• 제목/요약/키워드: FESEM

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태양전지 자기세정 코팅을 위한 스퍼터링되어진 TiO2 박막의 특성

  • 박철민;정호성;이재형;박용섭
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.479.2-479.2
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    • 2014
  • 자가 세정 및 김서림 방지가 가능한 투명 코팅 소재로써 $TiO_2$ 코팅박막을 제안하였으며, $TiO_2$ 코팅박막은 스퍼터링 방식으로 제작하였다. 낮은 표면 에너지를 갖는 물질을 화학적으로 변형시키고 유리기판 위 텍스쳐링을 형성함으로써, 수분에 대해 완전히 다른 특성을 갖는 표면을 유도하며, 김서림 방지 기능과 자가세정, 그리고 높은 빛 투과 특성으로 스마트 표면 코팅을 구현할 수 있다. $TiO_2$ 자가세정 코팅기술은 설치 후 1년 안에 먼지 및 오염에 따라 최대 40%의 효율 저하가 나타나는 태양전지, 디스플레이 패널 분야에서 매우 중요한 요소로 자리 잡을 것으로 기대되어진다. 본 연구에서는 $TiO_2$ 세라믹 타겟이 부착된 비대칭 마그네트론 스퍼터링 장치를 이용하여 $TiO_2$ 박막을 증착하였으며 증착되어진 $TiO_2$ 박막의 광촉매 특성과 트라이볼로지 특성을 고찰하였다. 광촉매 특성으로는 표면 접촉각 분석을 통하여 고찰하였으며, 트라이볼로지 특성으로는 경도, 잔류응력, 마찰계수, 표면 거칠기 등을 평가하였다. 또한 XRD, FESEM 분석등 구조분석을 통하여 광촉매 특성과 트라이볼로지 특성등과의 연관성을 규명하였다.

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Copper Paste 소성거동과 전기적 특성의 상관관계

  • 공달성;한길상;진영운;정현석
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.206.1-206.1
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    • 2014
  • 최근 전자 장비의 금속 전도성 패턴 제작에 있어서 직접적인 프린트가 가능한 프린팅 기술이 기존의 복잡한 photolithography 를 대체할 기술로 주목 받고 있다. 이와 함께 금속 전도성 패턴 제작에 사용되는 고가의 전도성 물질인 Ag ink 및 paste 를 저가의 Cu ink 및 paste 로 대체하기 위한 연구가 진행되고 있다. 하지만 일반적으로 copper 는 대기 중 에서 쉽게 산화되어 높은 저항을 야기시킨다. 따라서 Cu ink 또는 paste 를 제작할 때 copper nanoparticles 을 유기 용매에 분산하여 inert atmosphere에서 합성하거나 [1] copper ink 또는 paste 를 substrate 에 프린트하여 reduction atmosphere 에서 소성시킨다 [2]. 이번 연구에서 Cu paste 를 유리 기판에 screen printing 하여 혼합가스(질소 95%, 수소 5%)와 질소 가스 분위기에서 소성하여 Cu 전극의 소성 거동과 전기적 특성을 분석하였다. 4-point probe를 통해 소성된 Cu 전극의 저항을 측정하여 전도도를 조사하였으며 Thermal Gravimetric Analysis (TGA), Fourier Transform Infrared(FTIR)를 통해 소성된 Cu 전극의 유기물 분해가 전도도에 미치는 영향을 분석하고 Field Emission Scanning Electron Microscopy (FESEM)과 High Resolution Transmission Electron Microscopy (HRTEM)을 통해 Cu nanoparticles 의 grain growth가 전도도에 미치는 영향을 조사하였다.

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인가된 압력에 의한 탄소나노튜브 전극 특성 향상

  • 전주희;최지혁;문경주;강윤희;이태일;명재민
    • 한국재료학회:학술대회논문집
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    • 한국재료학회 2010년도 춘계학술발표대회
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    • pp.57.2-57.2
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    • 2010
  • 대표적인 투명 전극 재료indium tin oxide(ITO)의 경우, 우수한 투과성과 낮은 면저항을 기반으로 차세대 디스플레이용 전극으로 각광 받고 있다. 하지만 제조 단가가 높으며 brittle 하여 유연 디스플레이에 적용이 어려우며 대면적 제조가 어렵다는 단점이 있어 이를 대체할 수 있는 새로운 물질이 필요한 실정이다. 대표적인 후보 물질로는 탄소 육각형이 서로 연결된 관 형태인 탄소나노튜브가 있으며 뛰어난 전기 전도도와 물리적 특성을 투명 전극에 적용하기 위한 연구가 활발히 진행 중이다. 본 연구에서는 탄소나노튜브 투명 전극 제조 시 잔여 분산제 제거 및 doping의 효과를 위해 수행되는 산처리 공정을 하지 않고 투명 전극의 특성을 향상 시키는 연구를 진행하였다. 제작된 박막에 압력을 인가하여 탄소나노튜브 네트워킹의 향상과 두께의 감소를 얻을 수 있었다. 실험에 사용된 탄소나노튜브는 아크 방전 공정으로 합성된 2nm의 single wall 탄소나노튜브이며 이를 분산제인 sodium dodecyl sulfate(SDS)에 분산하여 용액형태로 제작하여 사용하였다. 분산제를 제거하기 위해 탈이온수를 사용하였으며 고분자 mold를 사용하여 압력을 인가하여 그에 따른 전기적, 광학적 변화를 관찰하였다. 제조된SWCNT 박막은 four point probe measurement를 이용하여 sheet resistance를 측정하였고 UV-vis를 이용하여 투과도와 반사도 등의 광학적 특성을 측정하였다. 박막의 표면은 field emission scanning electron microscope (FESEM)과 Atomic force microscope(AFM)를 이용하여 관찰하였다.

