$Moir{\acute{e}}$ 무늬를 이용한 미세 구조물의 평면 움직임 측정에 관한 연구
(A Study on the In-plane Motion Measurement of Microstructure using $Moir{\acute{e}}$ Pattern)
-
- 대한전기학회:학술대회논문집
- /
- 대한전기학회 1997년도 추계학술대회 논문집 학회본부
- /
- pp.659-661
- /
- 1997