• 제목/요약/키워드: Deflectometry

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편향법을 이용한 웨이퍼 변형 측정 (Measurement of Wafer Deformation using Deflectometry)

  • 이호동;신상훈;유영훈
    • 한국광학회지
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    • 제24권6호
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    • pp.324-330
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    • 2013
  • 편향법을 이용하여 면적이 비교적 크고 거울과 같이 산란이 거의 없는 물체의 3차원 측정을 하였다. 편향법을 통해 얻은 왜곡 무늬로부터 위상과 기울기를 구하기 위해 푸리에변환 방법을 이용하였고, 구한 기울기로부터 높이를 구하기 위해 최소자승법을 이용하였다. 웨이퍼에 미세 응력을 주었을 때 변형을 편향법을 이용하여 측정할 수 있음을 확인하였다.

액체와 2 파장 투과형 편향법을 이용한 다초점 렌즈 양면 프로파일 동시측정 (Simultaneous Determination of Both Surface Profiles of a Bifocal Lens Using Dual-Wavelength Transmission Deflectometry With Liquid)

  • 신상훈;유영훈
    • 한국광학회지
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    • 제26권3호
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    • pp.147-154
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    • 2015
  • 두 개의 액체와 두 개의 파장을 이용한 투과형 편향법을 이용하여 시료 양면의 3차원 형상을 동시에 측정 할 수 있는 모델을 제시하고, 실험적으로 다초점 렌즈의 양면 프로파일을 측정하였다. 편향법은 면적이 비교적 크고 거울과 같이 산란이 거의 없는 물체의 3차원 측정을 하는데 유용하다. 편향법을 통해 얻은 왜곡 무늬로부터 위상 기울기를 구하기 위해 위상이동법과 시간추적 위상펼침 (TPU:Temporal Phase Unwrapping) 방법을 이용하였고, 구한 기울기로부터 3차원 프로파일을 구하기 위해 최소자승법을 이용하였다. 본 연구에 사용된 방법은 기존의 투과형 편향법과는 달리 시료의 이동 없이 동시에 양면 프로파일을 측정할 수 있는 장점이 있다.

Three-Dimensional Measurements of the Specular Components by Using Direct Phase-Measuring Transmission Deflectometry

  • Na, Silin;Shin, Sanghoon;Kim, Doocheol;Yu, Younghun
    • 새물리
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    • 제68권11호
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    • pp.1275-1280
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    • 2018
  • We demonstrated transmission direct phase-measuring deflectometry (DPMD) with a specular phase object having discontinuous surfaces by using two displays and a two-dimensional array detector for display and by recording the distorted fringe patterns. Three-dimensional (3D) information was obtained by calculating the height map directly from the phase information. We developed a mathematical model of the phase-height relationship in transmission DPMD. Unlike normal transmission deflectometry, this method supports height measurement directly from the phase. Compared with other 3D measurement techniques such as interferometry, this method has the advantages of being inexpensive and easy to implement.

액체와 투과형 편향법을 이용한 광학부품의 굴절률 분포 측정 (Determining the Refractive Index Distribution of an Optical Component Using Transmission Deflectometry with Liquids)

  • 신상훈;유영훈
    • 한국광학회지
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    • 제25권6호
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    • pp.326-333
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    • 2014
  • 액체 속에 담긴 시료를 투과형 편향법을 이용하여 3차원 형상을 측정하고 시료의 굴절률 분포를 측정하였다. 편향법은 면적이 비교적 크고 거울과 같이 산란이 거의 없는 물체의 3차원 측정을 하는데 유용하다. 편향법을 통해 얻은 왜곡 무늬로부터 위상과 기울기를 구하기 위해 위상이동법과 시간추적 위상펼침 (TPU:Temporal Phase Unwrapping) 방법을 이용하였고, 구한 기울기로부터 높이를 구하기 위해 최소자승법을 이용하였다. 굴절률 분포 측정을 위해 2개의 유체를 이용하였다. 전산기 시늉과 실험결과 액체를 이용한 투과형 편향법을 이용하여 시료내의 굴절률 분포를 측정 할 수 있음을 확인하였다.