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기계적으로 연마한 GaN 분말로부터 열처리 분위기를 달리한 $\beta$-$Ga_2$$O_3 나노벨트 및 나노입자의 합성 (Synthesis of $\beta$-$Ga_2$$O_3 Nanobelts and Nanoparticles from Mechanically Ground GaN Powders with Different Thermal Annealing Atmospheres)

  • 김병철;선규태;박광수;임기주;노태용;남산;성만영;김상식
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제14권12호
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    • pp.965-971
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    • 2001
  • $\beta$-Ga$_2$O$_3$ nanobelts and nanoparticles were synthesized from mechanically ground GaN powders with thermal annealing in a nitrogen atmosphere and an oxygen atmosphere, respectively. The study of field emission scanning electron microscopy (FESEM) on the microstructures of nanomaterials revealed that the nanobelts synthesized in the nitrogen atmosphere are with the range of 20~1000nm width and 10 ~100nm thickness, and that nanomaterials are nanoparticles with 20~50nm radius obtained by thermal annealing in an oxygen atmosphere. The crystal structure of the $\beta$-Ga$_2$O$_3$ nanobelts and nanoparticles was in this study investigated by X-ray diffractometer (XRD) and high-resolution transmission electron microscope (HRTEM). The formation processes of the nanobelts and nanoparticles will be discussed in this paper.

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열처리 본딩 기술을 이용한 Al6061/Al6061 및 Al6061/Sus304의 기계적 및 전기적 특성에 관한 실험적 연구 (An Experimental Study on Electrical and Mechanical Characteristics of Al6061/Al6061 and Al6061/Sus304 by Using Thermal Bonding Technology)

  • 유충준;정원채
    • 한국표면공학회지
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    • 제41권6호
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    • pp.325-330
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    • 2008
  • Al6061 and Sus304 materials are bonded by using thermal bonding technology. Al6061, Sus304 and thermal bonded Al6061/Al6061 and Al6061/Sus304 materials are characterized by using mechanical and electrical measurement. Especially the experimental characteristic data of thermal bonded Al6061/Al6061 and Al6061/Sus304 are not well known until today. We have investigated on Al6061, Sus304 and thermal bonded material. The thermal bonded material Al6061/Al6061 and Al6061/Sus304 can be used for the LCD frame and the other electrical products. For the future, we expect that the more various experiments should be needed to carry out for the data accumulation in the bonded new materials.

평직 탄소섬유의 플라즈마 처리 및 이에 따른 탄소섬유/에폭시 복합재의 마모 특성 (Effect of Plasma Modification of Woven type Carbon Fibers on the Wear Behavior of Carbon Fiber/Epoxy Composites)

  • 이재석;이경엽
    • 한국정밀공학회지
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    • 제27권12호
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    • pp.113-118
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    • 2010
  • For a present study, woven type carbon fibers were surface-modified by oxygen plasma to improve adhesive strength between carbon fibers and epoxy. The change of hydrophilic properties by the plasma modification was investigated through the contact angle measurement and the calculation of surface energy of carbon fiber due to the oxygen plasma modification. FESEM and XPS analyses were performed to study the chemical and physical changes on the surface of carbon fibers due to the oxygen plasma modification. Pin-on-disk wear tests were conducted under dry condition using unmodified and plasma-modified carbon/epoxy composites to investigate the effect of plasma modification on the wear behavior of woven type carbon/epoxy composites. The results showed that the friction coefficient and the wear rate of plasma-modified carbon/epoxy composites were lower than those of unmodified carbon/epoxy composites, respectively. XPS analysis showed that new functional group of a carbonyl type was created on the carbon fibers by the $O_2$ plasma treatment, which enhanced adhesive strength between carbon fibers and epoxy, leading to improve wear properties

