 관심을 많이 끌고 있다. 특히 역사드라마와 영화를 통해서 사람들은 역사에 친숙함을 느끼고 있다. 본고에서는 역사드라마와 영화의 특징을 간단히 보고, 그 한계와 비판점을 생각해보고자 한다. 또한 최근 소수의 사람들이지만 인기를 얻고 있는 리인액트먼트에 대해 간단히 알아보고 그 특징과 한계 및 비판점을 살펴보고 양 측의 관계에 대해 알아보고자 한다. 리인액트먼트를 우리말로 옮기면 '역사재현'이다. 역사재현이란 당대의 사건이나 생활상, 전투 등을 그대로 재현하는 것으로, 기본적으로 참여자는 여기에 관심이 있는 일반인들이 주를 이룬다. 역사교육에서 이러한 영상매체와 리인액트먼트 활동은 현대 대중의 관심 속에서 역사를 대중화하고 친근하게 만드는 역할을 하고 있다. 리인액트먼트는 역사드라마나 영화에 있어서 발생하는 몇 가지 제약을 해결하는데 우선적으로 비용적인 문제에서 큰 절감 효과를 노릴 수 있을 것이다.
Park, Young-Hee;Kim, Yun-Hi;Kwon, Soon-Ki;Koo, In-Sun;Yang, Ki-Yull
Bulletin of the Korean Chemical Society
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제31권6호
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pp.1649-1656
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2010
Internal reorganization energy due to the structural relaxation in hole or electron hopping mechanism is one of the measurements of key indices in designing an organic thin film transistor (OTFT) for flexible display devices. In this study, the reorganization energies of dicyanoanthracenes for the hole and electron transfer were estimated by adiabatic potential energy surface and normal mode analysis method in order to examine the effect on the energies for the positional variation of the cyano substituents in the anthracene as a protocol of acenes to design an organic field effect transistor. The reorganization energy for the hole transfer was reduced considerably upon cyanation of anthracene, especially at the 9,10-positions of anthracene, and the origin of the reduction was interpreted in terms of understanding the coupling of vibrational modes to the hole transfer.
We have investigated the effect of the ambient gases on the characteristics of AZO thin films for the OLED (organic light emitting diodes) devices. These AZO thin films are deposited by rf-magnetron sputtering under different ambient gases (Ar, Ar+$O_2$, and Ar+$H_2$) at 300. In order to investigate the influences of the oxygen and hydrogen, the flow rate of oxygen and hydrogen in argon mixing gas has been changed from 0.2sccm to 1sccm and from 0.5sccm to 5sccm, respectively. The AZO thin films were preferred oriented to (002) direction regardless of ambient gases. The electrical resistivity of AZO film increased with increasing flow rate of $O_2$ under Ar+$O_2$ while under Ar+$H_2$ atmosphere the electrical resistivity showed minimum value near 1sccm of $H_2$. All the films showed the average transmittance over 80% in the visible range. The OLED device was fabricated with different AZO substrates made by configuration of AZO/$\acute{a}$-NPD/DPVB/$Alq_3$/LiF/Al to elucidate the performance of AZO substrate.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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