• 한국진공학회지
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• 제17권2호
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• pp.165-169
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• 2008

반도체 소자공정에서 균일한 두께의 금속박막을 증착하는 것은 매우 중요하다. 기존의 기판고정식 sputtering 장비로 증착한 indium tin oxide(ITO)박막의 두께 균일도가 $\pm4%\sim\pm5%$ 정도로 중앙부분이 더 두껍다. 방전전극 구조물을 설계하고 제작하여 sputtering되는 물질의 방향을 조절하였다. 개량된 sputtering gun을 사용하여 기판고정식 sputtering 장비에서 4" wafer 내에서 $\pm0.8\sim1.3%$ 정도로 두께 균일도를 증가시켰다. wafer to wafer에서는 $\pm$5.3%에서 $\pm$1.5%로 두께 균일도가 향상되었다. Al박막의 경우 $\pm$1.0% 이내의 두께 균일도를 얻을 수 있었다.

• 한국정보과학회논문지:소프트웨어및응용
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• 제34권10호
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• pp.929-936
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• 2007

본 논문에서는 교통 모니터링 시스템에 사용할 수 있는 국부 영역에서 차량 검지와 추적을 수행하는 새로운 기법을 제안하다. 차량 검지와 추적은 각 차선에 미리 설정된 영역에서만 이루어진다. 각 차선에 설정된 국부 영역을 에지 특성과 프레임 차이를 이용하여 여러 개의 분할 영역으로 나누고 분할영역의 통계적 특성과 기하학적 특성에 의해 차량, 도로, 그림자와 전조등 영역으로 분류하여 차량을 검출한다. 검출된 차량은 에지 영상의 정합에 의해 국부 영역내에서 추적하여 차량 속도, 길이, 차간 거리와 도로 점유율과 같은 교통 정보를 산출할 수 있다. 배경 영상을 사용하지 않으므로 다양한 조건에서 사용이 가능하고 다양한 기상, 시간대와 장소에서 90.16%의 높은 차량 검출의 정확도를 나타냈다. 동작 환경에서 카메라의 각도, 방향과 조리개 설정이 조정되면 아주 높은 정확도의 교통 모니터링 시스템의 핵심기술로 사용될 수 있을 것으로 기대된다.

• KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications
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• 제2C권6호
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• pp.314-320
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• 2002

Three different ZnO nanomaterials (nanobelts, nanorods, and nanowires) were synthesized at 138$0^{\circ}C$ from ball-milled ZnO powders by a thermal evaporation procedure with an argon carrier gas without any catalysts. Transmission electron microscopy (TEM) revealed that the ZnO nanobelts are single crystalline with the growth direction perpendicular to the (010) lattice plane, and that the ZnO nanorods and nanowires are single crystalline with the growth directions perpendicular to the (001) and (110) lattice Planes, respectively. In cathodoluminescence (CL), the energy Position of the near band-edge (NBE) peak is 3.280 eV for the 100-, 250-, and 500-nm thick nanobelts, 3.262 eV for the 100- and 250-nm thick nanorods, and 3.237 eV for the 500-nm thick nanorods. The synthesized ZnO nanorods were coated conformally with aluminum oxide (Al$_2$O$_3$) material by atomic layer deposition (ALD). $Al_2$O$_3$films were then deposited on these ZnO nanorods by ALD at a substrate temperature of 300 $^{\circ}C$ using trimethylaluminum (TMA) and distilled water ($H_2O$). Transmission electron microscopy (TEM) images of the deposited ZnO nanorods revealed that 40nm-thick $Al_2$O$_3$ cylindrical shells surround the ZnO nanorods.

