Generally, non-uniformity and removal rate are important factors on measurements of both wafer and die scale. In this study, we verify the effects of the pressure and relative velocity on the results of the chemical mechanical polishing and the effect of pattern density on inter layer dielectric chemical mechanical polishing of patterned wafer. We suggest an appropriate modeling equation, transformed from Preston\`s equations which was used in glass polishing, and simulate the removal rate of patterned wafer in chemical mechanical polishing. Results indicate that the pressure and relative velocity are dominant factors for the chemical mechanical polishing and pattern density effects on removal rate of pattern wafers in die scale. The modeling is well agreed to middle and low density structures of the die. Actually, the die used in Fab. was designed to have an appropriate density, therefore the modeling will be suitable for estimating the results of ILD CMP.
In this paper, the design and implementation of a multiprocessor based Die Bonder Machine for the semiconductor will be described. This the partial research result, that is, the 1st year portion of the project to be performed for a period of two years from June, 1986 to May, 1988. The mechanical system consists of the following three subsystems : (i) transfer head unit, (ii) die feeding XY-table unit, and (iii) plunge up unit. The overall control system is designed to be essentially a master-slave type in which each slave is functionally fixed in view of software and also the time shared common bus structure with hardwired bus arbitration scheme is utilized, the control system consists of the following three subsystems each of which employs a 16 bits microprocessor MC 68000 : (i) die bonder processor controller, (ii) visual recognition/inspection and display system, (iii) the servo control system. It is reported that the proposed control system were applied to Working Sample and tested in real system, and the results are successful as a working sample phase.
한국분말야금학회 2006년도 Extended Abstracts of 2006 POWDER METALLURGY World Congress Part 1
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pp.199-200
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2006
PM recent developments focus on increasing this technology's competitiveness when compared to wrought materials. Warm compaction allows the replacement of a double press double sinter process with a single warm press and sintering step, thus allowing cost and time savings. Moreover there are added benefits to consider such as reducing work in process and lessening part's logistics cost. This paper presents a successful industrial trial to replace a double press-double sinter process with a warm die compaction and sintering process. The part chosen was a high performance gear containing 0,9% wt. carbon. Sintering was conducted in a belt furnace at $1120^{\circ}C$ in a nitrogen rich atmosphere with rapid cooling process in order to obtain a quasi fully martensitic structure with a minimum of 700HV0,1 and 450HV10 after annealing. The balance between properties and cost is favoured by the use of a singular lubricant developed in a Eureka frame project together with POMETON S.A. and die warm compaction. Warm compaction is only needed to be effective on the gear teeth, in order to achieve the required properties. Therefore only the die is actually heated. This simplified system avoids flow rate problems typically involved when using more elaborate warm compaction equipments.
Al-Zn based alloys are the most common types of wrought Al alloys. Although Al-Zn alloys have high strength, they cannot be applied to a conventional casting process. In this study, Al-Zn-based alloys applicable to a die casting process were developed successfully. The developed Al-45 wt% Zn-based alloys showed a fine equiaxed grain structure and high strength. A fine equiaxed grain having an average size of $25{\mu}m$ was obtained by the die casting process. The UTS and elongation of the new alloy are 475 MPa and ~3.5%, respectively. In addition, we elucidate the effect of a Zn addition on variations in different mechanical properties and the microstructure characteristics of (Al96.3-xZnxCu3Si0.4Fe0.3) x=20, 30, 40, and 45 wt% alloys fabricated by a die casting process.
The fabrication process of micro pattern structure with high precision and high aspect ratio using powder injection molding (PIM) is developed. In the PIM process, the metal powder is mixed with the binder systems and the mixture is injected into the metal mold. The injection molded green parts are debinded and sintered to reach final shape and properties. In this method, the optimization of physical properties such as fluidity and strength of the binder system is essential for perfect filling the high aspect ratio micro-pattern. For this purpose, the correlation between the properties of the binder system and feedstock and ${\mu}-PIM$ process was investigated, and a binder system with low viscosity at low temperature(about $110^{\circ}C$) and high strength after cooling was investigated and applied. Employing this process, high precision parts with line type micro pattern structure which has pattern size $160{\mu}m$ and aspect ratio more than 2 can be manufactured.
Increased demand for parts with micro-pattern structure made of metals, ceramics, and composites in various fields such as medical ultrasonic sensors, CT collimators, and ultra-small actuator parts. Micro powder injection molding (PIM) is a technology for manufacturing micro size, high volume, complex, precision, net-shape components from either metal or ceramic powder. In the present study, a standard mold with a variable insert core capable of producing various micro patterns was investigated. An injection molding test was performed on a standard mold using a line type micro-pattern core having an aspect ratio of 2, a slenderness ratio of 70, a pattern size of $200{\mu}m$, and a pattern spacing of $150{\mu}m$. During the filling process, the deformation of the mold with large aspect ratio and slenderness ratio was analyzed by the experiment and the numerical simulation according to the position of the gate. We proposed a mold structure that minimizes mold deformation by gate modification and enables uniform pattern filling behavior.
A lot of research is being done on metal materials to improve the lifespan of molded parts. As a result, excellent mold materials have been developed that withstand high hardness at high temperatures and frictional heat generated from high-speed cutting. In this study, the press mold life of powder high-speed tool steel and general high-speed tool steel was compared. Powdered high-speed steel is composed of alloying elements such as tungsten, maldividene, cobalt, chromium, and vanadium in steel, which improves wear resistance compared to high-hardness and high-speed tool steels. The mold parts of both steel types were manufactured in the same way from heat treatment to machining, and the powder high-speed tool steel was 66HRC and the high-speed tool steel was 61HRC. As a result of the experiment, it was observed that the number of punching of powder high-speed tool steel was improved by 40-50%, and powder high-speed tool steel had fewer impurities, uniform texture, and excellent surface structure. It has a microscopic structure.
In this paper, we analyzed weak points of press process with the rolled thin flexible plate. The problems which are caused by the adhesion of blank on the surface of die and the separation of blank from scrap during its transportation after blanking were solved by the redesign of the structure of die and the development of special equipment for material handling. It is our purpose to make better the automation of blanking process and the safety for worker by the improvement of flexible material handling.
In this experimental study,aluminum hotforging was conduct to get superior pistion to cast piston. Cast structure of billet is destroyed, harmful defects is removed by forging process. We proposed the direction od die design by observing formability of product according to die shape. The microstructure of forged products with different preform was investigated to determine inital billet shape. We proposed appropriate heat treatment condition for improvement of mechanical properties.
Die finishing (polishing and lapping) after NC machining is characterized as one bottleneck process for reducing lead time. For automation of this typical manual work, a flexible polishing tool system using industrial robot has been developed. This tool system has three principal functions in order to achieve reduction of waviness, 3 D.O.F. compliance and constant pressure structure. This polishing tool shows that adaptability to free form surface is increased and programmability to various areas of die surface is also acquired.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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