유도 결합 BCl$_{3}$ /Cl$_{2}$ 플라즈마내에서 Pt 박막의 건식 식각
(Dry etching of pt thin film in inductive coupled BCl$_{3}$ /Cl$_{2}$ plasmas)
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- 대한전자공학회:학술대회논문집
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- 대한전자공학회 1998년도 하계종합학술대회논문집
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- pp.375-378
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- 1998