• 대한토목학회논문집
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• 제8권2호
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• pp.67-76
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• 1988

본(本) 연구(硏究)에서는 아라비아만(灣)(페르시아만(灣))의 기본적(基本的)인 조석역학(潮汐力學)을 연구(硏究)하기 위한 2차원(次元) 조석수치(潮汐數値) 모델을 수립(樹立)하였다. 모델외해경계(外海境界)는 만동측(灣東側)의 육붕단(陸棚端)에 위치(位置)하며 위도상(緯度上) $1/12^{\circ}$, 경도상(經度上) $1/10^{\circ}$의 격자해상도(格子解像度)를 갖는다. 수립(樹立)된 모델은 $M_2$, $S_2$, $K_1$, $O_1$ 및 $N_2$ 분조(分潮)의 분포(分布)를 조사(調査)하기 위해 일차적으로 이용(利用)되었는데 외해개방경계조건(外海開放境界條件)은 Schwiderski의 해양조석(海洋潮汐) 모델로부터 취하였다. 주분조(主分潮)의 독립적(獨立的)인 등진폭(等振幅)과 등위상도(等位相圖)가 제시(提示)되었으며, 기존영국수로부(旣存英國水路部)의 조석도(潮汐圖)와도 비교검토(比較檢討)되었다. $M_2$분조(分潮)와 $M_4$분조(分潮)에 의한 반일주기(半日週期)의 최대해저응력(最大海底應力)벡터가 이 해역(海域)의 토사이동(土砂移動) 방향(方向)을 추정(推定)하기 위해 제시(提示)되었다.

• 대한의용생체공학회:의공학회지
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• 제36권4호
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• pp.109-114
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• 2015

In this study, joint angles of the lower extremity and tibial acceleration and angular velocity were measured during a snowboard simulator exercises in order to evaluate the skill of snowboarders. Ten unskilled and ten expert snowboarders were recruited for the study. A three-dimensional motion capture system and two inertial sensor modules were used to acquire joint movements, acceleration and angular velocity of the lower extremities during snowboard simulator exercises. Pattern variations were calculated to assess variations in the snowboard simulator motion of unskilled and expert snowboarders. Results showed that expert snowboarders showed greater range of motion in joint angles and greater peak to peak amplitude in acceleration and angular velocity for tibia than unskilled snowboarders. The unskilled snowboarders did not show symmetrical shape(same magnitude but opposite direction) in tibial angular velocity during two edge turns in snowboard simulator exercises. The expert snowboarders showed smaller pattern variations for joint angle of lower extremity, tibial acceleration and tibial angular velocity than unskilled snowboarders. Inertial sensor data and pattern variations during the snowboard simulator exercises could be useful to evaluate the skill of snowboarders.

• 대한기계학회논문집A
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• 제37권10호
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• pp.1269-1278
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• 2013

엔드밀링 공정은 형상창성기구의 특성 상, 절삭면적의 주기적인 변화를 피할 수 없다. 그러므로, 본 연구에서는, 가공 중 절삭날과 공작물 사이의 간섭영역에 해당하는 절삭면적의 모델을 확립하여, 가공면 형상 특성과 절삭면적의 관계를 규명하고자 한다. 대상 가공면은 측벽을 선정하였으며, 형상 특성은 축 방향 진직도를 선택하였다. 절삭면적 및 축방향 진직도에 영향을 미치는 특이점 추정 모델의 타당성은 반경 방향 및 축 방향 절삭깊이를 변화시키며 엔드밀링 가공을 수행하여 검증하였다. 연구 결과, 배분력이 음의 값을 갖지 않는 안정적인 엔드밀링 가공의 경우, 상향절삭은 절삭면적이 증가했다. 일정해지는 영역에서, 하향절삭은 절삭면적이 일정했다 감소하는 영역에서 가공면을 창성하며, 영역이 변화될 때 가공면에 특이점이 발생하는 것이 확인되었다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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• pp.146-146
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• 2011

The blue light emitting diode (LED) structure based on non-polar a-plane (11-20) GaN which was coated TiO2 nanoparticles using spin coating method was grown on r-plane (1-102) sapphire substrates to improve light extraction efficiency. We report on the emission and structural properties with temperature dependence of photoluminescence (PL) and x-ray rocking curves (XRC). From PL results at 13 K of undoped GaN samples, basal plane stacking fault (BSF) and near band edge (NBE) emission peak were observed at 3.434 eV and 3.484 eV, respectively. We also found the temperature-induced band-gap shrinkage, which was fitted well with empirical Varshini's equation. The PL intensity of TiO2 nanoparticles ?coated multiple quantum well (MQW) sample is decayed slower than that of no coating sample with increasing temperature. The anisotrophic strain and azimuth angle dependence in the films were shown from XRC results. The full width at half maximum (FWHM) along the GaN [11-20] and [1-100] directions were 564.9 arcsec and 490.8 arcsec, respectively. A small deviation of FWHM values at in-plane direction is attributed to uniform in-plane strain.