Hilbert 변환과 투과형 편향법을 이용한 3차원 측정연구 (A Study of Three-Dimensional Measurement By Transmission Deflectometry and Hilbert Transform)

  • 나실인;유영훈
    • 한국광학회지
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    • 제27권2호
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    • pp.61-66
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    • 2016
  • 광학 부품 표면의 3차원 측정을 위하여 투과형 편향법을 이용하였다. 한 장의 영상으로부터 변화된 위상을 추출하기 위하여 Hilbert 변환을 이용하였다. 편향법은 면적이 비교적 크고 거울과 같이 산란이 거의 없는 물체의 3차원 측정을 하는데 유용하다. 편향법을 통해 얻은 왜곡 무늬와 hilbert 변환한 영상을 이용하여 위상을 구했으며, 이로부터 파면의 기울기를 측정하고, 구한 기울기로부터 3차원 프로파일을 구하기 위해 최소자승법을 이용하였다. 전산기 시늉과 실험을 통해 Hilbert 변환을 이용한 3차원 측정법이 유용함을 확인하였다.

가상격자를 사용한 무아레 무늬 발생기의 구성과 유효초점거리 측정 (The setup of the moiré deflectometry using the virtual grating and the measurement of the effective focal length)

  • 김상기
    • 한국안광학회지
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    • 제5권2호
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    • pp.181-186
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    • 2000
  • 광속의 수렴 발산을 판단하기 위하여 무아레 무늬 발생기(moir$\acute{e}$ deflectometry)를 가상격자를 사용하는 제작하였다. 광원으로 He-Ne laser(3mW)와 무아레 무늬 발생기 광학계 중 광속확대기를 구성하기 위하여 제1렌즈와 제2렌즈의 초점거리는 각각 18 mm, 250 mm인 것을 사용하였다. 가상격자(virtual grating)를 발생시키기 위하여 회절격자(격자상수=$1.6{\mu}m/line$)와 전면 평반사경을 결합하여 무아레 무늬 발생기를 제작하였다. 광학계를 사용하여 시험렌즈의 유효초점거리를 측정하였고, 이 측정값과 유도된 식에 의한 이론값을 비교하였다.

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Improved Iterative Method for Wavefront Reconstruction from Derivatives in Grid Geometry

  • Nguyen, Vu-Hai-Linh;Rhee, Hyug-Gyo;Ghim, Young-Sik
    • Current Optics and Photonics
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    • 제6권1호
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    • pp.1-9
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    • 2022
  • This paper proposes a robust, simple zonal wavefront-estimation method in a grid sampling model. More slopes are added to the integral equation of the algorithm to improve the accuracy and convergence rate of this approach, especially for higher-order optical aberrations. The Taylor theorem is applied to clarify the mathematical description of the remaining error in the proposed method. Several numerical simulations are conducted to ensure the performance and improvement in comparison to the Southwell and previous algorithm. An experiment is also conducted according to deflectometry output and the results are verified using a reference measured with a stylus system.

위상천이 모아레 간섭방법을 이용한 POF의 굴절률 분포 측정 (Measurement of POF Refractive Index Profile by using Phase-Shifting Moire Deflectometry)

  • 우세윤;이현호;박승한
    • 한국광학회:학술대회논문집
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    • 한국광학회 2003년도 하계학술발표회
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    • pp.274-275
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    • 2003
  • 광통신 분야의 연구 중 근거리 광통신 분야에 적용하기 위한 Plastic Optical Fiber(POF)에 관한 연구와 개발이 활발히 이루어지고 있다. POF의 광전송 특성을 결정짓는 요소 중 가장 중요한 특성이 바로 굴절률 분포이다. 이에 따라 그동안 다양한 형태의 POF 굴절률 측정 방법이 연구되어 왔다. 기존 Glass Optical Fiber의 굴절률 분포 측정 방법 중 가장 일반적이고 효과적인 방법 중 하나는 coherent 빛의 간섭을 이용한 transverse interferograms을 분석하는 방법으로 Fizeau 간섭계와 같은 간섭계를 이용하여 위상변화를 측정하고 측정한 위상을 tomography적인 해석방법을 통해 굴절률 분포를 계산하는 방법이다. (중략)

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