Self-Assembly Monolayers 처리 공정이 블록 공중합체를 이용한 나노패턴 제조에 미치는 영향

  • 황영현;권순묵;김영환;조원주;김용태
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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    • pp.339-339
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    • 2011
  • 기존의 광학리소그래피방법으로는 나노크기의 패턴을 형성하는데에 있어서 많은 제약이 있으며, 사실상 수십나노크기의 패턴을 형성하는데에는 전자빔리소그래피등 새로운 패턴형성 방법이 요구되고 있다. 블록 공중합체를 이용한 나노 패턴은 서로 다른 화학적 구조를 가지는 고분자들이 공유결합으로 연결되어 있는 분자구조를 이용하여, 하나의 분자 내에 서로 다른 블록들이 상분리를 일으키려는 것과 동시에 이들의 공유결합으로 인해 그 정도가 제한되는 것을 이용하여 라멜라, 실린더, 구 등의 주기적으로 배열된 형태의 구조물을 형성하는 패터닝 기술이다. 블록 공중합체를 이용한 나노크기의 패턴 형성은 열역학적으로 안정적인 구조이며, 대면적으로 구현 할 수 있어서 차세대 소자제작을 위한 제작기술로 많은 관심을 가지고 있다. 하지만 블록공중합체를 이용한 나노패턴 기술은 선행적으로 나노구조체를 결함이 없고, 원하는 형태로 제작 할 수 있는 공정의 확립이 필요하다. 따라서 본 연구에서는, 이러한 블록 공중합체을 이용한 나노패턴을 제조하는 공정에서, 폴리스틸렌과 실리콘 산화물 박막과의 표면반응을 막기 위한 Self-Assembly Monolayers (SAMs) 처리 공정이 패턴 형성에 미치는 영향을 알아보기 위하여 MPTS의 농도 및 처리시간을 변화시켰다. 나노패턴을 분석, 확인하기 위하여 Atomic Force Microscopic (AFM)과 Field Emission Scanning Electron Microscope (FESEM)을 이용하였다.

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RF 스퍼터링으로 증착된 하이드록시아파타이트 박막의 ESCA 분석 (The ESCA Analysis of Hydroxyapatite Thin Films Deposited by RF Sputtering)

  • 정찬회;이준희;김순국;김명한;유재근;김승언
    • 한국재료학회지
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    • 제16권4호
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    • pp.264-271
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    • 2006
  • RF sputtering process was applied to produce thin hydroxyapatite(HAp) films on Ti-6Al-4V alloy substrates. The effects of different heat treatment conditions on the chemical composites between HAp thin films and Ti-6Al-4V alloy substrates were studied. After deposition, the HAp thin films were heat treated for 1h at $400^{\circ}C,\;600^{\circ}C\;and\;800^{\circ}C$ under the atmosphere, and analyzed O/M, FESEM-EDX and ESCA, respectively. Experimental results represented that interface of HAp thin films and Ti-6Al-4V alloy substrates was composed Ti-OH, TiO, TiN, $Al_2O_3,\;V_2O_3,\;VO_2$. pyrophosphate and decreased carbide followed by the increase of heat treatment temperature.

산화구리 나노선 센서의 황화수소 감지특성 (Detection of H2S Gas with CuO Nanowire Sensor)

  • 이동석;김도진;김효진
    • 한국재료학회지
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    • 제25권5호
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    • pp.238-246
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    • 2015
  • $H_2S$ is a flammable toxic gas that can be produced in plants, mines, and industries and is especially fatal to human body. In this study, CuO nanowire structure with high porosity was fabricated by deposition of copper on highly porous singlewall carbon nanotube (SWCNT) template followed by oxidation. The SWCNT template was formed on alumina substrates by the arc-discharge method. The oxidation temperatures for Cu nanowires were varied from 400 to $800^{\circ}C$. The morphology and sensing properties of the CuO nanowire sensor were characterized by FESEM, Raman spectroscopy, XPS, XRD, and currentvoltage examination. The $H_2S$ gas sensing properties were carried out at different operating temperatures using dry air as the carrier gas. The CuO nanowire structure oxidized at $800^{\circ}C$ showed the highest response at the lowest operating temperature of $150^{\circ}C$. The optimum operating temperature was shifted to higher temperature to $300^{\circ}C$ as the oxidation temperature was lowered. The results were discussed based on the mechanisms of the reaction with ionosorbed oxygen and the CuS formation reaction on the surface.

The Characteristic of Titanium Composites Including of Nano-sized TiNx for Stack Separator

  • Park, Sung-Bum;Ban, Tae-Ho;Woo, Heung-Sik;Kim, Sung-Jin
    • 한국분말재료학회지
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    • 제17권2호
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    • pp.123-129
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    • 2010
  • The fabrication of interconnect from titanium powders and $TiN_x$ powders is investigated. Corrosion-resistant titanium and $TiN_x$ are used as reinforcement in order to reveal high heat and corrosion resistance at the elevated temperature. We fabricated the plates for interconnect reinforced with $TiN_x$ by mixing titanium powders with 10 wt.% of nano-sized $TiN_x$. Spark Plasma Sintering (SPS) was chosen for the sintering of these composites. The plate made of titanium powders and $TiN_x$ powders demonstrates higher corrosion resistance than that of the plate of titanium powders alone. The physical properties of specimens were analyzed by performing hardness test and biaxial strength test. The electrochemical properties, such as corrosion resistance and hydrogen permeability at high temperature, were also investigated. The microstructures of the specimens were investigated by FESEM and profiles of chemical compositions were analyzed by EDX.