RF magnetron sputtering 방식을 이용하여 직접 증착된 HfO$_2$ flim의 열처리에 따른 구조 및 전기적 특성에 관한 연구
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- Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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- 한국진공학회 2008년도 제34회 동계학술대회 초록집
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- pp.358-358
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- 2008