$p^+-n$ 박막접합 형성방법과 열처리 모의 실험을 위한 시뮬레이터 개발에 관한 연구
(A Study on the Shallow $p^+-n$ Junction Formation and the Design of Diffusion Simulator for Predicting the Annealing Results)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2005년도 하계학술대회 논문집 Vol.6
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- pp.115-117
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- 2005