$SiH_4$ + Ar 가스의 전자평균에너지 및 전자에너지분포함수 해석
(The Analysis of the Electron Mean Energy and Electron Energy Distribution Function in $SiH_4$ + Ar gas)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 1999년도 하계학술대회 논문집 E
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- pp.2341-2344
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- 1999