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Sol-gel법에 의해 제조된 강유전체 $Bi_{3.15}La_{0.85}Ti_3O_{12}$ 박막의 결정 배향성 조절 (Crystallographic orientation modulation of ferroelectric $Bi_{3.15}La_{0.85}Ti_3O_{12}$ thin films prepared by sol-gel method)

  • 이남열;윤성민;이원재;신웅철;류상욱;유인규;조성목;김귀동;유병곤
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2003년도 하계학술대회 논문집 Vol.4 No.2
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    • pp.851-856
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    • 2003
  • We have investigated the material and electrical properties of $Bi_{4-x}La_xTi_3O_{12}$ (BLT) ferroelectric thin film for ferroelectric nonvolatile memory applications of capacitor type and single transistor type. The 120nm thick BLT films were deposited on $Pt/Ti/SiO_2/Si$ and $SiO_2/Nitride/SiO_2$ (ONO) substrates by the sol-gel spin coating method and were annealed at $700^{\circ}C$. It was observed that the crystallographic orientation of BLT thin films were strongly affected by the excess Bi content and the intermediate rapid thermal annealing (RTA) treatment conditions regardeless of two type substrates. However, the surface microstructure and roughness of BLT films showed dependence of two different type substrates with orientation of (111) plane and amorphous phase. As increase excess Bi content, the crystallographic orientation of the BLT films varied drastically in BLT films and exhibited well-crystallized phase. Also, the conversion of crystallographic orientation at intermediate RTA temperature of above $450^{\circ}C$ started to be observed in BLT thin films with above excess 6.5% Bi content and the rms roughness of films is decreased. We found that the electrical properties of BLT films such as the P-V hysteresis loop and leakage current were effectively modulated by the crystallographic orientations change of thin films.

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퍼플골드를 위한 열증착법으로 제조된 Au-Al 합금 박막의 물성연구 (The Properties of Au-Al Alloy Thin Films with a Thermal Evaporator for Purple Gold)

  • 김준환;송오성
    • 한국진공학회지
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    • 제17권5호
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    • pp.466-472
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    • 2008
  • 퍼플골드는 78wt%Au-22wt%Al로 이루어진 합금으로 화학식은 $AuAl_2$로 표현된다. 최근 화이트골드, 핑크골드와 더불어 특유의 적자색 (보라색)이 나는 유색골드의 하나로 장신구나 의장용 소재로 활용되고 있다. 퍼플골드는 Au와 Al의 중간상으로 연성과 주조성이 나쁜 특성이 있어 단조와 주조작업을 통하여 원하는 형상의 퍼플골드를 얻기 힘든 단점이 있다. 따라서 절단과 연마공정만으로 최종제품을 제작하거나 박막으로 증착하여 의장용 소재로 활용하는 것이 가능하다. 본 연구는 순수한 Au와 Al을 소오스로 각각 200nm$SiO_2$/Si기판에 78:22의 무게비로 증착시킨 후 열처리를 시행한 경우와, $AuAl_2$를 용융을 통하여 벌크형으로 얻은 후 이를 소오스로 사용하여 유리기판에 기판온도를 상온으로 유지하면서 진공증착을 통하여 표면처리를 한 경우로 나누어 실험을 진행하였다. 완성된 시편은 육안검사, 미세구조분석, 면저항분석, 색차분석, XRD 분석을 통하여 증착된 퍼플골드의 색과 두께를 위주로 한 물성을 측정하였다. 12.5nmAu/40nmAl/200nm$SiO_2$/Si 구조로 제작하고 열처리 한 경우 과도한 표면응집현상이 일어나면서 퍼플골드가 형성되지 않았다. $AuAl_2$ 소오스로부터 직접 열증착한 경우는 벌크상태와 동일한 적자색을 보였으며 퍼플골드의 의장용으로서 심미적 기능이 가능한 것으로 판단되었다.

알카자이트 수복재와 자이오머의 상아질 접착제를 투과하는 불소 유리 평가 (Assessment of Fluoride Release through Dentin Adhesive in the Alkasite Restorative Material and Giomer)

