Effects of Sputtering Power and Oxygen Flow Rate on the Electrical Properties of ATO Thin Films Made by DC Magnetron Sputtering (DC Magnetron Sputtering 법에 의해 ATO 박막 제조시 스퍼터전력 및 산소유량이 전기적 성질에 미치는 영향)
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- Korean Journal of Materials Research
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- v.9 no.5
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- pp.533-537
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- 1999