• 한국재료학회지
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• 제13권6호
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• pp.369-373
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• 2003

Magneto-optic Kerr Effect(MOKE), AFM and magnetoresistance measurements have been carried out on as-deposited and annealed Magnetic Tunnel Junctions(MTJs) with junction sizes 180, 250, 320 and 380 $\mu\textrm{m}$ in order to investigate the correlation among interlayer exchange coupling, surface roughness and junction size. Relatively irregular variations of coercivity $H_{c}$ (∼17.5 Oe) and interlayer exchange coupling $H_{E}$ (∼17.5 Oe) are observed over the junction in as-deposited sample prepared by DC magnetron sputtering. After annealing at $200^{\circ}C$, $H_{c}$ decreases to 15 Oe, while $H_{ E}$ increases to 20 Oe with smooth local variation. $H_{E}$ shows very good correlation with surface roughness across the junction in agreement with Neel's orange peel coupling. The increasing slope per $\mu\textrm{m}$ of normalized $H_{c}$ and $H_{E}$ are same near junction edge along free-layer direction irrespective of junction size, giving relatively uniform $H_{c}$ and $H_{ E}$ for wider junction size. Thickness profiles of the junctions measured with $\alpha$-step show increasingly flat top surface for larger junctions, indicating better uniformity for large. junctions in agreement with the normalized$ H_{c}$ and H$/_{E}$ curves. TMR ratios also increase with increasing junction size, indicating improvement for larger uniform junctions.

• 한국항공우주학회지
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• 제44권6호
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• pp.477-483
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• 2016

본 연구는 Particle Image Velocimetry(PIV) 기법을 이용하여 마하수 2.96의 평판에 대해 층류, 천이, 난류 경계층의 속도 분포를 측정하였다. Schlieren 가시화 기법과 PIV 기법을 이용하여 앞전에서 발생한 경사 충격파가 평판 위의 유동장에 영향을 주는지 확인하였다. 층류 경계층의 경우, 실험에서 측정한 속도 분포가 압축성 Blasius 속도 분포를 만족하였다. 천이 경계층의 속도 분포는 벽면 부근부터 이론적인 난류 속도 분포로 변했으며, Re = $1.41{\times}10^6$에서 천이가 시작되었다. 난류 경계층 영역에서는 압축성 효과를 고려한 Van Driest 변환 속도가 비압축성 로그 법칙을 만족하였다. 또한 로그 구간이 끝나는 위치($y/{\delta}{\approx}0.28$)가 비압축성 난류 경계층($y/{\delta}{\approx}0.2$)에 비해 벽면에서 더 멀어진 것을 확인하였다.

• 자원ㆍ환경경제연구
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• 제12권2호
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• pp.347-382
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• 2003

본 연구에서는 한국에서 생태적 산업개발을 추진할 경우에 선택할 수 있는 유형을 제시하고 있다. 즉, (1) 다양한 업종으로 구성된 생태산업단지 또는 생태산업 네트워크, (2) 클러스터와 제로 에미션 개념의 결합에 의한 부산물 교환 시스템, (3) 동종 산업으로 구성된 산업 단지에서의 제로 에미션 추구, (4) 포괄적인 지역개발 프로젝트로서의 EID 등이다. 국내에서 자원순환형 경제개발 정착을 위한 우선적 과제는 산업체들로 하여금 현재의 관행을 벗어나서 다른 기업과의 공생적 관계를 적극 모색하여 부산물교환을 촉진하는 제도적 여건을 조성하는 것, 산업체들이 부산물 활용 네트워크를 조직하는데 필요한 자금지원과 인센티브 도입, 부산물 교환을 위한 시장의 창출에 기여하는 정보네트워크의 구성, 산업체의 환경관련 교육 강화 등이다.