  • 김해니;박호원;이주현;서현우
    • 대한소아치과학회지
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    • 제48권4호
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    • pp.367-375
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    • 2021
  • 이 연구의 목적은 알카자이트 수복재와 자이오머에서 방출되는 불소가 상아질 접착층을 투과하는 유리되는 양을 측정하고 비교하는 것이었다. 알카자이트 수복재와 자이오머 및 불소 미함유 복합레진의 시편을 각 재료 당 20개씩 제작하여 그 중 10개의 시편에 상아질 접착제를 도포하였다. 만들어진 시편을 2.0 mL의 탈이온수가 들어있는 폴리에틸렌튜브에 넣고 37.0℃ 항온수조에 연구 기간동안 보관하였다. 보관 후 1일, 3일, 7일, 14일, 21일, 28일째에 불소 유리량을 측정하였으며 매 측정 후 탈이온수를 교체하였다. 상아질 접착제층 두께의 적절성은 시편을 추가로 제작하여 전계방사형 주사전자현미경으로 관찰하여 평가하였다. 알카자이트 수복재와 자이오머에 상아질 접착제를 도포한 경우 접착제가 불소의 유리를 완전히 차단하지는 않았지만, 유리된 불소의 양이 현저히 감소하였다. 28일간 측정한 알카자이트 수복재의 불소 유리량은 상아질 접착제의 유무와 관계없이 자이오머보다 크게 나타났다.

부여 능산리 서고분군 1·2호분 내벽의 과학적 조사를 통한 벽화 존재 유무 연구 (A Study on the Presence of Murals by Scientific Investigation on the Inner Walls of West Ancient Tomb No.1 and 2 Neungsan-ri, Buyeo)

  • 이한형;김동원;이화수
    • 박물관보존과학
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    • 제22권
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    • pp.41-52
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    • 2019
  • 부여 능산리 서고분군 1, 2호분의 석실내부 벽화의 존재 여부를 확인하기 위하여 육안조사와 현장에서의 현미경 관찰, 형광X선분석을 수행하고, 일부 채취 시료에 대한 X선회절분석을 수행하였다. 그 결과, 1호분은 석벽의 표면 마무리 상태가 거칠고, 현실 천정을 제외한 부위에서는 벽화의 어떠한 흔적도 관찰되지 않았다. 또한 현실 천정에서는 석재와는 다른 색의 흑색 물질이 관찰되는데, 이 부분의 경우에도 표면부와 표면을 살짝 긁어내어 드러난 내부가 동일한 육안적 특징을 보이며, 이 부분에서 채취한 시료에서 흑운모가 주된 광물로 동정되어 먹 등 인위적 물질을 칠한 것이 아니라 석벽의 구성광물인 것으로 확인되었다. 2호분의 경우 내부 동, 서, 북의 석벽 표면에서 백색물질이 관찰되며, 이 물질에 대한 분석 결과 석회(Calcite)로 확인되어 벽화의 존재가 의심되었다. 그러나 석회층이 동벽의 현실입구와 연도부분에 집중되어 있으며, 북벽과 서벽의 경우에는 단지 하부에서만 집중적으로 관찰되었다. 또한 동벽의 현실입구와 연도부분의 석회물질은 그 분포 형태가 도굴 갱으로 유입된 흙이 쌓인 흔적과 상응하고 있어 2호분 내벽의 석회물질은 외부의 흙과 석회가 유입되어 형성된 것으로 판단되었다. 또한 천장과 사면의 석판틈새에서 확인되는 메움 물질은 분석결과 니질의 토양으로 석벽 표면에 존재하는 석회와는 다른 물질로 확인되었다. 만약 벽화를 조성할 목적으로 석벽표면에 석회층을 인위적으로 형성한 것이라면 석판틈새 매움 물질도 석회를 사용하는 것이 더 자연스러웠을 것이다. 이러한 점으로 보아 능산리 2호분의 현실과 연도의 내벽에도 벽화는 없는 것으로 판단된다.

수입사료에 의한 가축분뇨 물질순환 및 환경부하 분석 (The Analysis of Environmental Loads and Material Recycling of the Nutrients by the Livestock Wastewater Originating from Imported Feeds)

  • 윤영만;이상은;정덕영;조규용;김종덕;김창현
    • 한국초지조사료학회지
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    • 제28권2호
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    • pp.139-154
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    • 2008
  • 본 연구는 수입사료가 우리나라 농업환경의 오염부하에 미치는 영향을 파악하고자 2005년을 기준년도로 하여 수입사료 품목별 수입량 및 비료성분량, 수입사료로 인한 가축 사양단계에서 비료성분 발생량을 추산하고, 농경지 작물별 재배면적과 양분요구도 분석을 통해 수입사료로 인한 농경지의 오염부하도를 분석하였다. 수입사료를 통해 국내로 도입되는 비료성분량은 질소 371천톤, 인산 140천톤, 가리 143천톤, 주요 수입품목인 곡류 및 식물성 유박류에서 유래하는 비료성분 국내도입량은 성분별로 질소 93%, 인산 89%,가리 84%를 차지하였으며, 양돈급여를 기준으로 한, 수입사료 유래 가축분뇨 중 비료성분 함량은 질소 148천톤, 인산 84천톤, 가리 86천톤으로 수입사료를 통한 국내 양분 도입량의 52%, 인산 52%, 가리 42%의 비중을 차지하였다. 가축으로부터 배설되는 비료성분 중 퇴 액비화를 통한 자원화량은 질소 81천톤, 인산 74천톤, 가리 76천톤 이었으며, 퇴 액비로 투여된 비료성분의 무기 화율을 고려한 성분별 작물유효량은 질소 44천톤, 인산 48천톤, 가리 69천톤이었다. 또한 작물에 흡수 이용되지 못하고 토양에 축적되거나 지하수 등으로 용탈되는 비료성분은 질소 37천톤, 인산 27천톤, 가리 7천톤으로 추산되었다. 총수입가축사료로 도입되는 비료성분량 질소 371천톤, 인산 140천톤, 가리 143천톤과 비교할 때, 총비료성분 도입량 대비 농경지에서 작물에 흡수되는 비료성분량은 질소 12%, 인산 34%, 가리 48% 이었으며, 농경지에 축적 유출되는 비료성분량은 질소 10%, 인산 34%, 가리 5%로 가축분뇨 처리과정에서 대기 및 수계로의 유출량 등을 고려할 때 우리나라 환경 전반에 대한 오염부하 영향을 줄 우려가 있는 것으로 나타났다.

이온빔을 이용한 폴리카보네이트 필름의 자외선 차단 특성 (Characteristics of Polycarbonate Film by Ion Beam for UV Block)

  • 최병훈;김영준
    • 폴리머
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    • 제29권6호
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    • pp.588-592
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    • 2005
  • 자외선을 차단할 목적으로, 단일 모재를 사용함으로써 기존 방법이 갖고 있는 차단제의 적층에 따른 두께 증가와 접착제의 반응 온도에 따른 변형 등의 단점을 개선하고자 하였다. 화장품 용기 및 옥외용으로 사용 가능한 고분자 필름(폴리카보네이트) 표면에 이온 조사를 통하여 고분자 표면을 개질하였다. 표면 개질된 필름의 280$\∼$400 nm 사이 자외선 차단 특성, 표면의 화학 및 형태 변화 특성, 자외선에 대한 저항성을 W분광기, FTIR(ATR)과AFM, UV 촉진 내광성 시험기를 이용하여 측정하였다. 분석 결과, 개질된 고분자 필름은 자외선 전 영역을 차단할 수 있었고 이온의 주입량에 따라 차단율을 자유롭게 변화시킬 수 있었다. 이는 이온들의 주입으로 인한 고분자의 표면 화학 변화에 기인한다. 개질된 고분자 표면은 nm수준으로, 별도의 차단제가 필요없는 하나의 모재로, 자외선 차단을 위해 활용 할 수 있으리라 판단된다. 또한 자외선 조사에 따른 고분자의 색 변화 및 자외선 투과 특성 변화가 없음을 확인하여 일상 생활환경에서 지속적인 자외선 차단 방법으로 사용 가능하리라 기대할 수 있었다.

카드뮴과 납 전기화학적 검출을 위한 전극선정에 관한 연구 (Study on Electrode Selection for Electrochemical Detection of Cadmium and Lead)

  • 김학진;김기영;모창연;조한근
    • Journal of Biosystems Engineering
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    • 제33권6호
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    • pp.404-409
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    • 2008
  • Excessive presence of heavy metals in environment affects plants and fruits grown in the contaminated area. Rapid on-site monitoring of heavy metals can provide useful information for efficiently characterizing heavy metal-contaminated sites and for minimizing the exposure of the contaminated food crops to humans. This study reports on the evaluation of gold and glassy carbon (GC) electrodes with mercury or bismuth as a coating material for simultaneous determination of cadmium (Cd) and lead (Pb) in 0.1 M $HNO_3$ solution by anodic stripping voltammetry (ASV). The use of a square-wave voltammetric potential between a working electrode and a reference electrode caused Cd and Pb ions deposited on the electrode surface to be oxidized, thereby generating electric currents at different potentials. The mercury-coated gold electrode was not sensitive enough to detect the usable range of Cd concentrations (1 to 100 ppb). The GC electrodes with mercury or bismuth displayed well-defined, sharp and separate current peaks for Cd and Pb ions when the square-wave voltammetric potentials were applied. The peak currents measured with both mercury- and bismuth- coated GC electrodes were linearly proportional to Cd and Pb concentrations in the range of 1 to 200 ppb in 0.1 M $HNO_3$ with strong linear relationships between concentration and peak current ($R^2$ > 0.95), indicating that both of Cd and Pb ions could be quantitatively measured.

Study of Surface Reaction and Gas Phase Chemistries in High Density C4F8/O2/Ar and C4F8/O2/Ar/CH2F2 Plasma for Contact Hole Etching

  • Kim, Gwan-Ha
    • Transactions on Electrical and Electronic Materials
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    • 제16권2호
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    • pp.90-94
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    • 2015
  • In this study, the characterizations of oxide contact hole etching are investigated with C4F8/O2/Ar and CH2F2/C4F8/O2/ Ar plasma. As the percent composition of C4F8 in a C4F8/O2/Ar mixture increases, the amount of polymer deposited on the etched surface also increases because the CxFy polymer layer retards the reaction of oxygen atoms with PR. Adding CH2F2 into the C4F8/O2/Ar plasma increases the etch rate of the oxide and the selectivity of oxide to PR. The profile of contact holes was close to 90°, and no visible residue was seen in the SEM image at a C4F8/(C4F8+O2) ratio of 58%. The changes of chemical composition in the chamber were analyzed using optical emission spectroscopy, and the chemical reaction on the etched surface was investigated using X-ray photoelectron spectroscopy.

재생 PET 섬유가 혼입된 황토 콘크리트의 크리프 거동과 균열저항성에 관한 실험적 연구 (An Experimental Study on the Creep Behavior and Crack Resistance of Hwang-toh Concrete Mixed with Recycled-PET Fiber)

  • 김성배;김장호;한병구;홍건호;송진규
    • 콘크리트학회논문집
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    • 제21권3호
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    • pp.265-273
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    • 2009
  • 환경문제에 대한 높은 관심으로 친환경 콘크리트의 개발을 위해 많은 연구가 수행되어지고 있으며, 특히 콘크리트 배합시 시멘트 사용량을 줄이기 위한 노력이 계속되고 있다. 시멘트 사용량을 줄이기 위한 방법으로는 포졸란 반응재료들이 혼화재로 사용되고 있다. 우리나라 전역에 널리 매장되어 있는 황토는 친환경 재료로서, 포졸란 반응을 하는 활성황토는 콘크리트의 혼화재로 활용성이 증가하고 있다. 본 연구는 황토와 재생 PET 섬유가 콘크리트의 건조수축에 미치는 영향을 조사하기 위하여 수행되었다. 따라서 본 연구에서는 황토와 재생 PET 섬유를 혼입한 콘크리트 거동 특성을 분석하기 위하여 건조수축 시험을 통해 황토와 재생 PET 섬유를 혼입한 콘크리트의 재료특성을 평가하였다. 실험결과, 외부구속균열 및 자유수축변형 실험을 통하여 혼화재로서 황토가 콘크리트의 건조수축을 줄이는 효과가 있음을 확인하였으며, 재생 PET 섬유는 건조수축에 의한 외부구속균열을 제어하는 효과가 있는 것으로 분석되었다.

Silicide Formation of Atomic Layer Deposition Co Using Ti and Ru Capping Layer

  • Yoon, Jae-Hong;Lee, Han-Bo-Ram;Gu, Gil-Ho;Park, Chan-Gyung;Kim, Hyung-Jun
    • 한국재료학회지
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    • 제22권4호
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    • pp.202-206
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    • 2012
  • $CoSi_2$ was formed through annealing of atomic layer deposition Co thin films. Co ALD was carried out using bis(N,N'-diisopropylacetamidinato) cobalt ($Co(iPr-AMD)_2$) as a precursor and $NH_3$ as a reactant; this reaction produced a highly conformal Co film with low resistivity ($50\;{\mu}{\Omega}cm$). To prevent oxygen contamination, $ex-situ$ sputtered Ti and $in-situ$ ALD Ru were used as capping layers, and the silicide formation prepared by rapid thermal annealing (RTA) was used for comparison. Ru ALD was carried out with (Dimethylcyclopendienyl)(Ethylcyclopentadienyl) Ruthenium ((DMPD)(EtCp)Ru) and $O_2$ as a precursor and reactant, respectively; the resulting material has good conformality of as much as 90% in structure of high aspect ratio. X-ray diffraction showed that $CoSi_2$ was in a poly-crystalline state and formed at over $800^{\circ}C$ of annealing temperature for both cases. To investigate the as-deposited and annealed sample with each capping layer, high resolution scanning transmission electron microscopy (STEM) was employed with electron energy loss spectroscopy (EELS). After annealing, in the case of the Ti capping layer, $CoSi_2$ about 40 nm thick was formed while the $SiO_x$ interlayer, which is the native oxide, became thinner due to oxygen scavenging property of Ti. Although Si diffusion toward the outside occurred in the Ru capping layer case, and the Ru layer was not as good as the sputtered Ti layer, in terms of the lack of scavenging oxygen, the Ru layer prepared by the ALD process, with high conformality, acted as a capping layer, resulting in the prevention of oxidation and the formation of $CoSi_2$.